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THE 10 TH TECHNICAL AND SCIENTIFIC MEETING OF ARCSIS
CALL FOR PAPERS
STUniversity, Fuveau, France - 06 & 07 December 2007
10EMES RENCONTRES SCIENTIFIQUES ET TECHNIQUES
D’ARCSIS
Les Rencontres Scientifiques et Techniques d’ARCSIS
rassemblent depuis dix ans des entreprises et laboratoires français et
étrangers sur des sujets pointus répondant aux besoins du marché de
la microélectronique. Ces 10èmes Rencontres seront dédiées au
thème : «Rendement et Fiabilité : les Challenges et les
Améliorations de Procédé» et se dérouleront les 06 et 07 décembre
2007 à STUniversity à Fuveau (France). L’anglais sera utilisé pour
tous les documents et conférences.
10TH TECHNICAL AND SCIENTIFIC MEETING OF
ARCSIS
For ten years now, the Technical and Scientific Meeting of
ARCSIS has brought together French and foreign companies and
research centers on leading-edge topics related to
microelectronics in response to the market’s requirements. This
10th Meeting will be dedicated to “Yield and Reliability:
Challenges and Process Improvements” and will take place on
06 & 07 December 2007 at STUniversity in Fuveau, (France).
English will be used for all conferences and documents.
OBJECTIFS
Ces rencontres seront l’occasion pour la communauté scientifique, les
fournisseurs et les fabricants de circuits intégrés concernés par le
sujet:
de s’informer sur les avancées les plus récentes,
d’optimiser l’offre et la demande technologiques,
d’échanger sur les derniers résultats de recherche dans un cadre
non formel,
de favoriser de nouvelles collaborations.
Ces deux journées s’articuleront autour de conférences et de posters
techniques et scientifiques présentés par des experts régionaux et
internationaux issus de la recherche et de l’industrie.
OBJECTIVES
This meeting will be the opportunity for the scientific
community, for IC manufacturers and suppliers involved in the
topic:
to be informed of the latest technical developments and
challenges,
to optimize the technological supply and demand,
to share information and discuss the latest development
results in an informal atmosphere
to open new prospects for partnership
These two days will consist of scientific and technical
conferences and posters presented by local and worldwide
experts from research centers and industry.
APPEL A COMMUNICATION
“Rendement et Fiabilité : les Challenges et les Améliorations de
Procédé” est le thème des 10èmes Rencontres Scientifiques et
Techniques d’ARCSIS.
Les présentations porteront sur le rendement et la fiabilité :
 test, spécifications et équipements
 test électrique et paramétrique
 caractérisation physique, observation et analyse de
défaillance
 défectivité
 évaluation de la fiabilité et conditions de test : rétention
de données, endurance, vieillissement…
 corrélation entre rendement et fiabilité
ainsi que sur les procédés et matériaux de fabrication conduisant à
un haut niveau de rendement et de fiabilité :
 plaquettes, gaz, produits chimiques, équipements
 modules et étapes de procédés
 contrôle des procédés et des équipements
L’accent sera mis sur les problèmes rencontrés et les solutions
mises en place dans les domaines suivants :
 CMP
 Lithographie et OPC
 Oxydation, dépôt et implantation ionique
 Gravure plasma, gravure humide, nettoyage
 Dépôts de métaux et de diélectriques
Les présentations feront apparaître un lien clair entre le procédé et le
rendement ou/et la fiabilité.
CALL FOR PAPERS
“Yield and Reliability:
Challenges
and Process
Improvements” is the theme of the 10th Technical and Scientific
Meeting of ARCSIS.
The presentations will deal with yield and reliability:
 tests, specifications and tools
 parametric and electrical test
 physical characterization, failure observation and
analysis
 defectivity
 reliability evaluation and test conditions : data
retention, endurance, ageing tests…
 correlation between yield and reliability
and with manufacturing process and materials leading to a
high level of yield and reliability:
 wafers, gases, chemicals, equipment
 process steps and modules
 equipment and process control
The emphasis will be on observed issues and implemented
solutions, in the following domains:
 CMP
 Lithography and OPC
 Oxidation, deposition and ionic implant
 Dry etch, wet etch and cleaning
 Metallization and dielectrics
In the presentations, clear link should be demonstrated between
process and yield and/or reliability.
Les auteurs, qu’ils soient équipementiers, fournisseurs ou utilisateurs
sont fortement encouragés à mettre en avant dans leur présentation
des cas d’études réels. Les présentations sur lesquelles auront
collaboré fournisseurs et utilisateurs, seront appréciées.
Authors, whether they are equipment manufacturers, suppliers or
users are strongly encouraged to highlight actual case studies in
their presentation. Joint presentations by suppliers and users will
be appreciated.
ARCSIS - BP 19 Place Paul Borde - 13790 Rousset – France
Tél. : 33 4 42 53 81 50 - Fax : 33 4 42 53 81 51 - www.arcsis.org - E-mail : [email protected]
LIEU DE LA MANIFESTATION
Cette conférence se tiendra dans les locaux de STUniversity à
Fuveau, en face de la montagne « Sainte Victoire » en Provence, au
cœur d’un des pôles majeurs de la microélectronique française. La
salle de conférence dispose de l’équipement audiovisuel nécessaire
pour les présentations.
LOCATION OF THE EVENT
This Meeting will be held at STUniversity in Fuveau at the foot
of the "Sainte Victoire" mountain in Provence, in the heart of
one of the major poles of microelectronics in France. The
STU campus is fully equipped with the standard audio/Video
media systems required for presentations.
La manifestation se déroulera à 20km d’Aix en Provence, ville d’art et
de culture, réputée pour sa beauté architecturale. Les paysages sont
dominés par la montagne Sainte Victoire immortalisée par le peintre
aixois Paul Cézanne. Mais c’est aussi la base idéale pour rayonner
vers la Provence environnante qui vous offre à quelques kilomètres
les plus beaux paysages : les Calanques, la Camargue, le Luberon et la
Côte d’Azur. Pour plus d’informations sur la Provence :
www.visitprovence.com
The event will take place at 20 km from Aix en Provence, city of
art and culture, well-known for its architectural beauty.
Landscapes are dominated by the "Sainte Victoire" mountain
painted by the famous artist from Aix, Paul Cezanne. But it is
also an ideal base for visiting the rest of Provence and its
beautiful countryside all within a few kilometres: the Calanques,
Camargue, the Luberon and the Riviera. For further information
about Provence: www.visitprovence.com
INSTRUCTIONS POUR LA SOUMISSION DES RESUMES
Les orateurs souhaitant faire une présentation (20mn) doivent adresser
à ARCSIS une page de texte avec un titre, le nom des auteurs, leur
affiliation ainsi qu’un résumé en trois points :
1) Contexte / Motivation de l’étude
2) Description de l’approche et des techniques
3) Résultats / Conclusions / Ouvertures
Une page supplémentaire pourra être ajoutée avec des schémas ou
courbes illustratives. La date limite de soumission des résumés est
le vendredi 22 juin 2007. Les auteurs seront informés du résultat de
leur soumission à partir du 09 juillet 2007. Pour information, les frais
relatifs à la participation des orateurs (repas et reproduction des actes)
sont pris en charge par ARCSIS.
INSTRUCTIONS FOR ABSTRACTS
Abstracts to be considered for presentation (20mn) must include
one page of text with a title, the authors’ names, their affiliation
and a summary in three parts:
1) Context / Study motivation
2) Description of approach and techniques
3) Results / Conclusions/ Perspectives
An additional page can be added with illustrations. Deadline for
abstract submission is Friday 22nd June 2007. Authors will be
notified of acceptance of their papers by 9th July 2007. For your
information, meeting fees (proceedings and luncheons) for
speakers are paid by ARCSIS.
ACTES
Tout orateur fournira une contribution qui sera publiée dans des actes.
Ces contributions seront à remettre le vendredi 02 novembre 2007
au plus tard afin de distribuer les actes aux participants le jour de la
conférence.
PROCEEDINGS
Publication of a Proceedings Volume is planned. All authors
accepted for their presentation are required to submit a
Proceedings Volume manuscript on Friday 2nd November 2007
at the latest. Proceedings will then be made available to
attendees at the meeting.
CONTACT POUR LA SOUMISSION DES RESUMES /
INFORMATION
CONTACT FOR
INFORMATION
Corinne JOACHIM
ARCSIS
BP 19 – Place Paul Borde – 13790 Rousset - France
Tel : +33 (0)4 42 53 81 50 Fax: +33 (0)4 42 53 81 51
E-mail : [email protected] Website : www.arcsis.org
Corinne JOACHIM
ARCSIS
BP 19 – Place Paul Borde – 13790 Rousset - France
Tel : +33 (0)4 42 53 81 50 Fax: +33 (0)4 42 53 81 51
E-mail : [email protected] Website : www.arcsis.org
COMITE D’ORGANISATION SCIENTIFIQUE
SCIENTIFIC STEERING COMMITTEE
L. Jeannerot (Atmel) : [email protected]
P.Galand (Plate-forme CIM PACA Caractérisation) :
[email protected]
S. Dauzere-Peres (CMP) : [email protected]
B. Laborie (Kemesys) : [email protected]
D. Goguenheim (L2MP-ISEN) : [email protected]
M.Burle (STMicroelectronics) : [email protected]
L. Kwakman (Philips Semiconductor) :
[email protected]
C. Wyon (CEA Leti) : [email protected]
L. Jeannerot (Atmel) : [email protected]
P.Galand (CIM PACA Characterisation platform) :
[email protected]
S. Dauzere-Peres (CMP) : [email protected]
B. Laborie (Kemesys) : [email protected]
D. Goguenheim (L2MP-ISEN) : [email protected]
M.Burle (STMicroelectronics) : [email protected]
L. Kwakman (Philips Semiconductor) :
[email protected]
C. Wyon (CEA Leti) : [email protected]
SUBMISSION
OF
ARCSIS - BP 19 Place Paul Borde - 13790 Rousset – France
Tél. : 33 4 42 53 81 50 - Fax : 33 4 42 53 81 51 - www.arcsis.org - E-mail : [email protected]
ABSTRACTS
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