Microscope Electronique à Balayage Environnemental (ESEM)

Microscope Electronique à Balayage
Environnemental (ESEM)
Microscope Electronique à Balayage Environnementale
FEI Quanta 200
Principe :
Le Microscope Electronique à balayage est une technique de
microscopie basée sur le principe des interactions électronsmatières. Un faisceau d’électron balaie la surface de l’échantillon à analyser, le faisceau en touchant la surface de l’échantillon produit des interactions.
Ces interactions sont :
-Les électrons secondaires ES : Topographies Géométriques.
-Les électrons rétrodiffusés ER : Topographies chimiques .
-Les Rayons X RX : Analyse qualitative et quantitative .
Selon la nature de l’échantillon (conducteur, non conducteur), sous
un environnement donné il fonctionne dans trois modes de vides
différents : High vacuum, Low vacuum, et Environnemental.
Chacun de ces modes dispose de deux types de détecteurs :
électrons secondaires (SE) et électrons rétrodiffusés (BSE) qui
fournissent le contraste topographique et chimique de l’échantillon
respectivement.
Cet équipement est couplé à un système de microanalyse-X
(détecteur EDX-EDAX) qui fournit la composition chimique de
l’échantillon avec une limite de détection allant jusqu’au Bore.
 Résolution :
o 3.5 nm à 30 KV en mode HV
o 15 nm à 30 KV en mode LV

Agrandissement : jusqu’à 300.000 X
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