CVplasma Mélisa Brihoum

M él i s a B RIH O U M
20 rue Abbé Grégoire
38000 GRENOBLE
Tél : 06 76 08 42 45
Email : [email protected]
26 ans, nationalité française
PROFIL
Physique et technologies des décharges (plasmas froids)
Procédés plasma (dépôt, gravure, traitement de surface, implantation ionique)
Diagnostics plasma et procédés
FORMATION
En cours
2009-10
2008-09
2007-08
2005-07
2003-05
2003
Doctorat, Physique, Nano-Electronique et Nano-Technologies, Gravure Plasma, (LTM)
Soutenance prévue pour octobre 2013 en vue de l’obtention du diplôme de doctorat mention
physique de l’Université de Grenoble
Master 2, Physique et Applications des Plasmas, Université Joseph Fourier (UJF), Grenoble
Master 1 Physique, UJF, Grenoble, France
Double Diplôme Karlsruhe-Grenoble, Université de Karlsruhe, Allemagne
Licence (L2 et L3) Physique Chimie, UJF, Grenoble
Première Année du Cycle de Pharmacie, UJF, Grenoble
Baccalauréat scientifique, Spécialité physique chimie
2007
2006
Attestation de Formation aux Premiers Secours (AFPS)
Certificat Informatique et Internet (C2I)
EXPERIENCE PROFESSIONNELLE
En cours
Doctorat, Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM), CNRS, Grenoble
Laboratoire commun : ST microelectronics, AMAT
Sujet : Etudes de l’intérêt des plasmas pulsés pour la fabrication de nanostructures
Compétences : gravure plasmas ICP, plasmas pulsés, spectroscopie d’absorption (UV et VUV),
spectrométrie de masse, sonde de flux ionique, analyseur en énergie des ions, caractérisation MEB,
CD-SEM (mesure de rugosité), XPS, ellipsométrie.
2010
(5 mois)
Stage de M2, LAboratoire PLAsma et Conversion d’Energie (LAPLACE), CNRS, Toulouse
Partenariat industriel : Société Chauvin Opsia
Sujet : Traitements plasmas de surfaces polymères
Compétences : traitement par plasma matriciel RCE, sonde de Langmuir, caractérisation ATR, mesure
d’angle de contact, profilomètre, XPS
2009
(3 mois)
Stage de M1, Laboratoire des Matériaux et du Génie Physique (LMGP), CNRS, Grenoble
Sujet : Elaboration et caractérisation de couches minces de EuO sur substrat Si ou GaN
Compétences : dépôt par technique MO-CVD, traitement par plasma multi dipolaire, caractérisation
DRX et MEB
2007
(1 mois)
Stage de L3 au Département de Chimie Moléculaire (DCM), CNRS, Grenoble
Sujet : Synthèse d’une Nitrone cyclique dérivée du D-ribose
Compétences : synthèse organique, caractérisation RMN
2008-09
2007-08
2007
2005-07
Soutient scolaire
Secrétaire aux relations internationales, Faculté de Physique, Karlsruhe, Allemagne
Emploi d’été : Commerce de proximité (boulangerie)
Fonction d’Agent de Service Hospitalier (ASH), Centre Hospitalier de Voiron
LISTE DES PUBLICATIONS
℘ Revisiting the mechanisms involved in Line Width Roughness smoothing of 193 nm photoresist patterns
during HBr plasma treatment
M. BRIHOUM, R.RAMOS, K.MENGUELTI, G.CUNGE, E.PARGON, O.JOUBERT
J. Appl. Phys. 113, 013302 (2013)
℘ Ion flux and ion distribution function measurements in synchronously pulsed inductively coupled plasmas
M. BRIHOUM, G. CUNGE, M. DARNON, D. GAHAN, O. JOUBERT, N. St. J. BRAITHWAITE
J. Vac. Sci. Technol. A 31, 020604 (2013)
℘ Analysis of pulsed high-density HBr and Cl2 plasmas: impact of the pulsing parameters on the radical
densities
P.BODART, M. BRIHOUM, G.CUNGE, O. JOUBERT AND N.SADEGHI
J. Applied . Phys., 110, (2011), 113302
℘ Measurement of the radicals’ kinetics in pulsed plasmas by UV and VUV absorption spectroscopy and by
modulated beam mass spectrometry
G. CUNGE, P.BODART, M.BRIHOUM, F. BOULARD, T. CHEVOLLEAU AND N. SADEGHI
Plasma Sources. Sci. Technol, 21, (2012), 024006
℘ Vacuum UV Broad-Band absorption spectroscopy: a powerful diagnostic tool for reactive plasma
monitoring
G. CUNGE, M.FOUCHIER, M. BRIHOUM, P.BODART, M.TOUZEAU AND N.SADEGHI
J.Phys.D: Applied Physics (fast track communications), 44(12), (2011), 122001
℘ Etching mechanisms of thin SiO2 exposed to Cl2 plasma
C. PETIT-ETIENNE, M. DARNON, L. VALLIER, E. PARGON, G. CUNGE, M. FOUCHIER, P. BODART, M. HAASS,
M. BRIHOUM, O. JOUBERT, S. BANNA, AND T. LILL
J. Vac. Sci. Technol. B 29, (2011), 051202
LISTE DES CONFERENCES
℘ Roughness formation mechanisms involved in HBr cure
M. BRIHOUM, R. RAMOS, G. CUNGE, K. MENGUELTI, E. PARGON, O. JOUBERT (LTM-CNRS)
34th International Symposium on Dry Process, Tokyo Japon, Novembre 2012
℘ Impact of HBr pulsed plasma cure on 193 nm resist LWR reduction and etch resistance improvement
M. BRIHOUM, K. MENGUELTI, G. CUNGE, E. PARGON AND O. JOUBERT
5th PESM workshop, France Grenoble, Mars 2012
℘ Vacuum UV broad band absorption spectroscopy: measurement of Br2 molecule densities in HBr plasmas
M.BRIHOUM, P.BODART, M.FOUCHIER, G.CUNGE, M.TOUZEAU, O. JOUBERT, N.SADEGHI
The 18th International Colloquium on Plasma Processes (CIP), France Nantes, Juillet 2011
CONNAISSANCES LINGUISTIQUES ET INFORMATIQUES
Français : langue maternelle
Anglais : bon anglais scientifique
Allemand : confirmé
Juillet 2008 Certificat Deutsche Sprachprüfung für den Hochschulzugang (DSH), Université Karlsruhe
Informatique Origin, Microsoft Word, Excel, Power Point, bases de C++, Kaleidagraph
ACTIVITES EXTRA-PROFESSIONNELLES
Ski nordique, escalade, pratique de la flûte traversière, voyages
Présidente d’une association visant à produire et promouvoir un groupe musical