Projet Mas Flow 2000 QUALIFLOW

Projet Mas Flow 2000
QUALIFLOW
1997-1998, 1999-2000
Centre de recherche LGI2P
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Mass Flow 2000
•
Société Qualiflow (Montpellier) :
– créée en 1997 pour reprendre les activités de la société ASM France SA
– spécialisée dans les équipements et les composants de contrôle de gaz pour
l’industrie des semi-conducteurs.
•
Objectif :
– Mettre sur le marché une nouvelle gamme plus performante de contrôleurs de
débit massique (Mass Flow Controller), en technologie numérique.
•
Rôle de l’EMA-CLGI2P :
– 1er contrat : qualification du comportement dynamique du MFC, mise au point
d’un asservissement numérique.
– 2ème contrat : étude et compensation des perturbations de pression en ligne.
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Mass Flow 2000: principe
Sans débit
Consigne
Avec débit
Ampli
+
Micro
contrôleur
Débit
u
i
i
Gaz
Actionneur
Capteur
thermique
∆T = 0
sens du gaz
T(K)
∆T = 0
T(K)
Vanne
Mass Flow : principe
Performances demandées : débit de 0,001 à 400 stdl/mn
Centre de recherche LGI2P
Capteur thermique : principe
précision : 0,5 % de la pleine echelle
résolution : 0,02 % de la pleine echelle
répétabilité : 0,2 % de la mesure
bonne stabilité
temps de réponse à 0,2 % :< 2 s
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Résultats
•
Asservissement de débit (poursuite)
–
–
–
caractérisation statique et dynamique du
MFC.
•
Compensation des effets des
perturbations de pression
–
caractérisation des effets des perturbations
de pression
–
mise en évidence des points forts et points
faibles de la technologie du MFC
–
évaluation des techniques à base de réseaux
de neurones
–
mise au point d’une méthode de
compensation.
Etude des non-linéarités.
mise en évidence des points forts et points
faibles de la technologie du MFC.
–
mise au point d’une commande numérique
–
réalisation d’un outil d’analyse des
performances et de réglage des paramètres
du correcteur en ligne.
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