microscope confocal lext

MICROSCOPE CONFOCAL LEXT
Le microscope confocal permet de mesurer les épaisseurs de couches transparentes et d’imager en 3D
des composants.
CARACTERISTIQUES PRINCIPALES
y
y
y
Objectifs : x5, x10, x20, x50 et x100.
Zoom optique x1-x6
Lumière blanche (Microscope 2D) ou diode
laser à 408nm. (Confocal Image 3D).
y
y
Résolution en z : 10nm (pas minimum entre
deux plan confocaux mesurés)
Résolution latérale : dépend de l’objectif
PRINCIPE DE FONCTIONNEMENT
La microscopie confocal permet de reconstruire une image 3D d’un composant en mesurant l’intensité
réfléchie par ce dernier au niveau du plan focal. La présence d’un diaphragme au niveau du point objet
permet de s’affranchir de la profondeur de champ de l’objectif et de ne sélectionner qu plan à chaque
mesure. L’obtention d’un profil d’intensité réfléchie pour des matériaux transparents permet de
déterminer l’épaisseur de chaque couche grâce à l’identification des différentes interfaces.
EXEMPLES DE REALISATIONS
Image 3D
d’un
réseau
GaAlAs
obtenus
par
épitaxie
Profil du
Si après
gravure
profonde
RIE
CONTACTS
Christina Villeneuve : [email protected]
Fabien Mesnilgrente : [email protected]
Véronique Conédéra : [email protected]
ENGLISH VERSION→
CONFOCAL MICROSCOPY LEXT
Confocal microscopy permits to measurement thickness of transparent material and 3D pictures of
components.
MAIN CHARACTERISTICS
y
y
y
Objectives : x5, x10, x20, x50 et x100.
Optical zoom x1-x6
White light (Microscope 2D) or laser diode
at 408nm. (Confocal 3D picture).
y
y
Z resolution : 10nm (minimal step between
two confocal plane)
Lateral resolution : depend on objective
OPERATIONS
In confocal microscopy light scattered on sample surface is recorded for each confocal plane. Pinhole
is placed at object point to avoid field of view effect. Scattered light evolution versus height z permits
to determine transparent film thickness and drawn a 3D picture of components.
REALIZATION EXAMPLES
3D
picture of
GaAlAs
network
obtained
by
epitaxy
3D picture
of Si
profile
after Deep
Reactive
Ion Etching
CONTACTS
Christina Villeneuve : [email protected]
Fabien Mesnilgrente : [email protected]
Véronique Conédéra : [email protected]
VERSION FRANCAISE→