Ellipsomètre Horiba Jobin Yvon

Ellipsomètre Uvisel – Jobin Yvon Horiba
Objectifs : mesure d’épaisseur, d’indice optique, de porosité, de composition (moyenne et gradient,
inclusion…).
CARACTERISTIQUES PRINCIPALES
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Lampe Xénon 182-2200nm
Ellipsomètre spectroscopique à modulation
Gamme de mesure : de quelques micro à la
couche monoatomique (résolution : 0.1Å)
PRINCIPE DE FONCTIONNEMENT
Polariseur
Analyseur
Source
lumineuse
Détecteur
Echantillon
Il s’agit d’une méthode optique non destructive basée sur la mesure du changement de polarisation de
la lumière par réflexion en incidence oblique sur un échantillon. La source utilisée ici est polychromatique (ellipsométrie spectrométrique) ce qui permet d’étudier le signal réfléchi en fonction de la
longueur d’onde. Le faisceau réfléchi est modulé à la même fréquence que la détection et le traitement
se fait par transformée de Fourrier (ellipsométrie à modulation). Pour déterminer l’épaisseur des
différentes couche il faut connaître leur courbe de dispersion et inversement.
EXEMPLES DE REALISATIONS
Détermination de l’épaisseur d’une
couche de SiO2 sur Si.
CONTACTS
Benjamin Reig : [email protected]
Bernard Rousset : [email protected]
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