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Institut des Nanotechnologies INL - UMR CNRS 5270 Réunion réseau LRA « Nanothermique » 16 avril 2015, CETHIL, Lyon Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 1 INL: Institut des Nanotechnologies de Lyon 245 people (130 permanent staff) 4 research axes (9 teams) ICT Health Health Energy Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 http://inl.cnrs.fr 2 INL: Institut des Nanotechnologies de Lyon Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 http://inl.cnrs.fr 3 Equipe Hétéroépitaxie et Nanostructures Responsables : Michel Gendry et Guillaume Saint-Girons Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 4 2D & 1D Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 2D, 1D, 0D 5 Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 6 III-V Nanostructures (InP, AlAs, GaAs,..) III-V semiconductor nanostructures: reducing dimensions at the nanoscale… 2D: SLs & QWs 1D: NWs InP NWs InAsP/InP InAlAsP 200 nm 0D: QDs InP GaAs Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 7 Works led by Michel Gendry and P. Regreny Integration of functional oxides on silicon • Motivation: Monolithically integrated novel devices in advanced “electronics” Perovskites ABO3 (FE) Energy harvesting Opto-electronics & Photonics Resp.: G. Saint-Girons Resp.: R. Bachelet, B. Vilquin Memories & Green logic Thermal management Resp.: C. Dubourdieu Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 Resp.: R. Bachelet, A. Carretero-Genevrier 8 Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 9 Equipe Spectroscopie et Nanomatériaux Responsable : Bruno Masenelli Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 10 Contexte • Grandes questions scientifiques Nanomatériaux Semiconducteurs luminescents - Émetteurs lumineux nanométriques de grande efficacité intégrés, manipulables individuellement - Sondes luminescentes de sensibilité extrême, bas coût, non toxiques - Analyse Physique multi-échelles et multi-paramètres pour maitrise de la structure cristalline, chimique et électronique Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 Equipe S&N 11 Axes thématiques • Nano-émetteurs Nanostructures III-V pour telecom • Marqueurs et Sondes IV-IV Thermomètres tribologiques Zone de contact Coll. Équipe H&N (INL), LPN , FOTON, Univ. Monastir 20 publis dont Nanotech,, Appl. Phys. Lett 5 conf invitées, prix thèse CMCU Nanostructures ZnO pour l’énergie Collab. LAMCOS, institut Carnot I@L 14 publis dont PSS RRL, Nanoscale Res. Lett. Biomarqueurs et substrats UV-blue light Si Solar Cell Green light Coll. ILM, IRCELyon, GEMAC, LMGP, Poly. Lodz 23 publis dont Nanoletters, Phys. Rev. Lett 8 conf. invitées Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 ×6 Collab. Équipe C&Nanobio, PV (INL), Carmen (INSA Lyon), Univ. Kiev et Genève 19 publis dont Nanotechnology, Nanoscale, Plasmonics,4 conf invitées, 5 brevets Equipe S&N 12 Compétences / Moyens Caractérisations MEB Optique : du macro au nano (objet unique), stationnaire et dynamique, de l’UV à l’IR, en phase solide et colloïdale, 10K à 400K Cathodolumi. 200 nm AFM capacitif de nanofils de ZnO Électrique (analyse par spectroscopie capacitive macroscopique et nanométrique) Medium energy ion spectroscopy Structurale et élémentale (MET et faisceaux d’ions) Élaboration Si poreux Gravure électrochimique Nanostructuration par faisceaux d’ions Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 Equipe S&N 13 Activités liées à la nanothermique Opportunité des compétences en : Gravure électrochimique Nanostructuration par faisceaux d’ions Caractérisation par spectroscopie Raman pour étudier la diffusion des phonons dans Si poreux Incohérente Cohérente Si poreux et Si poreux Super-réseaux porosité1/porosité2 amorphisé par faisceaux à l’échelle nanométrique d’ions en régime électronique Thèse Mouhannad Massoud Thèse Pascal Newby Co-direction P.O. Chapuis CETHIL Projets : BQR INSA Manatherm, Axe1 projet ST microelectronics NANO 2017 Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 Equipe S&N 14 Equipe Conception de Systèmes Hétérogènes Responsable : Ian O’Connor Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 15 Heterogeneous Systems Design Group Nanoprocessors Adaptive nanofabrics Energy efficiency Adaptability Reliability Optical interconnect (S. Le Beux) Design exploration Energy efficiency Adaptability Robustness Wireless sensor networks (D. Navarro) Harsh environments Medical monitoring Sensitivity Resolution Spectrum Imagers and medical detectors (G.N. Lu) Image sensors Energy harvesting Efficiency Linearity Bandwidth Audio amplification Mechanical energy conversion (L. Quiquerez) -router Design methods for heterogeneous systems (L. Labrak) Mapping Multi-domain Optimization 3D Multi-abstraction TRE SPEC optimization 164 simulations 6 minutes Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 System level tradeoff obtained in 9 minutes Syst em-C Mat sweep 9 simulations 30 minutes lab TRE SPEC Laser efficiency Driver modulation current Amplifier gain optimization 1390 simulations 23 minutes 16 Thermal analysis: ICTherm tool Chip structure Power dissipation Thermal simulation Temperature 55°C 40°C http://www.ictherm.com/ Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 25°C Source: •A. Fourmigue, G. Beltramme, G. Nicolescu, “Efficient Transient Thermal Simulation of 3D ICs with Liquid-Cooling and Through Silicon Vias”, DATE 2014. •A. Fourmigue, G. Beltramme, G. Nicolescu, “Explicit Transient Thermal Analysis of Liquid-Cooled 3D-ICs”, in Proc. of DATE 2013. •A. Fourmigue, G. Beltramme, G. Nicolescu, M. Aboulhamid, “A linear-time approach for the transient thermal simulation of liquid-cooled 3D ICs”, in Proc. of CODES+ISSS 2011. 17 Evaluation: implementation Dispositifs photoniques Intégration 3D Package level Chip: Processeurs SCC Optical NoC Source: Intel Uniform 0.35 crosstalk signal 0.28 SNR 0.21 0.14 38dB 25dB 0.07 13dB 0 18 32.4 46.8 (mm) Institut des Waveguide Nanotechnologieslength de Lyon UMR CNRS 5270 Optical power (mW) Optical power (mW) Source: J. Howard et al. Solid-State Circuits, IEEE Journal of, 46(1):173–183,. 2011 Diagonal 0.35 crosstalk signal 0.28 0.21 19dB SNR 13dB 0.14 10dB 0.07 0 18 32.4 46.8 Waveguide length (mm) 18 Equipe Nanophotonique Responsable : Xavier Letartre Resp. Adjoint : Taha Benyattou Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 19 3 axes thématiques – Photonique Intégrée sur silicium (Resp.: R. Orobtchouk) • Convergence photonique/électronique • Intégration hétérogène de matériaux et fonctions – Microcapteurs optiques (Resp.: C. Jamois) • Capteurs pour l’environnement et la santé bas coût, portable • Marier matériaux fonctionnalisés et structures photoniques – Photonique pour Photovoltaïque (Resp.: C. Seassal, E. Drouard) • Optimiser la conversion du rayonnement solaire • Concepts photoniques originaux et technologies bas coût Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 20 Nanophotonique et rayonnement thermique – Sculpter l’environnement électromagnétique pour contrôler le rayonnement thermique – Exploitation de micro-nano-structures périodiques (cristaux photoniques) – Applications aux capteurs • Sélectivité spectro-spatiale • Faible consommation Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 21 Nanophotonique et rayonnement thermique Selective absorbers • wavelength selective absorber : resonant mode • efficient resonant absorber : critical coupling Q Qabs • spatially selective absorber : strong variation of the Q-factor with the incident angle • q optical thickness 6 4 ABSORBANCE 0,5010 0,4500 0,3500 2 0,2500 q (°) 0,1500 0,000 0 -2 -4 doped silicon PCM Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 -6 1,500 1,504 (µm) 1,508 1,512 22 Nanophotonique et rayonnement thermique Coherent thermal source Kirchhoff ’s law: Emittance = Absorbance EMITTANCE METAL IDEE project : IOGS/Palaiseau, INL/Lyon, CEA/Grenoble, Delta Dore Institut des Nanotechnologies de Lyon UMR CNRS 5270 23