ETUVES CARACTERISTIQUES PRINCIPALES CONTACTS

ETUVES
Les étuves servent d’une part à déshydrater les substrats et les masques avant les procédés de mise en
œuvre et d’autre part à polymériser certains polyimides
CARACTERISTIQUES PRINCIPALES
• Etuves Memmert jusqu’à 200°C.
• Etuves sous aspiration spécifique recuit polyimides dont la température varie de 50°C à 300°C.
• Etuve à température et humidité contrôlée.
• 2 Etuves HMDS (Héxaméthyldisilazane) pour le dépôt du promoteur d’adhérence
CONTACTS
Véronique Conédéra; [email protected]
Mazenq Laurent; [email protected]
Fabien Mesnilgrente; [email protected]
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