AE Newsletter Q1 07 Francais

NEWSLETTER Q1.07
www.advanced-energy.com
Agissez globalement,
mesurez localement!
Au cours de ces derniers mois, nous avons
opéré certains changements afin de mieux
nous concentrer sur les seg-ments du
marché global, mais également en vue
d‘améliorer la qualité et la manière dont elle
est ressentie par les utilisateurs particuliers
au niveau local.
Pour les marchés tels que les revêtements
industriels, les écrans, les panneaux solaires
et les semi-conducteurs, nous avons
nommé des responsables expérimentés,
afin de mieux nous concentrer sur les
segments de marché globaux et leur dynamique. Ces per-sonnes coordonneront
les activités dans les différentes régions et,
dans le même temps, donneront l‘impulsion
nécessaire au produit pour les procédés
et les applications de la prochaine
génération. Nous vous invitons à venir
rencontrer ces experts lors d’un de nos
prochains événements, repris en page 4.
Notre système de qualité est un autre
domaine dans lequel nos clients ressentiront un changement. En plus des mesures
propres à la qualité et des efforts traditionnels, nous mettons en place un nouveau
processus et des ressources afin d‘évaluer
comment vous, nos clients, vivez la qualité
AE® dans votre application spécifique et
votre marché. Vous en découvrirez davantage dans l’article sur cette page.
Nous sommes convaincus que vous saurez
apprécier ce numéro de notre lettre d’information européenne. Toutes vos remarques,
questions et autres retours sont les bienvenus.
Thomas Linz, Directeur End-User Sales &
Applications Engineering, Europe
E-NEwsletter:
Abonnez-vous aux lettres d’informations
électroniques et autres annonces de AE®!
Visitez le site http://www.advanced-energy.
com/register.aspx.
SOMMAIRE:
QUALITÉ: ............................................................ Le nouveau système qualité
DEBIT MASSIQUE: ............................MFC industriels Aera® FC-D770 Series
ALIMENTATION-RF: .... Réseau d’adaptation digital d’impédance Navigator®
AGENDA ..........................................................................................................
QUALITÉ: Le nouveau système qualité
se recentre sur le client
AE ® met un point d’honneur à fournir les meilleurs produits disponibles, ainsi qu’à
veiller à ce que ces produits contribuent à obtenir les meilleurs résultats possibles dans
votre application spécifique. En 2006, nous avons recentré nos objectifs de qualité dans
l’évaluation de la qualité des produits que nous proposons en analysant la manière dont
nous pouvons améliorer l‘expérience vécue par le client vis-à-vis d‘AE® et de ses produits.
A cet effet, nous nous sommes fixé un nouvel objectif d’entreprise en vue de nous placer
parmi les 20 premiers fournisseurs critiques auprès de nos clients, PME et particuliers,
dans les marchés où nous sommes actifs. Pour atteindre cet objectif, nous avons ajouté
des ressources pour donner un coup de fouet à notre support en Europe. Ces ressources
nous aideront à développer des stratégies de qualité à l’égard du client et à stimuler les
activités internes qui répondront aux exigences de nos clients. Chaque région possédera
également son propre directeur de la qualité, qui fera office de point de contact unique.
Les stratégies en matière de qualité client de AE® nous fourniront un aperçu des besoins
distincts de nos clients, ce qui nous permettra de réaliser des améliorations ciblées ayant
des effets significatifs, positifs sur les procédés spécifiques des clients. Traditionnellement,
les systèmes de qualité internes se concentrent sur des données de mesure de qualité
telles que les taux d’échec et de retour par produit. Cette méthode n‘offre qu’une vue partielle de vos besoins réels. Par opposition, la nouvelle méthode d‘AE® évalue la qualité à
l’aide d’un système d’évaluation unique pour chacun de nos clients, offrant une image plus
complète. Les critères métriques individuels de qualité de produit et les cartes de résultats
tiennent exactement compte de la manière dont vous utilisez nos produits et de vos
priorités à ce niveau. Grâce à ces données, nous pourrons concevoir et implémenter des
systèmes de qualité et des procédés axés plus spécifiquement sur les besoins du client.
Chaque région/marché possédera son propre directeur de la qualité client, votre point
de contact unique pour les questions relatives à la qualité. Ce directeur travaillera en
collaboration avec notre ‘account team’ AE®, fera un rapport des questions relatives à
la qualité à AE® et collaborera avec les bonnes personnes au sein d’AE® pour résoudre
ces problèmes et apporter des améliorations. Cette personne accueillera et coordonnera
également les contrôles de qualité client.
Les activités et les procédés internes à AE® seront également le moteur d’améliorations
constantes de la qualité. En interne, nous soutenons le développement et la mise en
place de procédés spécifiques au client et travaillons de manière inter-fonctionnelle pour
résoudre les questions relatives à la qualité.
Pour en savoir plus sur le système de qualité d’AE®, visitez le site
http://www.advanced-energy.com/en/Quality.html qui sera disponible prochainement.
DEBIT MASSIQUE:
MFC industriels Aera® FC-D770 Series
Par le biais de l‘acquisition de la société Aera® Japan Ltd. Flow Systems en 2002, AE®
est devenue un des leaders du marché international des MFC de semi-conducteurs. Afin
de faire face aux exigences de plus en plus sévères du marché, nous avons récemment
lancé la famille de MFC digitaux, multigaz et multigamme (MFC MGMR) ‘Aera Transformer™’.
Parallèlement à cela, Advanced Energy a développé la prochaine génération de MFC
MGMR insensibles à la pression Aera PI-980 ® series, qui permettent d’améliorer la
gravure, le dépôt chimique en phase vapeur, le dépôt physique en phase vapeur et les
procédés de diffusion dans les applications de semi-conducteurs. Combinant la technologie de contrôle NeuralStep® à des magnétostricteurs de pression intégrés, cette série
augmente la rapidité de réponse du MFC, éliminant les effets des variations de pression
en amont et en aval. Ces nouvelles plates-formes sont utilisées dans les procédés semiconducteurs les plus exigeants du moment, ce qui nécessite des performances exceptionnelles de temps de réponse, de précision, de répétabilité et de fiabilité du MFC.
Avantages
• Fonctionnalité digitale, multigaz et multigamme
• Réponse rapide (≤ 1,5 sec de temps de réglage
du débit entre les valeurs de consigne)
• Fiabilité inégalée (dérive du zéro de ≤ ±0,5%
de débit de pleine échelle sur un an)
• Intégration de procédé aisée (connecteurs
électrique et dimensions standards)
Caractéristiques
• Joint élastomère, technologie peu coûteuse
• Vanne de contrôle solénoïde normalement fermée
ou normalement ouverte
• Gamme de mesure du débit pleine échelle de
10 à 5000 ccsm, N2 équivalent (bientôt disponible:
gamme de mesure du débit jusqu’à 150 lsm)
• Etanchéité contre les fuites :
≤ 1x10-6atm-cc/sec(He) max
• Tension d’alimentation
• Source d’alimentation unipolaire, +12 à 32 VCC
• Source d’alimentation bipolaire, ±6 à ±16 VCC
• Entrée de la valeur de consigne : 4 à 20 mA,
0 à 5 VCC, ou 0 à 10 VCC
• Signal de sortie : 4 à 20 mA, 0 à 5 VCC,
ou 0 à 10 VCC
S‘appuyant sur son expérience et son expertise de longue date dans la technologie du
débit massique, Advanced Energy® a décidé de transposer les avantages de nos produits
MFC aux marchés non semi-conducteurs. Ces marchés ont des exigences uniques, dont
une grande variété de signaux d‘entrée et de sortie différents. La plupart des applications
industrielles nécessitent une tension d’alimentation de +24 VCC et une valeur de consigne
ou un signal de sortie de 4 à 20 mA.
Advanced Energy® est fier de présenter le nouveau régulateur de débit massique industriel
digital Aera FC-D770 series. Ce régulateur de débit massique est une combinaison
exceptionnelle de l’électronique hautement développée du MFC™ Transformer (panneaux
CI) et le standard éprouvé du secteur Aera FC-7700 series. Ces nouveaux MFC MGMR
digitaux garantissent un contrôle de débit précis, tout en offrant les avantages en termes
de coûts des joints élastomères, qui réduisent les coûts du système et conduisent à un
coût de possession nettement inférieur.
Cette série offre fiabilité et performances supérieures pour les applications utilisant des
gaz non corrosifs, comme l’implantation ionique, la pulvérisation cathodique, l‘oxydation
thermique, l‘enduction de verre d‘optique, la fibre optique, le traitement de surfaces et
d‘autres procédés d‘enduction.
Obtenez les avantages de performance et de fiabilité du FC-D770 series en remplaçant
les autres marques, sans problèmes d‘installation. Ces MFC utilisent des connecteurs
électriques standard (15 pôles, sub D, mâle) et des dimensions normalisées afin de pouvoir
être intégrés aisément dans des systèmes existants.
Afin d’offrir un service après vente de qualité, Advanced Energy® possède une infrastructure
de support globale apportant efficacité et rapidité sur les services de recalibration. Notre
implantation service support, notre expérience et notre expertise reconnue dans les
applications garantissent un service de qualité supérieure dans le monde entier.
Aera® FC-D770 Spécifications
Supplément d’informations
Pour de plus amples renseignements,
n’hésitez pas à contacter notre bureau
France (voir page 4) ou à me joindre
Codes des modèles FC-D770C/FC-D770 (-4V, -4O, -4S)
Gamme de mesure pleine échelle 10 à 5000 centimètres cubes standard par minutes
(N2 équivalent ; multigaz, multigamme)
Temps de réponse
≤ 1,5 sec typique par SEMI E17-91 (au-dessus de 10% de PE)
Précision
(dans des conditions de fonctionnement nominales)
≤ ±1% de la valeur de consigne (25 à 100% pleine échelle)
≤ ±0,25% de la valeur de consigne (5 à 25% pleine échelle)
directement à l’adresse:
Répétabilité
≤ ±0,2% pleine échelle
Wolfgang Urban
Segment Manager – Sales,
Advanced Energy Industries GmbH
Raiffeisenstrasse 32
D-70794 Filderstadt, Allemagne
Gamme de contrôle
5 à 100% pleine échelle
Connexion électrique
15pôles, sub-D, male
Tension d’alimentation
S ource d’alimentation unipolaire : +12 à +32 VCC
Source d’alimentation bipolaire : ±6 à ±16 VCC
Entrée de la valeur de consigne
4 à 20 mA, 0 à 5 VCC, ou 0 à 10 VCC
Téléphone: +49 (0) 711 7 79 27-28
Télécopieur: +49 (0) 711 7 77 87-00
Courriel: [email protected]
Signal de sortie
4 à 20 mA, 0 à 5 VCC, ou 0 à 10 VCC
Communications de service
EIA Standard RS-485 2- ou EIA Standard RS-232 interface I/O
unique, support logiciel RS-485/232 compris
ALIMENTATION-RF: Réseau d’adaptation
digital d’impédance Navigator®
Dans la fabrication de semi-conducteurs, de panneaux solaires, d’écrans plats et de
MEMS, le réseau d’adaptation digital Navigator®d’AE® transforme les impédances en
charge de plasma pour optimiser la puissance de sortie des générateurs de fréquence
radio (RF) dans les procédés de gravure plasma, de dépôt chimique en phase vapeur
(PECVD), de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le nettoyage des chambres.
Le réseau d’adaptation digital Navigator, communément appelé «boite d’accord», est
une plate-forme intégrée qui offre sa technologie d‘adaptation dans une large gamme
d‘impédances de charge. Il permet un couplage de puissance de 5 à 50 kW à des fréquences
de 13.56, 27.12, 40.68 et 60 MHz.
Avantages du produit
Le réseau d’adaptation digital Navigator offre une technologie d’adaptation avancée pour
une adaptation rapide, précise et fiable dans une large gamme d‘impédances de charge.
Equipé d’un circuit de moteur pas à pas contrôlé par microprocesseur et d’algorithmes
digitaux de syntonisation sélectionnables par l’utilisateur, le réseau d‘adaptation Navigator
minimise la puissance renvoyée vers le générateur RF (puissance réfléchie) en adaptant
automatiquement l’impédance complexe du plasma capacitif ou inductif couplé. La
conception digitale du réseau permet une syntonisation beaucoup plus rapide, précise
et répétable que les méthodes de syntonisation traditionnelles par intégrateur analogique.
Et quand vous restreignez la gamme de recherche de l‘adaptateur en utilisant le mode
d’adaptation automatique, il est encore possible de réduire le temps d’adaptation. De plus,
AE ® a créé un assemblage mécanique robuste conçu pour répondre au besoin des
mécanismes de transmission forcée qui ont suscité tant de débats quant à leur fiabilité
par le passé. Tous les mécanismes sources d’erreur, tels que les transmissions, les
potentiomètres et les courroies, ont été éliminés en utilisant des moteurs pas à pas à
entraînement direct avec contrôle digital. Le réseau d’adaptation d’AE® a été le premier
instrument de sa catégorie à réussir le très rigoureux test industriel HASS (highly accelerated
stress screening). Aujourd’hui, des tests HASS stricts sont encore réalisés sur chaque
réseau d’adaptation Navigator produit.
Ajouts facultatifs Le logiciel optionnel de panneau avant virtuel (Virtual Front Panel VFP)
surveille passivement de nombreuses fonctions d’alimentation et contrôle activement
l’adaptation et les paramètres de l’adaptateur par l’intermédiaire d’un PC. Il intègre un
suivi des événements, des retour de consignes, la représentation graphiques du diagramme
de Smith® et l’accès contrôlé à l’aide d’un mot de passe.
L’option de la sonde RF Z’Scan assure une mesure en temps réel et une analyse de la
tension et de l’impédance du procédé. Grâce à ces données, vous êtes en mesure de
prendre des décisions rapidement et avec précision lors de l’établissement, l’évaluation
et le dépannage d’un instrument, d’un procédé et du statut d’un produit. La sonde
Z’Scan permet également de réduire de manière significative la variabilité du procédé en
collectant et en exploitant des données de fréquence radio comme un signal à variable
multiple de problèmes de système (par ex. amorçage du plasma, réseau mal syntonisé,
etc.). Par ailleurs, son option de contrôle en boucle fermée régule automatiquement la
tension transmise à la chambre de traitement pour un contrôle encore plus précis du
procédé.
Le logiciel d’interface utilisateur Z’Ware® du capteur Z’Scan permet d’utiliser le PC à la
fois pour une fonction de contrôle et d’écran d’affichage pour les données de vérification.
En raison de sa facilité d’utilisation, des utilisateurs de tous niveaux d’expérience peuvent
prendre des décisions avisées sur la base de l‘observation et de l‘analyse des données RF.
Avantages du procédé
Dépôt Lors des procédés de dépôt, un dépôt se forme également sur les parois de la
chambre de traitement et sur les éléments internes. La boite d’accord digitale Navigator
offre une technologie avancée pour une adaptation rapide, précise et fiable dans une large
gamme d’impédances de charge.
à suivre page 4 »
Range
Zo: 50
Imag
20
0
-20
-40
-60
-80
-100
0 10 20 30 40 50 60
Real
3155166-002
1013_L25ZA_CVD
Corners:
52.6 + 67,3 – 1,96 – 1.49 – j13
j75
j90.0
j1.23
Gamme de syntonisation – Example
Supplément d’informations
Pour de plus amples renseignements,
n’hésitez pas à contacter notre bureau
France (voir page 4) ou à me joindre
directement à l’adresse:
Mark Lutz
Application Engineering and Consulting,
Advanced Energy Industries GmbH
Raiffeisenstrasse 32
D-70794 Filderstadt, Allemagne
Téléphone: +49 (0) 711 7 79 27-49
Télécopieur: +49 (0) 711 7 77 87-00
Courriel: [email protected]
AGENDA:
21.03. – 23.03.07: SEMICON® China 2007
Shanghai New International Exhibition Center –
SNIEC, Chine – www.semi.org
Stand # 3539, Hall E3
04.04. – 05.04.07: Photovoltaic Technology
Show 2007
M,O,C, Munich, Allemagne – www.photon-expo.com
Stand # 5, Hall 4, Rang B
28.04. – 03.05.07: Society of Vacuum Coaters
Kentucky International Convention Center et
Marriott Louisville Downtown Hotel – Louisville,
Kentucky, Etats-Unis – www.svc.org
Stand # 411/413
16.05. – 19.05.07: China Glass 2007
Shanghai New International Expo Center, Shanghai,
Chine – www.ceramsoc.com/exhibitEn/exhibitEn1.htm
Stand # 289
06.06. – 07.06.07: Salon du VIDE 2007
Centre de Congrès Pierre Baudis, Toulouse, France
www.vide.org/vide2007.html
Stand # 18
06.06. – 08.06.07: ISSP 2007 – 9th International
Symposium on Sputtering & Plasma Processes
Kanazawa Kokusai Hotel, Kanazawa, Japon
www.issp2007.org
Stand # pas encore disponible
ALIMENTATION-RF (suite de la page 3) Elle compense également automatiquement les
variations d’impédances pouvant se produire durant l‘érosion de la cible dans les procédés
de dépôt physique en phase vapeur. Equipé d’un circuit de moteur pas à pas contrôlé par
microprocesseur et d’algorithmes digitaux de syntonisation, le réseau d‘adaptation Navigator
minimise la puissance renvoyée en adaptant automatiquement l’impédance complexe
du plasma capacitif ou inductif couplé. L’optimisation qui en découle fait diminuer la
consommation de gaz, l’usure des composants internes de la chambre et la période
d‘indisponibilité tout en augmentant le rendement votre produit et de votre machine.
Nettoyage de la chambre Le réseau d’adaptation Navigator optimise l’ensemble des
étapes du nettoyage de la chambre. Après un certain temps, la couche qui se dépose sur
les parois de la chambre et sur les autres composants atteint une certaine épaisseur et doit
être éliminée avant le traitement d’un autre substrat. Si la couche diélectrique n’est pas
entièrement éliminée, cela peut perturber l’uniformité et l’épaisseur de la couche déposée
sur le substrat ainsi que les niveaux de particules sur celui-ci, et par conséquent, le
rendement du produit. Au début du nettoyage, la chambre dans son ensemble est à une
certaine impédance électrique, au fur et à mesure que le nettoyage progresse et que la
couche est éliminée, l’impédance électrique change. Le réseau d’adaptation Navigator suit
automatiquement cette progression, de manière rapide et précise. Cela permet d’obtenir
des résultats de nettoyage de la chambre plus répétables. La gamme de syntonisation
étendue du réseau d’adaptation Navigator permet l’adaptation précise des procédés de
dépôt et de nettoyage de la chambre.
Gravure Le réseau d’adaptation digital Navigator permet un traitement optimisé des
géométries actuelles dans les procédés de gravure oxyde; polysilicium et metal. Il permet
de délivrer ce qui se fait de mieux en terme de rapidité, de précision et de fiabilité de
puissance RF dans plusieurs charges, y compris les charges très faiblement résisitives
qui approchent 1 Ω ou moins. A l’aide de paramètres de syntonisation sélectionnables
par l’utilisateur et grâce à sa capacité à effectuer jusqu’à quatre présélections distinctes
dans des conditions de procédé différentes, les algorithmes de syntonisation digitale
du réseau adaptation Navigator offrent une consistance et une répétabilité des procédés
excellentes. Pour identifier et réduire significativement la variabilité des procédés, la sonde
interne Z’Scan, proposée en option, permet une mesure en temps réel et une analyse
de la puissance et de l’impédance des procédés. Ces caractéristiques permettent donc
d’augmenter le rendement du produit et de l’équipement.
Bureaux AE® européens
Europe continentale
Advanced Energy
Industries GmbH
Raiffeisenstr. 32
70794 Filderstadt, Allemagne
Tél: +49 711 77927-0
Fax: +49 711 7778700
[email protected]
Royaume-Uni
Advanced Energy Industries UK Ltd.
Unit 5, Minton Place
Market Court, Victoria Road
Bicester, Oxon OX6 7QB
Tél: +44 1869 320022
Fax: +49 1869 325004
[email protected]
France
Advanced Energy
Industries GmbH
32, Résidence Belledonne
38660 LUMBIN
Tél: +33 4 76134845
Fax: +33 4 76134845
[email protected]
Distributeurs/Représentants
Finlande
A-Vacuum Oy
Tél: +358 20 7417070
[email protected]
Espagne
Bonsai Advanced Technologies S.L.
Tél: +34 91 661 7987
[email protected]
France (Débitmètres massiques)
Omicron Technologies
Tél: +33 476 992260
[email protected]
Suède, Norvège, Danemark
Advanced Vacuum AB
Tél: +46 40 534070
peter.christensen@advanced-
vacuum.se
Portugal
Bonsai Technologies
Tél: +351 214141328
[email protected]
Russie
TBS Egineering Ltd.
Tél: +7 495 247 0833
[email protected]
Italie
Plasma Focus s.r.l.
Tél: +39 0382 530984
[email protected]
Turquie
Vaksis Ar-Ge ve Mühendislik Egitim
Tél: +90 (312) 265 0146
[email protected]
MCU s.r.l. (Flow))
Tél: +39 039 322351
[email protected]
www.advanced-energy.com
Allemagne
(Débitmètres massiques)
Vacom Vakuum Komponenten
& Messtechnik GmbH
Tél: +49 3641 4275-0
[email protected]
© Advanced Energy Industries GmbH, 2006 All rights reserved. Printed in Germany. KGHUDA-JADÖKJ 78/84