Lithographie par projection Stepper Canon 3000i4

ALIGNEUR PAR PROJECTION CANON
L’aligneur par projection CANON 3000i4 permet de transférer l’image d’un masque (ou réticule) sur
un substrat par irradiation d’un matériau photosensible (sensible aux ultra-violets).
CARACTERISTIQUES PRINCIPALES
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Lampe à vapeur de mercure 2KW
Alignement automatique (+/- 150nm)
Ouverture numérique de 0.45 à 0.63
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Diamètre de substrat 6’’ (compatible 4’’)
Réduction x 5
Longueur d’onde de 365nm
PRINCIPE DE FONCTIONNEMENT
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La lithographie optique par projection consiste à exposer une résine photosensible via un système
optique réducteur de x5; la résine est soumise à un rayonnement UV issu d’une lampe à vapeur de
mercure. La limite de résolution avec une longueur d’onde de 365nm est de 0.35µm
EXEMPLES DE REALISATIONS
Lignes périodiques de
0.35µm en résine PFI
Lignes périodiques de
0.25µm en résine PFI
CONTACTS
Véronique Conédéra; [email protected]
Laurent Mazenq; [email protected]
Fabien Mesnilgrente; [email protected]
ENGLISH VERSION Æ