l presentation generale scpio themes de recherche : activite

L
PRESENTATION GENERALE
Nom :
SCPIO
DEPARTEMENT PLATEFORME TECHNOLOGIQUE Sigle: CEA / DRT / LETI / DPTS
SILICUIM
Etablissement : CEA Grenoble
Adresse :
Organisme de rattachement : CEA
17 rue des Martyrs
38054 GRENOBLE Cedex 9
Site Web :
Directeur du Centre de Compétences:
Patrick DUSSOUILLEZ Tel :
Email :
[email protected]
Fax :
04 38 78 26 87
04 38 78 51 83
Contact :
Email :
04 38 78 39 66
Philippe BRINCARD
[email protected]
Tel :
EFFECTIF DU CENTRE DE COMPETENCES : 187 personnes
Permanent
Chercheurs
Ingénieurs
Techniciens
Temporaire
5
60
122
THEMES DE RECHERCHE :
DEVELOPPEMENT DE FILIERES ET BRIQUES MICROELECTRONIQUES POUR LA
FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES (Totalité ou partie de l’ensemble)
DEVELOPPEMENT DE TECHNIQUES GENERIQUES :
Croissance de matériau SiC
Maîtrise du report de couches minces (SMARTCUT ®)
MICROSYSTEMES :
Mécaniques (MEMS), Optomécaniques (MOEMS)
ACTIVITE CONCERNANT LES PLASMAS FROIDS
CARACTERISATION PHYSIQUE DES MATERIAUX
Effectif :
~ 30 personnes
Contact :
Email :
Philippe BRINCARD
[email protected]
Tel :
04 38 78 39 66
L
PLASMAS FROIDS
SCPIO
PLASMAS FROIDS : Typologie et Applications du Centre de Compétences
Recherche
Académique
Traitements et Revêtements de Surface
Microtechnologies
Microélectronique
Plastiques
Textiles
Sources lumineuses
Détoxication
Stérilisation
Autres
Recherche
Appliquée
Centre Technique
et Technologique
Industriel du
Process
L
PLASMAS FROIDS
SCPIO
EQUIPEMENTS
Utilisation envisageable pour
a - Test
b - Prototypage
c - Présérie
d - Application industrielle
CARACTERISATION
Type de caractérisation :
1 – Optique
2 – Métallurgique
3 – Chimique
4 – Mécanique
5 – Physique
6 – Electrique
Matériau Destructive ou
non destructive
Matériau Destructive
5
a bc d
5
a bc d
AFM sans contact
Matériau Destructive ou
non destructive
5
a bc d
FOCUS ION BEAM (FIB)
Préparation d’échantillons
Matériau Destructive
5
a bc d
ELLIPSOMETRE UV – Visible – IR
Mesure d’épaisseur
Matériau Non destructive
selon taille
1
a bc d
SPECTROPHOTOMETRE UV – Visible – Proche IR et IR
Matériau Non destructive
selon taille
1
a bc d
SPECTROSCOPIE D’INDICES EFFECTIFS
Mesure d’épaisseur pour les matériaux à fort indice de réfraction
Matériau Non destructive
1
a bc d
SPECTROSCOPIE D’ABSORPTION EN ONDES GUIDEES
Mesure de pertes dans les guides d’ondes plans
Matériau Non destructive
1
a bc d
MICRORAMAN
Matériau Non destructive
1
a bc d
DIFFRACTOMETRE X SUR MONOCRISTAUX
Analyse cristallographique
Matériau Non destructive
5
a bc d
DIFFRACTOMETRE DE POUDRES
Analyse cristallographique – Etude des empilements
Matériau Non destructive
5
a bc d
TOPOGRAPHIE X
Matériau Non destructive
5
a bc d
Matériau Non destructive
5
a bc d
Matériau Non destructive
5
abc d
MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE (MEB)
MICROSCOPE ELECTRONIQUE EN TRANSMISSION (MET)
MICROSCOPE A FORCE ATOMIQUE
Epaisseur de marches
LAUE EN REFLEXION
Analyse cristallographique
Analyse des défauts
Orientation cristallographique
REFLECTOMETRIE X Couches cristallines ou très minces
Mesure d’épaisseur, de densité et de rugosité
L
PLASMAS FROIDS
SCPIO
EQUIPEMENTS (suite)
Utilisation envisageable pour
a - Test
b - Prototypage
c - Présérie
d - Application industrielle
Matériau
Destructive
3
abc d
ELECTRON SPECTROSCOPY FOR CHEMICAL ANALYSIS (ESCA)
Détermination de la nature des éléments à la surface de l’échantillon
Matériau
Destructive
3
abc d
ANALYSE PAR FAISCEAU D’IONS RBS, NRA, ERDA, PIXE
Analyse chimique et cristallographique de multicouches
Matériau
Destructive
3
abc d
SPECTROMETRIE DE MASSE D’IONS SECONDAIRES
(SIMS)
Détermination des profils d’éléments minoritaires
Matériau
Destructive
3
abc d
SPECTROSCOPIE AUGER
L
PLASMAS FROIDS
Technologies
SCPIO
Propriétés d’emploi
Matériaux
Processus
Dépôt
Applications
Substrat












Secteurs
Industriels
Prestations ou missions envisageables :
Veille technologique
Assistance technique
Expertise / Conseils
Formation
Etude et mise au point de procédés et matériaux
Caractérisation
 Aide à l’innovation
Partenariat avec l’entreprise
MAJ 06/2012
Thèse cofinancée
Contrat européen