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17 PRÉPARATION D’ÉCHANTILLONS MISE EN ŒUVRE, EXPERTISE ET CONSEIL PRÉPARATION POUR ANALYSE PHYSICO-CHIMIQUE La préparation des échantillons avant analyse est une étape incontournable et cruciale dans les activités qu’offre SERMA TECHNOLOGIES. Micro-section d’une puce dans BGA obtenue par polissage métallographique Chaque technologie a besoin d’une préparation adaptée, et de mauvais choix entrainent des conséquences importantes (résultats d’analyse non représentatifs). Pour s’assurer que l’analyse sera représentative de l’échantillon, il y a de nombreux paramètres à prendre en compte pour définir la meilleure solution de préparation de l’échantillon : nature des matériaux, technique choisie pour l’analyse de l’échantillon, objectif de l’étude, etc. Afin de garantir des résultats reproductibles et fiables, SERMA TECHNOLOGIES propose différents types de préparations : 70µm Micro-section d’une pile à combustible obtenue par ultra-microtomie Micro-section d’un film polymère obtenue par Cross-Section Polisher • Techniques de préparation mécanique : – Polissage couche par couche type deprocessing – Polissage biseauté type tripode – Cryo-fracture – Ultramicrotomie • Technique de préparation abrasion ionique : – Cross-Section Polisher [abrasion Ar+] – Precision Ion Polisher System [abrasion Ar+] – Faisceau d’ions focalisés [FIB (Ga+) / P-FIB (Xe+)] • Techniques spécifiques aux matériaux divisés. • Techniques de préparation par voie chimique. 50µm Lame mince en vue transverse obtenue par polissage tripode 70µm Lame mince localisée en vue plane obtenue par polissage tripode Lame mince en vue transverse obtenue par FIB Quelques exemples de préparation d’échantillons mis en œuvre par SERMA TECHNOLOGIES et fournis à ses clients : micro-sections pour MEB, EBSD, µFTIR, AFM SCM et/ou SSRM, nano-Auger, … ; échantillons biseautés pour spectroscopie Raman, D-SIMS, … ; lames minces pour MET. Travaux traités de manière confidentielle SERMA TECHNOLOGIES est agréée au titre du Crédit Impôt Recherche FABRICATION D’OUTILS DE TAILLE MICROMÉTRIQUE SERMA TECHNOLOGIES utilise également ses moyens de préparation d’échantillons pour permettre la fabrication d’outils de taille micrométrique : pointes AFM, pointes de tests électriques, fentes optiques, … (a) (b) 5µm 5µm Imagerie FIB d’une pointe AFM (a) avant et (b) après abrasion ionique TYPE DE MATÉRIAUX Matériaux variés tels que semi-conducteurs (Ge, Si, GaAs, …), matériaux pour les énergies alternatives, matériaux composites, métaux et alliages, polymères (optoélectronique), substrats flexibles (microélectronique), nanoobjets (nanofils, nanotubes, poudres,…), ... Panneau photovoltaïque Puces sur substrat flexible 500µm Diode laser montée sur puce GaAs Pile à combustible (MEA: Membrane Electrode Assembly) Pignon de boîte de vitesse SERMA GROUP EN RÉSUMÉ – FOR EXCELLENCE IN ELECTRONICS TECHNOLOGIES ET PROCÉDÉS INGÉNIERIE DES SYSTÈMES EMBARQUÉS MULTI SECTEUR MICROÉLECTRONIQUE 7 établissements 3 établissements 1 établissement 1 bureau SÉCURITÉ DES SYSTÈMES 4 Domaines d’Activités Stratégiques CONTACT COMMERCIAL CONTACT TECHNIQUE CALL CENTER Pascal MATOSEVIC +33 (0)6 73 46 63 55 [email protected] Karine ROUSSEAU +33 (0) 6 01 35 77 04 [email protected] +33(0)5 62 13 16 20 [email protected] www.serma.com Minatec - BHT – Bât. 52 - 7, Parvis Louis Néel - CS 20050 - 38040 Grenoble Cedex 9 – FRANCE SUIVEZ NOUS ! www.serma.com