Microtopographe Références : STIL Microtopographe CHR 150

Microtopographe
Références : STIL Microtopographe CHR 150
Principe :
 La microtopographie de la surface d’un objet consiste à enregistrer l’altitude de chaque
point de cette surface.
 On utilise pour mesurer cette altitude, l’aberration chromatique d’une lentille non corrigée.
 L’altitude de chaque point est représentée par un code couleur.
 Caractérisation de surface sans contact, non destructive, ne nécessitant aucune préparation
préalable et insensible aux variations de réflectivité de l’objet.
Objectifs :
 Acquisition de profils de surfaces.
 Reconstruction de surfaces en trois dimensions avec représentation de l’altitude par un
code couleur.
 Paramètres de mesure :
Plage de mesure
0-80µm
Précision en z
30nm
Résolution latérale
1µm
 Calcul des paramètres de rugosité 2D et 3D.
0-310µm
0,1µm
2µm
0-2680µm
1µm
5µm
Illustration montrant le microtopographe STIL CHR 150
Deux exemples d’applications
Ra = 0.184 µm
Rq = 0.232 µm
Rp = 0.649 µm
Rv = 0.629 µm
Rt = 1.63 µm
* Paramètres calculés par moyenne de toutes les longueurs de base.
* Un filtre de microrugosité a été utilisé, avec un cut-off de 2 µm.
* Filtre gaussien, 0.25 mm
Reconstruction en trois dimensions d’une trace
de frottement sur du titane pur
Acquisition d’un profil et calcul des paramètres
de rugosité 2D sur un acier