4 de couverture final

FILTRE MOSAÏQUE HYPERSPECTRAL
L'utilisation de filtre mosaïque hyperspectral semble être la solution idéale pour
alléger les imageurs spectraux utilisés lors des missions spatiales. Les contraintes
liées à ce type d'utilisation imposent l'emploi de filtres interférentiels multicouches.
Ces travaux ont pour but de trouver des solutions pour réaliser un filtre mosaïque
hyperspectral avec des filtres interférentiels et non avec les résines colorées
traditionnellement utilisées. Pour ce faire une étude théorique sur la simplification
des designs des empilements interférentiels a été effectuée. Il en ressort que les
empilements restent épais, ce qui complique leur structuration. Plusieurs méthodes
de structurations ont été étudiées. En particulier le lift-off qui est la technique
actuellement utilisé aujourd'hui et le lift-up. Cette dernière présente l'avantage de
ne pas mettre en série le risque technologique associé à chaque réalisation de filtre.
Un trade-off entre ces deux techniques a été fait ainsi que des réalisations
expérimentales. Celles-ci ont ensuite été caractérisées par un banc de mesure
développé dans ce but qui a permis de valider expérimentalement la technique
utilisée.
Mots-clés :
Filtres mosaïques, Filtres interférentiels multicouches, Structuration d'empilement,
Lift-off, Métrologie optique, Applications spatiales.
HYPERSPECTRAL MOSAIC FILTER
Hyperspectral mosaic filter appears to be the perfect solution to lighten the spectral
imagers used in space missions. Such applications require the use of multilayer
interference filters. This work aims to find solutions to achieve hyperspectral
mosaic filter with interference filters rather than the conventionally used coloured
resins. In order to achieve this, a theoretical study on the simplification of
multilayer designs was performed. It appears that the stacks are thicker, which
makes them difficult to pattern. Several methods of patterning were studied,
especially the lift-off technique which is traditionally used and the lift-up. The
latter has the advantage to avoid adding the technological risk associated with
each filter production. A trade-off between these two techniques was done as well
as experimental productions. These were then characterized by a bench developed
for this purpose which has experimentally validate the technique used.
Keywords :
Mosaic filter, Interferential multilayer filter, Multilayer patterning, Lift-off, Optical
Metrology, Space applications.