Le contrôle de l`Humidité dans les salles Blanches

Le contrôle de l’Humidité
dans les salles Blanches
T e c h n o l o g y
&
E v o l u t i o n
Une plus grande productivité
grâce à la juste Humidité maitrisée
pCO3
chambre
blanche
L’humidité relative est un des paramètres
fondamental définissant les conditions
d’ambiance optimales pour une salle blanche.
Les tolérances concernant la précision de
l’Humidité Relative sont souvent extrêmement
restreintes (de l’ordre de +/-1 % dans certaines
applications). Pourquoi un contrôle si précis de
l’Humidité est il indispensable ?
Tout simplement parce que l’humidité relative
influence les principaux facteurs qui régissent les
performances des chambres:
• risque de décharges électrostatiques;
Charges électrostatiques
Des niveaux d’humidité relative
inférieurs à 30% favorisent
la formation de charges
électrostatiques qui peuvent
endommager gravement les
composants électroniques.
• prolifération de contaminants biologiques;
• vitesse des réactions chimiques;
• oscillation des propriétés des photoresist;
• augmentation des forces capillaires;
• santé et confort du personnel.
Bactéries et contaminants
biologiques
L’augmentation de l’humidité relative
au-delà de 50% peut engendrer une
prolifération des bactéries et d’autres
contaminants biologiques (…)
Un taux d’humidité relative entre
40%et 60% réduit l’impact des
bactéries et limite les infections
respiratoires.
Les réactions chimiques
La vitesse de nombreuses réactions
chimiques, y compris le processus
de corrosion, dépend directement
de l’humidité relative. Un contrôle
précis de l’humidité relative dans
l’ambiance permet une maitrise
accrue des processus réactifs
indispensables à la fabrication de
certains composants.
chambre
blanche
Control center
www
WAN
REMOTE monitoring
DSL
service
SMS
service
heaterSteam
chambre
blanche
CAREL spécialiste de
l’humidification
Depuis plus de trente ans CAREL projette
et produit des systèmes électroniques de
contrôle et de régulation pour la climatisation
de l’air, et des systèmes d’humidification.
Exemple d’un schéma
d’installation
CAREL peut fournir le type d’humidificateur le
plus adapté à l’installation ainsi qu’un système
complet de supervision pour faciliter sa gestion
et optimiser son entretien.
Les semi-conducteurs
Etant donné que la viscosité
du photoresist (dont dépend
la possibilité de déposer un
film d’épaisseur constante) est
directement liée à l’humidité relative
ambiante, la fabrication de semiconducteurs exige des tolérances de
contrôles extrêmement fines.
Cette spécialisation, alliée à sa grande
expérience, fait de CAREL le partenaire
idéal pour les industries high-tech et les
laboratoires, pour lesquels la fiabilité et la
précision dans le contrôle de l’humidité sont
indispensables.
Forces capillaires
A des niveaux d’humidité relative
élevée, les forces capillaires
augmentent l’adhérence des
particules d’eau sur les surfaces. Ces
forces capillaires peuvent avoir des
effets non désirés sur la précision et
la vitesse des processus.
Le confort des personnes
Une humidité relative entre 40% et
60% correspond à la zone de bienêtre des personnes. Une humidité
supérieure peut engendrer une
sensation d’inconfort, alors qu’un
humidité inferieure provoque des
inflammations dues à la sécheresse
des muqueuses, et des risques de
gerçure de la peau.
Headquarters
Secteurs d’emploi des chambres blanches
Subsidiaries:
CAREL Australia Pty Ltd
www.carel.com.au - [email protected]
CAREL China Ltd.
www.carelhk.com - [email protected]
CAREL Deutschland GmbH
www.carel.de - [email protected]
CAREL Export
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CAREL France Sas
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CAREL Ibérica
Automatización y Control ATROL S. L.
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CAREL Italia
Nos solutions
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CAREL Sud America Ltda.
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CAREL U.K. Ltd.
www.careluk.co.uk - [email protected]
CAREL USA L.L.C.
www.carelusa.com - [email protected]
Humidificateurs à vapeur
à pression atmosphérique
(2…60 kg/h) à résistances
électriques; précision ±
1% U.R.
Humidificateurs à
vapeur à pression
atmosphérique
(45…180 kg/h)
alimentés au gaz.
Humidificateurs à
vapeur à pression
atmosphérique
(1,5…130 kg/h) à
électrodes immergées.
Affiliated Companies:
CAREL Korea Co. Ltd.
www.carel.co.kr - [email protected]
CAREL spol s.r.o
www.carel-cz.cz - [email protected]
CAREL (Thailand) Co. Ltd.
www.carel.co.th - [email protected]
CAREL Turkey
CFM Sogutma ve Otomasyon San. Tic. LTD
www.carel.com.tr - [email protected]
Distributeurs de vapeur
de réseau (3…900 kg/h
di vapeur, 0,14…4 bar).
Humidificateurs à
atomisation d’eau à
haute pression (60…500
kg/h standard; jusqu’à
5000 kg/h custom)
Humidificateurs à
atomisation d’eau grâce
à l’air comprimé
(60 et 230 kg/h).
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modifications ou des changements à ses produits
sans aucun préavis.
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L’augmentation constante du niveau technologique des processus
de production engendre une utilisation croissante d’environnements
à contamination contrôlée. Les systèmes d’humidification CAREL sont
utilisés avec succès dans les applications pour:
• semi-conducteur et microélectronique;
• pharmaceutique et biotechnologie;
• cosmétologie;
• medicale;
• centre d’actes de soins, hôpitaux et blocs opératoires;
• laboratoire de recherche et développement;
• technologie aérospatiale;
• micro et nano technologie;
• industrie agro alimentaire;
• industrie automobile.
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