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REMERCIEMENTS Grâce à ces quelques lignes, je souhaiterais remercier toutes les personnes qui, de près ou de loin, ont contribué au bon déroulement de ces trois années de thèse. Je tiens tout d’abord à remercier Monsieur Jean-Paul K LEIN, directeur du CNET, ainsi que son prédécesseur Monsieur Daniel BOIS, pour m’avoir permis de réaliser ma thèse dans de très bonnes conditions matérielles et scientifiques. Je remercie également Messieurs Jean GALVIER et Jean-Luc VERHOEVEN , successivement responsables du département TFM (Technologies de Fabrication Microélectronique) au sein duquel j’ai effectué mes travaux de recherche. J’exprime toute ma reconnaissance envers les membres du jury et plus particulièrement envers Monsieur Jean-Luc LERAY et Monsieur Gilbert VINCENT, qui ont accepté la lourde tâche de rapporteur. Je remercie vivement Jean-Luc AUTRAN, mon directeur de thèse. Malgré l’éloignement et ses nombreuses activités, il a su consacrer du temps à mon encadrement, notamment en fin de thèse pour la rédaction du manuscrit. Ce travail de thèse doit également beaucoup à Roderick DEVINE et je tiens à lui exprimer ma profonde reconnaissance. Grâce à ses compétences, sa disponibilité et sa patience, il a su me transmettre les connaissances nécessaires à la réalisation de cette étude ainsi qu’un peu de son "optimisme" face aux alea de la physique. Sa lecture attentive et ses commentaires pertinents ont également permis d’enrichir ce document. Encore une fois "Merci". Je voudrais également remercier Serge BLONKOWSKI et Monique REGACHE pour m’avoir accueillie au sein de leur équipe après la réorganisation de la branche développement de France Telecom. Sans eux, cette thèse aurait probablement pris fin prématurément. Il convient de ne pas oublier tous ceux qui m’ont aidée durant ces trois années. Je citerai par ordre alphabétique : • Michel BRUNEL, pour m’avoir permis de réaliser des mesures de rayons X rasants au sein du laboratoire de Cristallographie (CNRS) de Grenoble. • Frédérique F ERRIEU et Patrick PANIEZ , qui m’ont autorisé l’accès à leur équipement de spectrométrie Infrarouge. • Marc JUHEL, pour ses analyses TOF-SIMS. • Hugues KEJIKIAN et Roland PANTEL, pour leurs photos AFM et TEM respectivement. • Jean-Pierre LUQUIN, toujours prêt à faire des mesures électriques. • Maryse PAOLI , pour ses photos MEB et surtout sa grande disponibilité. J’ai beaucoup appris des nombreuses discussions que l’on a pu avoir ensemble. • Anna VEDDA et Tito BUSANI, de l’Université de Milan, pour leur accueil chaleureux au sein de leur laboratoire et pour leur aide précieuse lors de la réalisation des mesures de TSL et TSC. • L’équipe du Professeur I.H. W ILSON, de l’Université Chinoise de Hong Kong, et plus particulièrement En Zhou LUO pour ses analyses RBS et NRA et ses nombreuses explications quant à l’interprétation des ces mesures. Enfin, une mention spéciale pour tous ceux qui ont contribué à la bonne ambiance du "Module Jaune " du CNET durant ces trois années. Toujours par ordre alphabétique, je nommerai : • Benoît Vandelle, mon ancien voisin de bureau et nouveau collègue. • Damien Lenoble, le "gogo-dancer" du bureau et DJ des soirées Thésards. As-tu trouvé une nouvelle secrétaire-standardiste ? • Emmanuel Josse, alias m*, fournisseur officel de blagues… spéciales. • Latifa Desvoivres, exilée au LETI. Quand est-ce qu’on reprend le Step ? • Marie-Laure Villani, aussi pipelette que maman poule. • Marie-Pierre Samson, notre seconde mère à tous. • Olivier Kermarrec, le "Mr. Tea" du bureau. Félicitations par avance pour le 4 novembre. • Sébastien Jouan, mon conseiller Photoshop également capable de dénicher n’importe quel fichier mp3. • Thierry Devoivre, mon informaticien personnel. On a commencé par être ennemis, puis on a eu (ou pris ? !) le droit de discuter et, finalement, c’est ensemble qu’on a fait une permanence en F023, de 7h à 21h… • Sans oublier les autres thésards, stagiaires ou assimilés : Alexandre Talbot, Brice Tavel, David Fuard, François Neuilly, Frédérique Chaudier, Pascal Ribot, Séverine Gally, Stéphane Monfray, Valérie Girault, Xavier Avale, … • Ainsi que les "anciens" qui m’ont soutenue et encouragée lors de ma recherche d’emploi : Caroline Hernandez, Hélène Plantier-Niel, Pierre-Olivier Sassoulas, Romain Gwoziecki. La liste est longue et pourtant j’ai sûrement oublié quelques personnes. Si tel est le cas, veuillez m’en excuser. Quoi qu’il en soit, un grand merci à tous pour ces trois années fort sympathiques et bonne continuation. Qui sait, nos chemins se croiseront peut-être à nouveau…