Fonderie de composants SAW et RF-MEMS

Frequency Components and Systems
Fonderie de composants
SAW et RF-MEMS
destinés à l'Industrie
et la Recherche
Contact : Sylvain Ballandras, Président
frec|n|sys SASU
18 rue Alain Savary – 25000 Besançon
Tel : +33(0)3 6308 2465 – +33(0)6 1264 1434
[email protected]
Applications SAW et
RF-MEMS
Capteurs SAW
Pression/température
Collaboration SENSeOR
Designs dédiés
Résonateur 4,7 GHz AlN/Sa
Collaboration Spade SAS
Nouveaux wafers
Miroir de Bragg pour
résonateur à ondes de volume
Applications wireless
Capteur passifs sans fil et sans batteries
Défense – Spatial
Filtres, oscillateurs, capteurs
de précision
Communications – RF
Filtres et oscillateurs locaux
Avec le soutien de
Moyens technologiques
et outils de CAO
Lithographie haute
résolution
Dépôts de couches
Stepper Nikon body 9
résolution 0,35µm
Pulvérisation cathodique,
évaporation assistée par
faisceau d'électrons
Maîtrise des épaisseurs au nm
CD-SEM
optique
AFM
Métrologie
CDSEM/MEB
Fluorescence X
Test sous pointes RF
Microscope
Procédé lift-off LOR - SPR
Filtres « bande étroite »
Comparaison expérience/simulation
Utilisation des outils de simulation et
de conception à base d'éléments
finis, d'éléments de frontière et de
matrices mixtes