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Formation générale aux salles blanches - CRN2
Formation initiale d’accès au Laboratoire de Nanofabrication et Nanocaractérisation (LNN) But du présent document Le présent document est en appui à la formation générale en salles blanches qui vise à donner l’information de base au nouvel utilisateur pour qu’il puisse se familiariser avec les lieux et les usages en vigueur, savoir comment se comporter en salles blanches en situation normale ainsi qu’en situation d’urgence, et ce, avant même d’entreprendre ses travaux de laboratoire. Les différentes formations spécifiques sur des équipements et procédés pourront être dispensés ultérieurement pour compléter la formation de l’usager selon ses besoins. Description et fonctionnement du laboratoire Le Laboratoire de Nanofabrication et de Nanocaractérisation (LNN) de l’Institut Interdisciplinaire d’Innovation Technologique (3IT) est un environnement à empoussièrement contrôlé (salles blanches) de classe 100. Cet environnement est partagé par des chercheurs, étudiants et travailleurs de l’industrie qui œuvrent dans des secteurs de recherche où cet environnement critique est requis. Le LNN dispose d’un parc d’équipements de fabrication et d’analyse se voulant le plus versatile possible. Ces équipements sont très souvent ajustés afin de servir le plus grand nombre de projets possible. Du personnel technique et professionnel supporte le laboratoire, assure le bon fonctionnement des équipements et aide les usagers du laboratoire dans leurs objectifs de fabrication, de caractérisation et de tests de dispositifs. Obligations des usagers du laboratoire Les usagers doivent respecter un code de conduite visant d’abord l’intégrité des personnes et deuxièmement celle du laboratoire et des équipements. En acceptant d’accéder aux installations du LNN, les usagers s’engagent à ne pas compromettre la santé et la sécurité d’autrui ou la leur, par un comportement adéquat en tout temps en laboratoire. Tout usager accédant aux installations du LNN s’engage à respecter les politiques du laboratoire qui sont en en vigueur. De plus, afin de maintenir un environnement salle blanche de classe 100, les usagers s’engagent à minimiser leur « empreinte d’empoussièrement». Par ceci, on entend de respecter la procédure d’entrée des personnes et des objets, et de conserver un haut degré de propreté et de rangement pour les surfaces de travail et les équipements que l’usager utilise. Enfin, tout usager doit suivre la formation à la santé et à la sécurité en laboratoire de l’Université de Sherbrooke au plus tard deux mois suivant le début de ses travaux dans le LNN. Consulter le site http://www.usherbrooke.ca/immeubles/sante-et-securite/formations-etinscription/ pour consulter le calendrier des formations offertes et pour vous inscrire. Noter que suite à la réussite de l’examen vous recevrez un certificat valable pour 5 ans. Procédure d’accueil avant de suivre les formations Un futur usager aura à fournir son CIP (code d’identification personnel) au secrétariat du Département de génie électrique et informatique obtenu de l’Université afin d’avoir accès au réseau intranet sécurisé et aux divers supports informatiques du laboratoire (registre d’entrée/sortie, base de données d’échantillons, demandes de services, réservations d’équipements, et autres services). Le nouvel usager devra également, en collaboration avec son superviseur, compléter le Formulaire de demande d’accès au laboratoire dans lequel une description du projet et des procédés à utiliser/développer seront clairement décrits. Ce formulaire est disponible sur le site du Guide de l’usager des salles blanches, section Documents de formation. Le formulaire rempli et signé est transmis au coordonnateur de laboratoire qui le remettra au responsable des formations lorsque tout sera en règle. Le nouvel usager pourra ensuite communiquer avec le responsable des formations pour planifier sa formation générale et éventuellement ses autres formations spécifiques. Préparation Le site du Guide de l’usager des salles blanches https://crn2.3it.usherbrooke.ca/guide_sb contient entre autres l’information nécessaire pour que l’usager puisse se renseigner sur le laboratoire, son fonctionnement et les règles à suivre. Pour la préparation à la formation générale, l’usager devra lire les sections Page d’introduction, Description générale, Nouveaux usagers et consulter le Plan des salles. Il contient également les documents de référence forts utiles selon les projets à réaliser tels que ceux portant sur les Produits chimiques, les Appareils, les Publications, les Procédés courants, etc. De plus, tel que mentionné auparavant, le Formulaire de demande d’accès au laboratoire est accessible dans la section Documents de formation, avec tous les autres documents de formations. L’usager verra à lire attentivement les documents de formation qui le concerne avant de suivre une formation spécifique. Pour les formations spécifiques, consulter la section Documents de formation. Vous pouvez également consulter la section Appareils pour plus d’informations sur de l’équipement utilisé dans le cadre des formations. Déroulement de la formation générale Cette séquence correspond au déroulement et au contenu de la formation faite au nouvel usager. Plusieurs aspects mentionnés sont détaillés dans le Guide de l’usager des salles blanches. 1) Accès Au 3IT, les portes d’accès au LNN sont accessibles avec la carte magnétique des résidents du 3IT qui aura été programmée en conséquence suite à la formation. L’accès est valable en tout temps, mais il est demandé de respecter les heures d’ouvertures sauf en cas de nécessité, moyennant une entente préalable auprès du coordonnateur. 2) Heures d’ouverture Les heures d’ouverture normales sont de 8h à 17h du lundi au vendredi. Pour travailler au labo les fins de semaine ou en dehors des heures ouvrables, vous devez en aviser le coordonnateur de laboratoire, obtenir son approbation et respecter l’entente concernant votre sécurité en l’absence de personnel. Ce peut être par exemple d’être en tout temps au moins 2 personnes en salles blanches incluant un usager expérimenté, de communiquer auprès d’un membre du personnel périodiquement et/ou d’aviser la sécurité lorsque l’on quitte. Noter que des restrictions s’appliquent quant au type de travaux pouvant être faits en l’absence du personnel. Par exemple, les cabinets de produits chimiques sont verrouillés lorsque le personnel quitte le labo à la fin de la journée. 3) Utilisation des appareils et postes de travail en salles blanches À moins de bris, de maintenance, ou de restrictions particulières, les équipements et appareils d’usage courants sont prêts à être utilisés durant les heures ouvrables par les usagers formés. Sauf pour certains postes ou équipements qui ne nécessitent pas de réservations, les réservations sont obligatoires et doivent être complétées par les usagers préalablement à l’utilisation. Par contre, certains équipements en accès restreint sont opérés seulement par le personnel qualifié du laboratoire et quelques usagers dont le projet de recherche le justifie. Les usagers nécessitant des travaux avec ces équipements devront donc soumettre une demande de services et déposer leurs échantillons pour cueillette par le personnel. Les procédures de démarrage et de fermeture d’équipement seront enseignées lors des formations spécifiques. Selon le type d’appareil, un équipement sera laissé après usage dans un état de mise en attente et non de fermeture complète lorsque d’autres usagers peuvent utiliser l’appareil d’ici la fin de la journée. Dans tous les cas, les équipements et poste de travail utilisés se doivent d’être laissés en bon état, propres et rangés. Les défectuosités, anomalies, bris, baisses de rendement ou autres problèmes d’équipement ou de procédé relatifs à un appareillage doivent être rapportés dès que possible au personnel technique responsable de l’équipement ou au coordonnateur de laboratoire afin d’apporter des correctifs. 4) Séquence d’entrée 1-Brosse à chaussure : a) Insérer un pied sur l’appareil, entre les brosses rotatives et pousser la barre vers l’arrière pour activer le brossage et l’aspiration. b) Maintenir une dizaine de secondes tout en inclinant le pied à gauche et à droite pour brosser également la semelle de votre chaussure. c) Déposer le pied sur le tapis caoutchouté devant l’appareil. d) Insérer l’autre pied et répéter les 3 dernières étapes. e) Utiliser votre carte magnétique pour débarrer la porte et entrer en l’approchant du lecteur disposé à cet effet. Si elle ne permet pas l’ouverture, aviser le coordonnateur. Pour plus de propreté, après le brossage des chaussures, il faut aller directement dans le sas sans circuler dans le corridor, autrement il faudra reprendre le brossage. 2- Registre d’entrée : a) A l’écran du registre d’entrée, il y a dans la partie de gauche 3 sections soient : Équipe technique, Personnes ayant droit d’accès et Visiteurs. Dans la partie de droite, les noms des personnes présentes en salles blanches sont affichés. b) Les usagers peuvent cliquer sur la lettre correspondant à la première lettre de leur nom de famille et sélectionner ensuite dans la liste leur nom puis cliquer sur Entrer. On peut aussi entrer notre cip ou pour l’équipe technique, cliquer directement sur notre cip affiché. c) Si votre nom ne figure pas, vous pouvez être admis comme visiteur mais vous devez être accompagné par un usager. Il vous faut entre autres inscrire votre nom au complet et sélectionner votre accompagnateur parmi la liste des usagers. d) A la sortie des salles blanches, cliquer sur le signe moins «-» en rouge à droite de votre nom pour le retirer de la liste des personnes en salles blanches. Un message indiquant le laps de temps passé en salles blanche s’affichera. 3- Couvre-cheveux : a) Refermer la porte du sas correctement et limiter vos déplacements à la zone d’entrée limitée par la ligne au sol et/ou le banc. Traverser la zone seulement vêtus du couvre-cheveux et des couvre-chaussures. b) Prendre un couvre-cheveux neuf de la boîte ou reprendre votre couvre-cheveux du petit tiroir qui vous est réservé, identifié par un numéro qui vous a été assigné par le coordonnateur. Le cintre pour votre habit de salles blanches sera identifié du même numéro. c) Utiliser le couvre-cheveux pour contenir tous vos cheveux à l’intérieur. d) A la sortie, dans la zone d’entrée/sortie, vous pourrez retirer votre couvre-cheveux et le ranger dans votre tiroir ou le jeter s’il est endommagé ou qu’il commence à dégager de ses fibres (inspecter sa surface régulièrement). 4- Couvre-chaussures : a) Utiliser les couvre-chaussures disponibles (réutilisables) dans le contenant près de l’ordinateur du registre d’entrée. La couture doit être à l’intérieur et le joint de couture sur le dessus du pied. b) Déposer les pieds recouverts de l’autre côté de la ligne ou du banc, c’est-à-dire dans la grande zone d’habillement du sas. c) A la sortie, dans la zone d’entrée/sortie du sas, vous pourrez retirer les couvre-chaussures et les déposer dans le contenant pour réutilisation. Svp, jeter à la corbeille les couvre-chaussure usés, percés ou sales. 5) Nettoyage des objets a) Si vous voulez entrer en salles blanches du matériel tels que stylos, cahiers, contenants d’échantillons, etc., vous devez vous assurer que ces objets sont suffisamment propres, sans poussière. Vous pouvez les nettoyer au préalable si nécessaire. Un nettoyage plus poussé peut être ensuite être fait dans le sas. Vous pouvez aussi les transporter dans des contenants propres tels que des sacs de plastique transparents à fermeture rapide etc. b) Noter que des objets dégageant des particules qui ne sont pas admis en salles blanches tel que du papier ordinaire, peuvent être placés dans des enveloppes de plastique fermées. On peut aussi imprimer nos documents sur papier de salles blanches. Consulter le personnel des salles blanches pour de l’assistance. 6) Habillement de salles blanches a) Il existe plusieurs tailles de costumes et de gants et quelques tailles de bottes et de cagoules. L’usager peut choisir la taille des costumes aussi selon sa grandeur (XL ou XXL pour les personnes très grandes par exemple). b) Les costumes et accessoires vestimentaires propres sont emballés dans des sacs en plastiques et classés par tailles sur l’étagère dans le sas. Il faut utiliser des ciseaux pour découper l’enveloppe de plastique et ne pas déchirer le sac, car cela génère des particules. Déposer les sacs vides dans la corbeille de récupération des pellicules plastiques. c) A la sortie, vous pourrez suspendre le costume au cintre ayant le numéro qui vous a été assigné pour le réutiliser. Attacher votre cagoule par un ou deux boutons pression avec ceux de votre collet de costume et la placer à l’intérieur de votre costume. c) Les costumes et cagoules utilisés sont mis régulièrement au lavage par les usagers euxmêmes, selon le niveau d’utilisation et de propreté. Règle générale, un costume utilisé de façon régulière, soit quelques heures par jour, devrait être mis au lavage après une à deux semaines. Évidemment, s’il a fait très chaud et humide à l’intérieur des salles blanches ou si le costume ou un accessoire est sale, on le mettra au lavage dès que possible. On peut cependant attendre un mois ou un peu plus si l’utilisation est moins fréquente et moins prolongée. d) Les bottes sont partagées. Celles qui sont déballés seront régulièrement mises au nettoyage par le personnel. Prendre une paire parmi celles qui sont disponibles (déjà déballées) ou sinon en prendre une nouvelle paire d’un sac. Pour les ranger à la sortie, il faut joindre par une sangle la paire de bottes et les rouler ensembles pour les ranger avec celles de même taille. d) Pour mettre au lavage, déposer simplement les vêtements dans le bac de linge sale identifié à cette fin. e) Aviser le personnel si vous détectez un dommage sur un vêtement ou accessoires et le mettre de côté. e) La séquence d’habillage est la suivante : 1-Cagoule a) Choisir la taille selon le diamètre de votre tête. Penser aussi au volume de vos cheveux! b) Le bas de la cagoule sera placé à l’intérieur de l’habit. Pour cette raison, on revêt d’abord la cagoule et on la retirera à la toute fin. 2-Habit de salles blanches a) Vous pouvez enfiler l’habit en position debout ou assise, en commençant par les jambes. Dans la mesure du possible, éviter que l’habit ne touche le sol. b) En enfilant les manches, s’assurer que la cagoule reste à l’intérieur. Une cagoule mal insérée dans le dos est le problème d’habillement le plus commun. Une façon de vérifier que la cagoule n’est pas ressortie de l’habit est de rejoindre les deux mains derrière la nuque. Ceci permet de replacer votre collet d’habit et de détecter si la cagoule est bien placée ou pas. 3- Bottes a) Dans le sas, la semelle des bottes ne doit pas être en contact direct avec le plancher, mais doit être déposée sur la surface des tapis collants. b) Enfiler les bottes de préférence en position assise sur le banc pour éviter de perdre l’équilibre. c) S’assurer que la semelle est bien à plat, autrement dit que le rebord de la semelle n’est pas écrasé mais fait bien le tour de votre soulier (recouvert du couvre-chaussure). Si ce n’est pas le cas après avoir tenter de le replacer, passez simplement à une pointure de bottes plus grande. 4- Lunettes a) A moins de porter déjà des verres correcteurs qui donne une protection minimale, l’usager doit choisir une paire de lunette de protection et la porter en salles blanches. Il pourra cependant retirer ces verres momentanément au postes de travail tels que les microscopes optiques, les ordinateurs, et là ou il n’y a pas de risques d’éclaboussure (présence de produits chimiques), de projection mécanique (appareils avec pièces en mouvements, gaz comprimés, clivage d’échantillons), ou exposition lumineuse (laser ou UV). b) Il est important de ne pas laisser traîner les verres un peu partout aux postes de travail jugés sécuritaires. Il faut les remettre devant ses yeux avant de quitter le poste! c) Noter que des verres correcteurs de sécurité peuvent être achetés par les usagers. Se renseigner auprès du coordonnateur pour plus de détails. d) Noter aussi qu’un couvre-visage sert de protection supplémentaire pour assurer une sécurité accrue lors des travaux avec des produits chimiques. e) Remettre les lunettes de protection à leur place dans le sas avant de quitter. 5- Gants a) Choisir des gants de nitrile de taille approprié (ambidextre) parmi les tailles disponibles. b) Certains usagers préfèrent porter un gant de tissu à l’intérieur de leur gant de nitrile pour en augmenter le confort (absorber l’humidité, etc.). Ceux-ci sont disponibles, mais l’usager est responsable du nettoyage périodique de ses gants de tissus pour en prolonger la durée de vie utile. c) Éviter de toucher la partie extérieure vers les doigts du gant pour ne pas contaminer les surfaces qui entreront en contact avec les équipements et dispositifs de salles blanches. d) Les gants endommagés ou sales seront remplacés dès que possible. Retourner dans le sas, jeter les gants à la poubelle et en revêtir des neufs. e) On recommande de retirer les gants en les retournant à l’envers et de jeter les gants après chaque usage. 7) Situations d’urgence a) Il y a une trousse de secours dans le sas pour soigner des blessures mineures. Demander immédiatement de l’aide si cette situation survient et aviser le personnel. b) Pour des situations plus graves, composer le 811 pour rejoindre par téléphone le service d’urgence de l’Université. c) Les alarmes sonores d’évacuations de la faculté (ou de l’institut) sont audibles aussi en salles blanches. Il y en a deux types, la pré-alerte et l’alerte générale. d) On reconnait une pré-alerte par sa fréquence qui est relativement lente (1 coup aux 2 secondes), tandis que pour une alerte générale, la fréquence est augmentée à 2 par seconde. e) Pour une pré-alerte, il s’agit pour tous de quitter les lieux dans un temps raisonnable, ayant pris soin de sécuriser leur manipulation sachant que personne ne pourra surveiller ce qui se passe en labo durant une période indéterminée. Dans ce cas, on doit par exemple éteindre une plaque chauffante qui pourrait surchauffer une solution chimique. f) Lors d’une pré-alerte, on peut sortir normalement mais promptement par le sas et se dévêtir des habits de salles blanches, si on a le temps. L’évacuation vers l’extérieur de la faculté devrait se faire idéalement en 2 minutes ou moins. f) Pour un alerte générale, il faut stopper toute action et rapidement sécuriser notre poste de travail puis quitter les lieux vers la sortie la plus proche tel quel. Dans ce cas, il n’est pas requis de retirer les habits de salles blanches avant de sortir de l’édifice, puisque le temps compte et votre vie pourrait en dépendre. g) Pour assure le trajet le plus court et une sortie la plus rapide, l’évacuation vers l’extérieur se fera par différentes portes selon la position de l’usager en salles blanches au moment de l’alarme générale. Consulter le plan d’évacuation pour plus de détails. 8) Visite des secteurs des salles blanches 1-Sas d’entrée principal (P2-1100) a) Tel que mentionné auparavant, utiliser l’aspirateur et brosse à chaussures dans le corridor central (P2-1260) et accéder au sas. b) S’inscrire au registre d’entrée à l’ordinateur dans la zone d’entrée/sortie du sas puis revêtir le couvre-cheveux et ensuite les couvre-chaussures en traversant la ligne ou le banc vers la zone d’habillement. c) Revêtir l’habillement de salles blanches tel que décrit auparavant, soit la cagoule, l’habit et les bottes, en déposant celles-ci sur les tapis collants. Revêtir ensuite les gants et lunettes. d) L’évacuation d’urgence se fait vers le corridor central (P2-1260), puis à droite vers la sortie extérieure au bout du corridor pour rejoindre ensuite le point de ralliement dans le stationnement à l’arrière. 2- Secteur des couches minces (P2-1101) a) Les systèmes de déposition de couches minces sont opérés par le personnel. On y retrouve entre autres le pulvérisateur cathodique Plasmionique et l’évaporateur Edwards. b) L’évacuation d’urgence des secteurs longeant le corridor central (P2-1260) se fait par le sas ou par une de deux portes de secours la plus près donnant sur ce corridor, puis à droite vers la porte extérieure au bout de ce même corridor. 3- Secteur des projets industriels (P2-1103) a) Un banc de placage électrolytique, un banc humide et le CMP se retrouvent dans ce secteur pour une utilisation réservée à certains usagers. Le port des lunettes de protection est requis pour quiconque circule ou travaille dans ce secteur. b) Des cabinets de produits chimiques se situent aussi dans ce secteur. c) Une douche d’urgence (douche de corps et douche oculaire) et un extincteur se situent aussi à proximité. 4- Secteur Traitements chimiques humides (P2-1127) a) Secteurs à haut risque puisque des produits chimiques y sont manipulés. Il y a 6 bancs humides dont certains ont des usages dédiés. IL EST IMPORTANT DE RESPECTER LES USAGES POUR NE PAS CONTAMINER LES POSTES DE TRAVAIL et ainsi compromettre certains procédés sensibles aux contaminations, particulièrement aux métaux tels que le cuivre et l’or! b) Un cabinet de rangement des solvants et un autre d’acides se situent à proximité le long du corridor central. Il y a un autre cabinet pour le rangement des résines près du secteur voisin de la photolithographie. b) Le port de lunettes de protection ou de couvre-visage est requis pour y travailler ou être à proximité d’un banc de travail. c) Le port du tablier, du couvre-visage et des gants de nitrile vert est requis pour le travail avec les acides ou les bases. d) Une douche de corps et une douche oculaire d’urgence se situe à proximité en cas d’accident par éclaboussure. e) L’usage de certains bancs est restreint : acide/base ou solvants, banc pour soulèvement potentiellement contaminé par des métaux tels que Cu ou Au, bancs pour RCA propre (sans métaux). Vérifier les panneaux indicateurs pour les usages restreints. f) Des étagères servent au rangement de la vaisselle propre et de la vaisselle utilisée. L’usager utilise la vaisselle propre et après usage, ramene la vaisselle utilisée et bien rincée dans l’étagère de vaisselle utilisée. Le personnel verra à faire le nettoyage et à fournir les usagers en vaisselle propre. 5- Secteur Photolithographie (P2-1129) a) Secteur avec éclairage jaune pour éviter l’exposition des photorésines par la lumière ambiante. b) Une série de 3 bancs humides servent à faire les revêtements de résine avec les étaleuses, et une série de 3 autres pour effectuer les développements. Pour cette dernière série, seul le banc central contient un appareil de développement. Les deux autres servent donc pour le développement par immersion ou le nettoyage d’échantillons et de masques aux solvants. c) Des fours à étuves et un microscope sont disponibles. . Des plaques chauffantes sont aussi dans les bancs des étaleuses. Les aligneuses et le photoplotter sont situés dans ce secteur. 6- Secteur Four à recuit et plasma d’oxygène (P2-1105) a) Ce secteur au centre de la salle blanches contient des équipements de nettoyage au plasma un four à recuit RTA et un petit pulvérisateur cathodique pour l’Au/Pd. On peut aussi y préparer des échantillons sur les tables (clivage, identification des boites, etc.). Comme dans la plupart des secteurs, un PC est disponible pour l’accès aux bases de données dont SSE à faire lors de la création d’échantillons. b) L’évacuation d’urgence des secteurs qui longent le corridor vitré (P2-1270) se fait par le sas principal ou par une des 3 portes de secours la plus près donnant sur ce corridor. Dans ce dernier cas, il n’y aura que quelques pas à faire pour rejoindre une des 3 portes le long du corridor vitré qui débouchent vers l’extérieur. c) Une autre douche d’urgence et un extincteur se retrouve dans ce secteur près de la sortie de secours. 7- Secteur Caractérisation (P2-1107) a) Une partie de cette pièce contient des appareils de mesures électriques tels que station sous pointes, analyseur paramétrique (I-V), appareil de mesure d’impédance gain et phase (C-V, C-f), profilomètre optique. b) Noter que la pièce occupée par P2-1107 inclus aussi P2-1108 contenant le microscope à effet de champ LeoVp et un microscope à force atomique (AFM). Une porte permet l’accès par le corridor de service pour les réservoirs cryogénique vers le LeoVP. 8- Secteur Lithographie par faisceau d’électrons (P2-1108 et P2-1109) a) Les microscopes électroniques à balayages sont dans ces secteurs (LeoVP, 1530 et FIB). Ils peuvent servir à l’observation, l’analyse ou pour faire des lithographies par faisceau d’électrons. Grâce à la taille très fine des faisceaux, des dimensions de l’ordre d’une dizaine de nanomètres peuvent être obtenues. b) Comme certaines lithographies sont de longues durées, les appareils sont souvent actifs même après les heures ouvrables. 9- Secteurs Plasmas (P2-1111) a) Ces appareils comprennent un réacteur PECVD pour la déposition de couches diélectriques et des réacteurs de gravures aux plasmas de différentes compositions pour graver principalement le silicium (ASE), les semi-conducteurs III-V et le chrome (III-V) , ou les oxydes (AOE). 10- Secteur traitement des matériaux (P2-1112) a) L’implanteur ionique et les fournaises sont les équipements volumineux composant essentiellement ce secteur. b) La porte d’urgence la plus proche dans le secteur Traitement des matériaux qui mène au corridor vitrée est située dans le sas du personnel (local P2-1113) qu’il faudra traverser. 11- Sas d’entrée du service technique (P2-1113) a) Ce sas est réservé au personnel pour la décontamination des équipements et accessoires et pour un accès plus direct du personnel venant des ateliers et des corridors de services. 12- Téléphones en salles blanches a) Il est possible de faire sonner les téléphones dans tous les secteurs des salles blanches ou dans un seul secteur. Veuillez consulter l’annuaire téléphonique sur le portail de l’intranet pour connaître les numéros par secteur. b) Pour mettre un appel en attente, appuyer sur le bouton octogonal. Pour transférer un appel, appuyer plutôt sur Trnsfer et signaler le numéro. c) Le numéro de groupe du LNN est le 65727 et celui pour l’atelier est le 65726. 9) Réseau et logiciels 1-Répertoire Public et réseau intranet a) Les usagers ont accès au réseau informatique des salles blanches. Le répertoire Public contient les dossiers au nom de chacun des usagers pour faciliter les échanges de fichiers. Noter que l’information confidentielle ne doit pas être laissée dans ces répertoires puisque tous les usagers peuvent y accéder. b) Il est possible de transférer de l’information des ordinateurs des salles blanches à partir de son poste de travail si ce dernier est sur le même réseau. Par exemple, pour obtenir les données du profilomètre et faire le traitement offline, pour visualiser des photographies ou micrographies prises à un microscope optique ou électronique, ou transférer un fichier de design vers les MEBs, etc. 2-Page générale, Portail et Guide de l’usager des salles blanches a) La page générale d’accueil https://crn2.3it.usherbrooke.ca/ affiche les nouvelles et les usagers présents en salles blanches, ce qui est utile pour rejoindre un autre usager. Cette page ne nécessite pas de code ni de mot de passe. Elle permet aussi moyennant l’entrée de son cip et de son mot de passe, d’accéder au Portail sécurisé et au Guide des salles blanches ainsi qu’à l’interface « mon Bureau » de l’Université pour l’accès et la gestion des courriels à distance. b) La page d’Introduction du Guide de l’usager des salles blanches https://crn2.3it.usherbrooke.ca/guide_sb présente un résumé de l’infrastructure que sont les salles blanches et des règles générales qui s’y appliquent. c) La page Description générale détaille l’infrastructure et les connexions aux appareillages en eau, en gaz comprimés et en succion, en mettant l’emphase sur la sécurité. d) Les pages Appareils et Plan des salles donnent de l’information plus complète sur les équipements et de leur disposition en salles blanches ou dans certains cas situés dans d’autres laboratoires connexes. e) La page Nouveaux usagers est conçue spécifiquement pour fournir de l’information pertinente aux nouveaux usagers pour les initier à l’environnement des salles blanches au sens large, du personnel aux infrastructures. f) La page Produits chimiques dresse l’inventaire des différents produits chimiques utilisés, avec un hyperlien vers une fiche technique et la documentation de sécurité MSDS pour chaque produit. g) La page Procédés courants donne des exemples de procédés en donnant les paramètres recommandés avec nos équipements pour une situation particulière. Ces paramètres peuvent servir de point de départ pour l’optimisation dans des conditions similaire ou pour trouver une autre plage de paramètres dans des conditions différentes. h) La page Documents de formation donne accès aux différents manuels de formation dont celui-ci pour aider à la préparation de l’usager devant suivre une formation et comme référence pour rappeler ou préciser certains éléments concernant des équipements ou méthodes de travail. i) Le Portail permet l’accès à divers modules tels que celui de Réservation, du Système de Suivi des Échantillons (SSE) et des Demandes de service qui seront détaillés ci-après. Il donne aussi accès au Guide de l’usager des salles blanches, à l’Annuaire téléphonique du groupe, à un Forum, aux Nouveautés, à un aperçu du nombre de personnes dans chaque laboratoire, etc. 3-Système de réservation a) Le système de réservation permet la planification et la synchronisation des usages des équipements et postes de travail par les usagers pour différents laboratoires, incluant les salles blanches. b) Les droits de réservations pour un usager sont donnés suite à une formation spécifique à l’équipement. c) Il est aussi possible de consulter l’occupation prévue d’un laboratoire en ayant une vue d’ensemble des équipements qui y sont réservés d) La durée de réservation est par tranche de 30 minutes minimum mais lors d’un usage plus court, il faut mentionner la durée réelle d’usage en commentaire. e) Il est important d’effectuer les réservations pour une meilleure répartition des usages dans la journée et pour aider les chercheurs à justifier de façon la plus fidèle l’utilisation réelle des équipements dépendant des demandes de subvention. f) Respecter autant que possible la fin de la durée de la réservation. Éviter de monopoliser un équipement en réservant plus de 3 heures par jour ou en réservant trop à l’avance pour ensuite décommander à la dernière minute. Ceci évitera les frustrations et les conflits entre usagers. g) Sélectionner le projet concerné et la personne pour qui vous faites le travail si ce n’est pas pour vous-même. 4- Demande de service a) Les étapes de procédé faites par le personnel requièrent une demande de service. b) Sélectionner le type de service requis, le type d’équipement et préciser les différentes paramètres et spécifications pour le travail à faire, ainsi que numéro des échantillons sur lequel ce travail serait fait. c) Un numéro SSE devra être attribué à chacun de vos échantillons. Veuillez l’indiquer clairement sur vos boites d’échantillons. d) Déposer vos d’échantillons dans les endroits prévus pour le secteur ou l’équipement. Il s’agit d’armoires de plexiglass ou de tiroirs indiqués «à faire» pour l’équipement. e) Il est possible de voir les demandes de service en cours de façon globale ou par type de service. f) Lorsque le travail sera terminé, un message courriel vous sera transmis et vous pourrez récupérer vos échantillons dans l’armoire ou le tiroir indiqué «fait». De plus, le personnel verra à entrer l’étape de procédé effectuée pour vos échantillons dans la base de données SSE. 5- SSE a) Le Système de Suivi de Échantillons est une base de données qui s’enrichit de toutes les étapes faites sur tous les échantillons du laboratoire, et ce depuis 2005. b) Les usagers peuvent limiter l’usage de leur cahier de laboratoire et rendre disponible pour leur superviseur ou leur groupe de recherche les étapes et résultats obtenus avec leurs échantillons. c) Ceci permet aussi de poursuivre la fabrication en connaissant exactement les étapes effectuées ou de répéter un procédé qui a déjà été validé. Il est important d’entrer les informations exactes dès que possible pour ne rien omettre. d) La création d’échantillons, l’ajout d’étapes sont les outils de base que l’usager aura à utiliser. La recherche simple ou avancée d’échantillon et l’exportation des étapes dans Excel sont des outils très utiles. e) Rappelons qu’un échantillon qui n’est pas «créé» dans SSE ne sera pas traité dans une demande de service. L’usager a donc intérêt à utiliser la base de données en «créant» ses échantillons dès les premières manipulations (identification, clivage ou nettoyage initial par exemple) et à poursuivre l’ajout des étapes tout au long du cycle de vie de l’échantillon (fabrication, caractérisation, test, et expédition s’il y a lieu) f) L’outil de création d’échantillons permet aussi de «créer» une série d’échantillons à partir d’un échantillon existant, et offre aussi d’autres possibilités intéressantes. 10) Séquence de sortie a) Avant de quitter son poste de travail, l’usager doit remettre les équipements utilisés en état d’attente ou de fermeture selon le cas. b) Il verra à reprendre ses choses tels que cahier de laboratoire, boites d’échantillons, kit de pinces, stylo, et lunettes de protection et à ranger les accessoires qui doivent rester sur place. c) L’usager doit ranger toutes ses choses allant dans son tiroir et remettre les lunettes de protection à l’endroit prévu dans le sas. d) A moins d’urgence, la sortie des salles blanches s’effectue par le sas en marchand sur les tapis collants e) On procède dans l’ordre inverse pour retirer la tenue de salles blanches : 1- Retirer les gants et les jeter à la poubelle. Si utilisés, conserver les gants intérieurs de coton pour réutilisation ou pour nettoyage. 2- Retirer une botte et déposer le pied hors du tapis collant. Retirer l’autre botte et faites de même. Ne pas retirer tout de suite les couvre-chaussures. Attacher ensemble la paire de bottes par une des sangles puis la rouler et la déposer dans l’étagère avec les bottes de même taille. 3- Retirer le couvre-tout évitant qu’il ne touche le plancher. Suspendre dans le vestiaire le couvre-tout au cintre ayant le numéro qui vous a été assigné. 4- Retirer la cagoule et l’attacher au collet de votre couvre-tout par leurs boutons à pression. Rentrer la cagoule à l’intérieur. 5- Retirer les couvre-chaussures en traversant la ligne vers la zone d’entrée/sortie du sas et remettre ceux-ci dans le contenant. Les jeter s’ils sont endommagés ou sales. 6-Retirer le couvre-cheveux et le placer dans le tiroir ayant votre numéro. Le jeter s’il est percé ou pelucheux. 5- Effectuer la sortie dans le registre des salles blanches en cliquant sur le signe moins à droite de votre nom. 6- Sortir dans le corridor. 7-Bien refermer la porte. 11) Rencontre coordonnateur a) A la fin de la formation générale, nous vous invitons à rencontrer le coordonnateur. b) Si tout est en règle, vous pourrez obtenir votre ensemble de pinces et votre cahier de laboratoire. Si votre carte magnétique n’est pas encore activée pour l’accès aux salles blanches, en aviser le coordonnateur. c) Rappelons que, si ce n’est pas déjà fait, votre superviseur doit remplir le formulaire de demande de formation pour que vous puissiez bénéficier des formations spécifiques. d) Pour pouvoir travailler dans les salles blanches, l’usager doit s’engager à respecter les règles d’usage en vigueur, pour la sécurité de tous et pour le bon fonctionnement du laboratoire de recherche. Pour ce faire, un document d’acceptation lui sera remis. Il pourra le lire et, s’il est d’accord de le respecter, le signer et le remettre au coordonnateur. Document d’acceptation des Politiques de Sécurité et d’Usage au Laboratoire de Nanofabrication et Nanocaractérisation (LNN) 1- Considérant que le Laboratoire de Nanofabrication et de Nanocaractérisation (LNN) est un environnement particulier qui nécessite des précautions pour le maintien du niveau élevé de propreté, je, soussigné, m’engage à respecter les règles d’usage décrites dans le document Politiques de Sécurité et d’Usage du LNN concernant la tenue vestimentaire requise et l’entrée d’articles à l’intérieur du laboratoire. 2- Considérant que le laboratoire LNN est un environnement multi-usager, je m’engage également à faire preuve de civisme, de courtoisie, d’entraide et de respect envers les autres usagers. Ceci inclut de respecter la fin des durées des réservations des mes équipements, de faire le rangement approprié des articles que j’utilise, d’éviter de perturber un usager ou un équipement particulièrement lors des manipulations délicates ou dangereuses et de remettre en état d’attente les équipements et postes de travail à mon départ. Si le comportement d’un autre usager me semble inadéquat, je tenterai de communiquer avec lui calmement et poliment pour lui signifier et si possible, lui proposer une alternative adéquate. En cas de refus de collaborer, j’irai m’adresser au coordonnateur. 3- Je me dois également de communiquer tout problème ou anomalie technique au personnel technique ou au coordonnateur. J’aviserai dès que possible le responsable de l’approvisionnement aux salles blanches s’il vient à manquer d’un quelconque consommable. 4- Je m’engage aussi à respecter les règles de santé et sécurité du manuel de sécurité de l’Université de Sherbrooke et celles énoncées dans le document Politiques de Sécurité et d’Usage du LNN. Ceci inclut le port des lunettes de sécurité, le port de l’équipement de protection complet pour l’utilisation d’acide et de base, la manipulation adéquate des produits chimiques, l’utilisation approprié de la vaisselle et des pinces selon les produits utilisés et les réactions chimiques. Ceci implique aussi de travailler calmement et de façon réfléchie, mais jamais dans un état de fatigue, de grande pression, ni sous l’influence de médicaments, alcool ou autre qui perturberaient mon raisonnement et mes réflexes. 5- Je reconnais les deux types d’alarmes et la procédure d’évacuation en cas d’urgence. Je peux aussi rapidement situer l’emplacement des douches d’urgences. 6- Je comprends que je ne peux travailler avec les équipements et postes de travail que si j’ai suivi et réussi la formation qui concernent des équipements et postes de travail et les procédés particuliers qui y sont effectuées. S’il m’arriverait d’oublier certains éléments pour l’opération d’un équipement ou que je ne sois pas à l’aise d’être entièrement autonome avec celui-ci, je m’adresserai au responsable des formations pour suivre une formation de «rafraîchissement» ou au personnel pour avoir de l’assistance. Moi, ……………………………………………, je suis d’accord pour respecter les règles ci-dessus. Signature _______________________________ signé à Sherbrooke, le __________________.
