Gazette du Vide N°15 - Société Française du Vide

édito
otidé
Novembre 2007
n°15
pour le CIP et à Nancy pour ITFPC contribue
largement à ce succès. Que les acteurs trouvent
ici le témoignage public de notre gratitude.
Un an déjà ! Une année riche d’activités dont un
premier bilan a été dressé lors de notre dernière
Assemblée Générale. Pour ceux, nombreux
malheureusement, qui n’ont pas pu être présents, je vais en rendre compte dans cet éditorial.
Sur le plan national, notre mission est aussi de
promouvoir la connaissance du vide et de ses
applications. Cela se fait à deux niveaux :
• dans la formation initiale, en
aidant au développement de filières
technologiques de type Bac Pro,
BTS, DUT ou Licence Pro dédiées
au vide et à ses applications, et en
aidant à faire connaître aux jeunes
générations et à leurs enseignants
les métiers du Vide.
• dans la formation continue,
domaine d’activité de notre société
qui a connu cette année un surcroît d’intérêt,
puisque certains cours ont dû être dédoublés,
compte tenu du nombre d’inscrits.
Vous connaissez tous le grand succès de
“Matériaux 2006”, co-organisé par
plus de 20 sociétés savantes, qui est
un exemple de synergie entre partenaires de compétences complémentaires focalisant leur savoir-faire sur
un centre d’intérêt commun. Dans
ce cadre,le savoir-faire de la SFV a été
reconnu par nos partenaires, ce qui
entraîne une participation de notre
part à plusieurs événements. Tout
d’abord,le 150e anniversaire de la Société Française
de Chimie (juillet 2007), et ultérieurement nous
participerons à l’organisation du congrès européen
de la corrosion (EUROCORR’2009), nous organiserons le congrès mondial de l’adhérence en 2010
(WCARP-IV) et dans le cadre de l’UISTAV le
Congrès International du Vide (IVC-19) à Paris en
2013, avec conjointement le Congrès International
de Science des Surfaces (ICSS).
Bien entendu, nous continuons à développer nos
propres manifestations :
• Les Journées d’Etude permettent de fédérer une
communauté de recherche francophone autour de
thèmes comme l’adhérence (JADH 2007, voir bilan
page 4), les ions rapides (IBAF 2008) et la spectroscopie d’électrons (ELSPEC 2008).
• Les congrès internationaux propres à la SFV
comme le colloque sur les plasmas (CIP, voir
page 4) et le congrès couches minces de Nancy,
devenu international (ITFPC).
Le renouvellement des comités de ces congrès,
entamé il y a deux ans, a permis d’augmenter
leur rayonnement international, et le dynamisme
des équipes locales organisatrices à Toulouse
Directeur de la publication :
Michel Rémy
Comité de rédaction :
Henri Michel (Président)
Michel Cantarel - Gweltaz Hirel
Eric Papon - Jean-Marc Poirson
Michel Rémy - Daniel Vernière
Contact : Gweltaz Hirel
[email protected]
Abonnement : Hervé Lemoine
www.vide.org/gazette.html
Réalisation : INEDIT
SOCIÉTÉ FRANÇAISE DU VIDE
Tél. 01 53 01 90 30
www.vide.org
ISSN : 1638-802X
Enfin les lecteurs assidus de cette gazette ont pu
remarquer qu’elle s’est dotée d’un nouveau
Comité de Rédaction, présidé par Henri Michel,
afin de veiller à la qualité pédagogique, à l’intérêt
et à la qualité scientifique des articles. Nul doute
que vous puissiez en mesurer les effets au fil des
prochaines publications.
Cette année a vu aussi de profondes modifications
du Secrétariat Permanent.En effet Bernard Dallery,
que tous les membres de la SFV connaissaient et
appréciaient, a souhaité nous quitter. Ce départ a
donné lieu à une redistribution des tâches et des
responsabilités au sein du Secrétariat Permanent
et à une nouvelle embauche.Vous trouverez donc
en dernière page de cette gazette un trombinoscope du Secrétariat Permanent, avec l’indication
des fonctions de chacun, afin que vous puissiez
trouver facilement votre interlocuteur.
■
Michel Rémy - Président de SFV
sommaireeriammos
▲▲
Pivoine_2G, Moyen National d’Essai ...................... p. 2
▲▲▲▲▲
Formations .................................................................................................... p. 6
Bilan Jadh 07, CIP 07 ..................................................................... p. 4
Rendez-vous 2008 ......................................................................... p. 5
Normes et Atex .................................................................................. p. 8
Section Française de l’Adhésion ........................... p. 10
Infos sociétés ......................................................................................... p. 11
Repères : le CIP, 2e partie
................................................
SOCIÉTÉ FRANÇAISE DU VIDE
p. 14
Ce numéro de la Gazette sera entièrement disponible sur le site : www.vide.org
A LA UNE
Moyen national d’essai :
Propulsion Ionique pour les Vols Orbitaux -
Un moteur plasmique
en fonctionnement
dans le banc PIVOINE
Depuis les années 70, la technologie des satellites n’a cessé d’évoluer.
Actuellement, la majorité des satellites en orbite géostationnaire sont des
satellites de télécommunication dont le maintien à poste demande, entre autre,
des corrections d’attitude et des corrections de positionnement dans les directions
Nord-Sud et Est-Ouest pendant toute leur durée de mission. De plus, pour ne pas encombrer les orbites géostationnaires lorsque le satellite est devenu non opérationnel, il est
nécessaire de réaliser sa désorbitation.Toutes ces opérations sont réalisées par le sous-système
propulsif du satellite, constitué de un ou plusieurs moteurs, qui fournit une force de poussée
par éjection de matière opposée à la direction de déplacement souhaitée.
Aujourd’hui un satellite doit permettre
d’embarquer une charge utile plus élevée et
disposer d’une durée de vie plus longue
qu’il y a 30 ans. Ces exigences se ressentent
sur le sous-système propulsif de correction
d’orbite et de contrôle d’attitude du satellite. En une trentaine d’années, la durée de
vie des satellites est passée de 2 à 15 ans
et la masse ergol embarquée pour réaliser
ces fonctions de quelques kilogrammes à
quelques centaines de kilogrammes, soit
près de 50 % de la masse embarquée.
Si l’on ajoute à la masse d’ergol celle
des propulseurs, des dispositifs de pressurisation, de stockage et d’alimentation, la
masse du sous-système propulsif peut
donc représenter une part importante de
celle du satellite. La masse d’ergol disponible est une limite majeure de la durée de
vie des satellites et la masse totale du système propulsif détermine une importante
partie du coût du lancement.
Le sous-système propulsif est donc un
paramètre essentiel pour la conception
d’une plateforme satellite. En optimisant la
masse du sous système propulsif par un
nouveau choix technologique, on pourrait
augmenter la masse d’ergol ou diminuer la
masse totale au lancement. Si la propulsion
chimique a dominé par le passé, elle atteint
aujourd’hui ses limites de performances et
il apparaît donc nécessaire de s’orienter
vers un autre type de propulsion.
La propulsion électrique se présente
comme une bonne alternative. Celle-ci
consiste tout d’abord à ioniser un gaz
(le xénon) puis à accélérer les ions créés
par un champ électromagnétique adapté.
Cette technique permet d’obtenir des
vitesses d’éjection 5 à 8 fois supérieures
à la propulsion chimique classique. La
force de poussée étant le produit du
débit massique de gaz par la vitesse d’éjection, il apparait que, pour une force de
LA GAZETTE DU VIDE N°15
poussée donnée, la consommation d’ergol
sera moindre dans le cas de la propulsion
électrique.
PROPULSEUR À EFFET HALL
Parmi les différentes technologies de propulsion électrique, l’une des plus prometteuses concerne les propulseurs à
plasma de la famille des PPS (Propulseur à
Plasma Stationnaire) aussi appelé propulseur à effet Hall. Ceux-ci, développés par les
russes dans les années 60, présentent d’excellentes performances. Les propulseurs
PPS, développés par la SNECMA sur la base
des propulseurs russes, remplissent parfaitement les exigences sévères que doit satisfaire un système propulsif destiné au maintien à poste et au contrôle d’attitude des
satellites géostationnaires actuels. Ces propulseurs pourraient aussi être utilisés pour
réaliser l’opération de transfert d’orbite
à partir de l’orbite d’injection donnée lors
de la séparation avec le troisième étage du
lanceur ou pour des missions interplanétaires complexes. Bien que ce type de propulseur soit qualifié au sol en durée de vie par
des tirs d’endurance et que son principe de
fonctionnement apparaisse simple, les processus physiques intervenant sont complexes et à ce jour imparfaitement connus.
Afin d’améliorer la compréhension des
phénomènes physiques apparaissant dans
ces propulseurs, de maîtriser leur fonctionnement et d’en améliorer leurs performances, un moyen d’essai sol, nommé
Le banc PIVOINE_2G lors des essais de recette en juillet 2006
PIVOINE_2G, situé au CNRS d’Orléans à
l’Institut ICARE, est utilisé depuis 1998
pour faire fonctionner ces moteurs, étudier
leur comportement dynamique sur de
larges domaines de fonctionnement et
tester de nouvelles technologies. Un
Groupement de Recherche sur la propulsion
plasmique associe 12 laboratoires du CNRS,
de l’Université, le CNES et la SNECMA
depuis 1996. Le moyen national d’essai
PIVOINE_2G est le principal outil expérimental du Groupement de Recherche.
LE MOYEN D’ESSAI
Au début des années 90, aucune installation dédiée à l’étude scientifique des propulseurs à effet Hall n’existait en Europe,
seules des installations d’endurance étaient
utilisées. En 1994, le CNES, le CNRS et la
Région Centre ont décidé de financer la
réalisation d’un nouveau moyen d’essai pour
combler cette lacune. L’Institut ICARE a été
retenu pour assurer la maîtrise d’œuvre
globale de définition, de réalisation, de
mise en fonctionnement opérationnel et
d’exploitation du banc d’essai PIVOINE.
Ce moyen d’essai est opérationnel depuis
le début de l’année 1998. Initialement
dimensionné afin de tester des moteurs de
type PPS de moyenne puissance, le banc a
été modifié en 2006 afin de pouvoir tester
des moteurs de forte puissance. Cette
modification a donnée naissance à la
version du banc PIVOINE_2G.
Évolution du banc PIVOINE vers PIVOINE_2G
2
P.I.V.O.I.N.E_2G
Interprétation et Nouvelle Expérience
Ce moyen d’essai est constitué d’une
enceinte à vide principale cylindrique à axe
horizontal en acier inoxydable de 4 m de
long et de 2,2 m de diamètre dans laquelle
le moteur est en fonctionnement. Les
dimensions de l’enceinte ont été déterminées afin de limiter les interactions entre
le jet de plasma et les parois.
Les moteurs à effet Hall ne peuvent avoir un
fonctionnement correct que pour des pressions dans l’enceinte principale inférieures à
une pression critique de 2,5.10-4 mbar de
xénon. Le maintien du point nominal des
propulseurs nécessite l’injection permanente d’un débit de xénon compris entre 5
et 20 mg/s, la vitesse de pompage nécessaire
doit être comprise respectivement entre
50 000 et 200 000 l/s afin de rester inférieure à la pression critique. De plus, pour
les moteurs de type PPS, 50 % de la puissance électrique se retrouve dans le jet sous
forme thermique ou cinétique et doit donc
être évacuée par le système de pompage.
Pour le banc PIVOINE_2G, l’importante
vitesse de pompage nécessaire au bon
fonctionnement des moteurs est obtenue
par 2 cryopompes rentrantes de grandes
dimensions. Ces systèmes ont été développés en collaboration avec la société
Air Liquide-DTA.
LA GAZETTE DU VIDE N°15
Afin de pouvoir tester des moteurs de forte
poussée, il a été nécessaire d’augmenter la
vitesse de pompage pour le xénon, un
La mise sous vide du système, de la pression atmosphérique à 1.10-4 mbar, est réalisée par un groupe primaire de pompes
sèches. L’ensemble de la procédure jusqu’à
l’obtention du vide limite dure environ
20 heures mais plusieurs jours sont nécessaires pour obtenir un vide de qualité. ■
P. Lasgorceix, C. Legentil, S. Sayamath
ICARE (Institut de Combustion,
Aérothermique, Réactivité et Environnement),
CNRS Orléans
▲▲▲▲▲
3
liquide à une pression de 7 bars, le débit
minimal d’azote liquide nécessaire étant de
30 l/h lorsque le moteur n’est pas en fonctionnement. A l’avant de la cryopompe, un
baffle à ailettes recouvertes de tuiles en graphite, lui aussi refroidi par de l’azote liquide,
protège les panneaux cryogéniques du flux
d’ions énergétiques et absorbe une grande
partie du flux thermique du jet de plasma.
La température de l’écran et du baffle étant
régulée à 110 K, ces éléments sont aussi
utilisés pour condenser la vapeur d’eau, la
surface totale disponible du baffle et de
l’écran permettant d’obtenir une vitesse de
pompage de 300 000 l/s. Ce premier
système permet d’obtenir une pression de
vide résiduel de 5.10-7 mbar d’azote et maintient une pression de 2,5.10-5 mbar de
xénon lorsque le moteur fonctionne avec
un débit de xénon de 5,4 mg/s et une puissance électrique de 3 kW.
deuxième système cryogénique (cryopompe
latérale) a donc été développé. Ce nouveau
système, qui reprend la même technique que
la cryopompe frontale, est cette fois ci
monté sur la surface latérale d’une virole
cylindrique d’un diamètre de 3,5 m et de
1,7 m de long. Six panneaux cryogéniques
équipés chacun d’un cryogénérateur d’une
puissance de 110 W à 42 K sont utilisés.
Un écran et un baffle à ailette refroidis par
une circulation d’azote liquide complète le
système. Cette cryopompe latérale n’est pas
équipée d’un panneau 20 K et ne peut donc
être utilisée qu’en complément de la cryopompe frontale qui est montée sur cette
virole. Le système cryogénique complet
permet d’obtenir une pression de vide résiduel de 5.10-7 mbar d’azote et maintient une
pression de 2,5.10-5 mbar de xénon lorsque
le moteur fonctionne avec un débit de
xénon de 20 mg/s et une puissance électrique de 6 kW. La consommation d’azote
liquide est d’environ 110 l/h lorsque le
moteur fonctionne à sa puissance maximum.
▲▲
Le premier système (cryopompe frontale)
est composé de 4 panneaux cryogéniques
permettant de condenser sélectivement les
gaz présents dans l’enceinte. Trois de ces
panneaux sont dédiés au pompage du
xénon. Leur température est régulée à 42 K
et la puissance frigorifique disponible à cette
température est 60 W par panneau. La
vitesse de pompage maximale obtenue pour
le xénon est de 70 000 l/s. Le quatrième
panneau est à une température de 20 K et
dispose d’une puissance de réfrigération de
20 W ; il permet la condensation des gaz
résiduels en particulier l’azote et l’oxygène,
mais ne permet pas le pompage des gaz faiblement condensables tels que l’hydrogène
et l’hélium, c’est pourquoi une pompe turbo
moléculaire optimisée pour ces gaz est utilisée en complément. Sa vitesse de pompage
est de 30 000 l/s pour l’air. Le refroidissement des panneaux est assuré par des cryogénérateurs qui fonctionnent par détente
d’hélium gazeux pressurisé suivant le cycle
de Gifford-McMahon. Les 4 panneaux cryogéniques sont protégés thermiquement du
rayonnement de la paroi du caisson à 300 K
par un écran dans lequel circule de l’azote
La cryopompe frontale lors d'une maintenance des tuiles
graphites
Mise en place de
la cryopompe frontale
dans la virole de
la cryopompe latérale
BILANS
Compte-rendu
scientifique JADH
Du 24 au 28 septembre 2007, se sont tenues à Biarritz les 14e Journées JADH.
Les journées de l’Adhésion s’articulent
autour de 2 jours de formations suivis
de 2 jours et demi dédiés au colloque.
Cette année fut encore une grande réussite
avec 71 participants à la formation (plus de
80 % d’industriels). Organisée autour de
12 cours, l’essentiel des thèmes de
l’adhésion est abordé, progressant
depuis l’extrême surface vers la couche adhésive.
Bilan CIP
Après une journée et demie de cours
(40 participants) les congressistes ont
débattu pendant trois jours (12 conférences
invités, 50 communications orales et 100
posters) des nouvelles avancées dans le
domaine des procédés plasmas et de leurs
applications dans des domaines aussi variés
que le biomédical (matériaux biocompatibles, stérilisation plasmas, traitement de
tissus humains…), l’environnement
(dépollution d’effluents gazeux, de l’eau…),
la propulsion spatiale, la microélectronique, les micro-nanotechnologies,
les traitements de surface et dépôts
de couches minces et revêtements à
propriétés fonctionnelles mécaniques,
optiques, décoratives… Parmi les développements récents, que ce soit en terme de
source plasma ou d’application, différentes
thématiques ont fait l’objet d’un nombre
LA GAZETTE DU VIDE N°15
Dans le cadre du colloque, le programme
proposé a permis de
convaincre que notre
communauté possède
des atouts importants en
terme de recherche et
développement dans le
domaine de l’Adhésion.
Les différentes sessions
thématiques, lancées par
des conférences invitées
remarquées, nous ont
amené à aborder le collage dans l’aéronautique (perspectives pour le tout composite,
nanostructuration), la modification de
surfaces (greffage chimique, modification
physique…), l’adhésion des cellules
(adhésion de protéines, bactéries…), les
effets de dissipation (polyuréthanes,
latex cœur-écorce, silicone, rhéologie en
milieu humide), le collage structural
(durabilité, vieillissement, interphase) et
enfin les phénomènes fondamentaux
de l’adhésion (JKR Dynamique, pont
capillaire, démouillage).
Le prix DEDALE a été attribué à
Costantino CRETON (ESPCI). Ce dernier nous a dressé un panorama de ses
recherches récentes où la mesure d’adhérence côtoie les propriétés aux grandes
déformations. L’analyse des phénomènes au
décollement en regard des propriétés viscoélastiques des couches, permet de mieux
comprendre l’utilisation croissante des PSA
pour des applications de plus en plus
variées.
■
Gérard Marin
Président du Comité Scientifique JADH 2007
+ d’info
sur le site de la SFA :
www.vide.org
Le 16e Congrès International sur les Procédés Plasmas, CIP 07
s’est tenu à Toulouse du 4 juin au 8 juin 2007. Il a rassemblé
190 chercheurs venant d’une vingtaine de pays.
important de communications lors de ce
CIP 2007. Citons par exemple, les procédés plasmas à la pression atmosphérique (microdécharges, décharges à barrière diélectrique, torches microondes…),
le développement des applications
des plasmas froids pour le bio-médical,
le développement de nouveaux
procédés couplant un procédé plasma
à un procédé non plasma (tel que
traitement plasma et “Atomic Layer
Deposition”, ou deux procédés plasmas
(PECVD/PVD….). La diversité des applications traitées atteste de la richesse des procédés plasmas froids et de leurs nombreux
atouts pour répondre à de multiples
besoins industriels, technologiques et environnementaux dans les années futures.
La conférence s’est achevée par la remise
d’un prix à trois étudiants en thèse, l’un
pour la meilleure présentation orale
à E. Despiau-Pujo (LPTP, Palaiseau), les
deux autres pour les meilleurs posters
à I. Guesmi (LPGP, Orsay) et M. Mafia
(LSGS Nancy et Univ Porto Allegre,
Brésil).
■
Agnès Granier
Vice-Présidente du comité d’organisation
CIP07
4
RENDEZ-VOUS
ITFPC
Innovations
on Thin Films
Processing and
Characterisation
20-23 NOVEMBRE 2007
Université Henri Poincaré, Nancy I,
Faculté des Sciences et Techniques,
Vandœuvre-lès-Nancy
Cette “version internationale” du congrès
IEACM, qui s'était tenu en 2003 et en 2005,
devrait tenir toutes ces promesses puisqu'à
l'heure où nous mettons sous presse, plus
de 150 propositions de communications ont été reçues. Les organisateurs
attendent une forte participation et seront
sans nul doute récompensés de la dimension
donnée à cette édition.
■
Manifestations SFV
Panorama 2008
ELSPEC-3, DU 26 AU 28 MAI 2008
À L'INSTN DE CADARACHE
Après le succès des éditions 2004 et 2006
de la conférence francophone sur les spectroscopies d’électrons, ELSPEC revient en
2008. La conférence ELSPEC’2008 quitte
la région parisienne et se tiendra cette fois
dans le sud de la France près du centre de
recherche du CEA à CADARACHE du
26 au 28 mai dans les locaux de L’INSTN.
Elle s’adressera à toute la communauté des
scientifiques des organismes de recherche
et des grands domaines de l’industrie qui
utilisent les spectroscopies d’électrons.
Nous souhaitons cette année, par une localisation sous un format plus résidentiel,
favoriser les échanges par des tables rondes organisées en soirée.
www.vide.org/elspec2008/
VIDE 2008, LES 4 ET 5 JUIN 2008
À LYON
9e Salon des utilisateurs de vide et des
technologies associées, l'un des rendezvous majeurs en Europe pour les utilisateurs de vide.
CONFÉRENCES INVITÉES
• Nano-structuring polymer thin films by
localized surface plasmons: new hybrid
metal/polymer nanoparticles of controllable optical properties
Renaud Bachelot (LNIO,Troyes, France)
• Low energy and photo emission electron microscopy and related techniques
for thin film analysis
Ernest Bauer
(Arizona State University,Tempe, USA)
• Microstructural and chemical characterisation techniques for nanostructured
and amorphous nitride coatings
Asuncion Fernández
(ICMS, Sevilla, Espagne)
• Crystal growth and elasticity
Pierre Müller (CRMCN, Marseille, France)
• Plasma thin films as new materials for
miniature fuel cells
Stéphanie Roualdès
(IEM, Montpellier, France)
5
LA GAZETTE DU VIDE N°15
MAGNÉTRON 2008,
LES 4 ET 5 JUIN 2008 À LYON
Les dépôts de couches minces par voie
sèche, pour leurs performances mais aussi
pour le respect de règles environnementales, tendent à supplanter les technologies
par voie humide génératrices de rejets polluants à coûts de traitement prohibitifs. Les
▲▲▲▲▲
• Role of plasma surafce engineering in
NanoBiotechnologies
François Rossi (IHCP, Ispra, Italie)
Du vide industriel au vide poussé, les
acteurs industriels des différents marchés
tel que l'aéronautique, l'énergie, le biomédical, l'optique, la chaudronnerie… sont à
votre disposition pour répondre à toutes
vos demandes. N'hésitez pas à les solliciter !
Plus de 60 exposants vous accueilleront. ■
www.vide.org/vide2008.html
IBAF 2008, DU 13 AU 15 OCTOBRE
2008 À CARCANS
IBAF2 est la deuxième manifestation ‘Ion
Beam Analysis France’, et suit celle de
Nouan-le-Fuzelier tenue en mars 2003. La
manifestation regroupera des chercheurs,
étudiants et ingénieurs utilisant les faisceaux d'ions rapides (rétrodiffusion de
Rutherford, canalisation d'ions, analyse par
réactions nucléaires, et PIXE entre autres)
pour l'analyse en sciences de matériaux, en physique de la matière
condensée, en sciences de la vie et de
l'environnement et en art et archéologie. En plus des communications orales et
posters, des chercheurs internationalement
reconnus feront des exposés invités pour
introduire ces différents thèmes et pour
exposer les tout derniers développements.
La manifestation est majoritairement francophone, bien que des exposés et posters en
anglais soient acceptés. Ces 2e Rencontres
“Analyse par faisceaux d'ions rapides” se
tiendront dans un environnement école au
Domaine de Bombannes à Carcans (33). ■
www.vide.org/ibaf2008.html
▲▲
• Synthesis and characterization of carbonbased films for gas permeation barriers
Nadhira Laidani (ITC-IRST, Povo, Italie)
5e Journées des 4 et 5 juin 2008 auront lieu
à l’Espace Tête d’Or à Lyon simultanément
au Salon “Vide 2008”. Elles débuteront
par une formation adressée aussi bien aux
ingénieurs qu’aux chercheurs qui permettra de rappeler les fondements de la technologie plasma et la caractérisation des
procédés de dépôt en couches minces par
magnétrons sous vide.
En fin de première journée, des posters présenteront les meilleures réalisations actuelles. Elles permettront de faire le point sur
les évolutions marquantes dans le domaine.
La seconde journée, sous forme de colloque, sera consacrée aux innovations récentes des procédés, notamment sur l’ionisation de la vapeur, et à leurs perspectives de
débouchés industriels. L’utilisation des
technologies magnétrons pour des aspects
liés aux ressources énergétiques et à
l’environnement devrait également être un
thème important de ces Journées.
■
www.vide.org/magnetron2008.html
Panorama des Formations
La Société Française du Vide propose depuis plus de 35 ans
un enseignement conventionné dans le domaine des Techniques
du Vide et de leurs Applications, du vide industriel à l’ultravide.
Les cours combinent théorie et pratique et sont dispensés par
des professionnels reconnus du milieu industriel ou universitaire.
2 formules possibles : Les objectifs de la SFV sont de former votre personnel, quelque
soit son niveau, de consolider son savoir-faire et ses compétences, d’adapter ses connaissances à l’évolution de votre entreprise, de satisfaire vos demandes spécifiques.
• Stages INTER : la SFV dispense une trentaine de cours traditionnels sélectionnés
dans le catalogue avec un contenu défini.
• Stages INTRA : la SFV dispense des stages au sein-même des entreprises avec un
programme adapté.
LA LYOPHILISATION, DANS LES
DOMAINES AGROALIMENTAIRE
ET PHARMACEUTIQUE
11-13 décembre 2007 - IUT d’Orsay
Objectifs : Ce cours s’adresse aux personnels de maintenance, de production et
de développement. Cette formation, comprenant 50% de travaux pratiques, ne
nécessite aucune connaissance particulière.
Elle a pour but d’expliquer et surtout de
montrer les principes de fonctionnement
des différents lyophilisateurs industriels ou
de laboratoire. Un accent particulier est
mis sur la partie maintenance du matériel
et sur le vide, sa génération, son contrôle et
son entretien.
À la fin de cette formation, le stagiaire sera
capable de mettre en service un lyophilisateur, d’interpréter, de comprendre et
de remédier à la plupart des dysfonctionnements liés à l’utilisation de ce type
de matériel. De plus, par l’acquisition du
vocabulaire technique spécifique, le stagiaire sera capable de dialoguer directement avec les fournisseurs de ce type de
matériel.
■
PVD – MAGNÉTRON –
EVAPORATION – MBE
18-20 décembre 2007
Université Henri Poincaré, Nancy
Objectifs : Ce stage de deux jours et
demi s’adresse aux techniciens et ingénieurs du milieu industriel et académique
qui ont à mettre en œuvre des procédés
de dépôt sous vide. Cette formation
donne les bases indispensables à une
bonne compréhension des différents
processus conduisant à la formation de
films minces et vise à donner l’essentiel
des connaissances nécessaires à la mise
en œuvre des différents procédés de
dépôts physique.
■
LA GAZETTE DU VIDE N°15
CONNAISSANCE ET PRATIQUE
DE LA CRYOGÉNIE
SESSION A :TECHNICIENS –
SESSION B : INGÉNIEURS
21-24 janvier 2008 (session A ou B)
IUT d’Orsay
Objectifs : Ce stage de 4 jours a été
conçu pour permettre aux techniciens et
techniciens supérieurs d’acquérir (techniciens) ou d’approfondir (ingénieurs) des
notions théoriques et pratiques de base
sur la cryogénie. 20 % du temps est traité
en travaux pratiques sur équipements
actuels et pédagogiques.
■
COUCHES MINCES : GÉNÉRALITÉS
CONCERNANT LA CROISSANCE
DES FILMS
11-13 mars 2008 - SFV Paris
Objectifs : Comprendre les mécanismes de
croissance et les phénomènes physiques et
chimiques associés à l’élaboration des films
minces. Après une présentation comparative
des différentes techniques de croissance sous
vide de films minces, des rappels concernant
la théorie cinétique des gaz seront effectués.
Thèmes abordés : Interaction ion-surface,
mécanismes de croissance, contraintes mécaniques et adhérence de film sur une surface,
systèmes de contrôle en temps réel.
■
GRAVURE DES MATÉRIAUX
PAR PLASMA
18-19 mars 2008
Institut des Matériaux de Nantes
Objectifs : La gravure des matériaux en
couches minces par plasma est devenue une
étape incontournable dans la fabrication de
structures en micro ou nanotechnologies.
Ce stage de 2 jours est destiné aux techniciens, ingénieurs ou chercheurs qui souhaitent approfondir leurs connaissances dans ce
domaine. Il a pour objectif de donner aux
participants une bonne compréhension de la
gravure par plasma (principe, mécanismes)
afin d’acquérir la maîtrise du procédé.
■
MISE EN ŒUVRE ET ENTRETIEN
DES INSTALLATIONS SOUS VIDE
25-28 mars 2008 - SFV Paris
Objectifs : Identifier les points sensibles
des installations et évaluer l’influence des
principaux facteurs de performance,
décrire les constituants essentiels (pompes,
canalisations, jauges) en faisant ressortir leurs
caractéristiques spécifiques et leurs limites
d’utilisation et étudier les conditions de
mise en œuvre et d’entretien des systèmes
de pompage. Le but est de permettre au
stagiaire de faire fonctionner et de maintenir l’installation de vide dans les conditions
optimales, ainsi que de porter un premier
diagnostic en cas de dégradation des performances ou de dysfonctionnement.
■
INITIATION AU VIDE /
OPÉRATEUR VIDE
1-3 avril 2008 - SFV Paris
Objectifs : Les deux premières journées de
ce cours ne nécessitent aucune connaissance particulière, mais une simple ouverture d’esprit. Il s’adresse à toute personne
travaillant dans une entreprise ou un laboratoire utilisant les techniques du vide. Il est
destiné à ceux qui travaillent déjà sur une
machine ou mieux, qui vont débuter dans ce
domaine. Ce cours fera tout d’abord appréhender l’extraordinaire “grouillement” des
molécules qui constituent le “vide”. Cette
notion, qui n’est pas évidente, permet de
comprendre la qualité du vide qu’il faut
atteindre pour une application donnée.
Viendra ensuite une description succincte
des moyens à mettre en œuvre pour le
niveau de vide souhaité. Les différents types
6
SFV
(fin 2007 et 1er semestre 2008)
de pompes et d’appareils de mesures seront
décrits, tant dans leurs principes que dans
leur fonctionnement, afin de mieux faire
comprendre aux utilisateurs, les choix qui
ont été faits ainsi que les précautions que
nécessite l’utilisation de tels matériels.
■
LE DÉGAZAGE ET SON TRAITEMENT
TECHNOLOGIES DE L’ULTRAVIDE
14-15 mai 2008 - SFV Paris
Objectifs : Ce cours définit les phénomènes rencontrés en “vide poussé et en ultravide”. Une meilleure compréhension du
dégazage (ou désorption) par la mesure et
l’interprétation de l’évolution de la pression
dans les enceintes à vide conduira à améliorer les montages existants et à concevoir
de nouvelles installations dans la recherche
du meilleur rapport qualité-prix. On montrera comment il est possible de diminuer le
dégazage et obtenir des pressions largement inférieures à 10-6 Pa (10-8 mbar), même
sur de très grandes installations. Les techniques mises en œuvre pour l’ultravide
peuvent être avantageusement appliquées
dans des vides nettement moins poussés
dans un souci d’économie pour l’investissement et la maintenance.
■
PHYSIQUE ET PRATIQUE
DU VIDE POUSSÉ
27-30 mai 2008 - IUT d’Orsay
Objectifs : Comprendre les exigences de la
pratique du vide poussé pour assurer une
mise en œuvre correcte dans les procédés
de fabrication ou dans la conception des
équipements. Une connaissance élémentaire
des techniques du vide est souhaitable préalablement à ce stage. Les principes fondamentaux indispensables sont exposés
simplement, puis on explique le fonctionnement et le rôle des matériels en précisant
leurs compatibilités et les domaines d’utilisation. 3 séances de travaux pratiques sur
l’obtention et la mesure du vide concrétisent les informations apportées.
■
NOUVEAU STAGE SFV
DIMENSIONNEMENT DES INSTALLATIONS SOUS VIDE
ET DES SYSTÈMES DE POMPAGE
À partir d’octobre 2008, la SFV propose une nouvelle formation consacrée au dimensionnement
des installations sous vide et des systèmes de pompage.
Ce stage interactif de 3 jours s’adresse aux concepteurs et utilisateurs d’installations sous vide
ayant déjà des connaissances de base ou une première expérience dans ce domaine.
Le but de la formation est de permettre aux participants d’optimiser leur installation, présente ou à
venir, et d’adapter leur système de pompage. Il ne s’agit pas là de se substituer aux constructeurs mais
de donner à l’utilisateur quelques clés pour faciliter le dialogue et améliorer la performance globale.
Pour cela, après un bref rappel des notions de base, les principaux facteurs de performance d’une
installation sont examinés ainsi que les caractéristiques des pompes et associations de pompes.
Une large part de la formation (50 %) est consacrée à l’expérience et aux travaux de groupe. Ainsi, les
participants seront invités à simuler la mise sous vide d’enceintes et à évaluer les temps de pompage ;
les résultats seront comparés à ceux obtenus avec un logiciel du commerce. De même, des travaux
pratiques permettront d’illustrer par l’expérience l’influence exercée sur la mise sous vide par des
facteurs tels que les pertes de charge, le dégazage, l’humidité.
■
Ce stage se déroulera du 21 au 23 octobre 2008.
COUCHES MINCES : ÉLABORATION
DES COUCHES MINCES
19-23 mai 2008 - SFV Paris
Objectifs : Etude théorique et expérimentales des différentes techniques d’élaboration des films minces en phase gazeuse.
Thèmes abordés : préparation de surface,
évaporation de films minces, pulvérisation
cathodique, dépôt chimique en phase
vapeur.Travaux pratiques : 35 %.
■
www.vide.org
7
LA GAZETTE DU VIDE N°15
▲▲▲▲▲
Programme complet
des formations
et inscriptions sur
▲▲
INITIATION PRATIQUE À L’UTILISATION ET À LA CONCEPTION
D’UNE INSTALLATION SOUS VIDE
20-22 mai 2008 - IUT de Blois
Objectifs : Ce stage s’adresse aux personnes qui sont confrontées pour la première
fois aux problèmes de vide, d’utilisation, de
conception et de maintenance d’une installation sous vide. Il vise à leur donner des
connaissances pratiques sur la physique des
basses pressions, la technologie de la production du vide (moyens de pompage, installation) et les moyens de mesure du vide. ■
QUALITÉ
Application des directives
aux équipements de traitem
Depuis juillet 2006, la directive européenne 1999/92/CE est d’application totale,
ce qui implique que les dirigeants des sites doivent évaluer les risques, classer les
emplacements dangereux et s’assurer que tous les équipements de travail conviennent
pour les zones dans lesquelles ils sont installés.
L’objectif ici est de présenter la mise en œuvre de la directive “machines” dans le cas des
équipements sous vide, en particulier ceux utilisant des gaz susceptibles de générer des Atex.
Cette position de sécurité consiste à :
• fermer l’arrivée de gaz inflammable,
• interrompre le process en cours,
• placer l’enceinte sous balayage de gaz
neutre (azote ou argon).
On s’intéressera à la conception, la réalisation et la modification de ces équipements
plutôt qu’aux composants destinés à fonctionner en zone Atex. On part du principe
que ces équipements sont installés hors
zone Atex et que le bâtiment est équipé
des dispositifs de sécurité (ventilation,
détecteurs de gaz…) rendus nécessaires
par l’utilisation de gaz inflammables.
Cette mise en conditions de sécurité doit
pouvoir s’effectuer même en cas de perte
d’alimentation électrique, il faut donc utiliser des vannes normalement fermées sur
le gaz inflammables et normalement ouvertes sur le gaz neutre.
La mise en conditions de sécurité est déclenchée automatiquement en cas d’alarme
(défaut de gaz neutre par exemple) ou par
des coups de poing d’arrêt d’urgence.
MÉTHODOLOGIE
La directive “machines” est une directive
“nouvelle approche” qui fixe des “exigences
essentielles de sécurité” (annexe 1 de la
directive) exprimées sous forme d’objectifs
à atteindre, plutôt que d’imposer les moyens
de protection à utiliser ; le constructeur a le
libre choix des solutions à adopter pour
tenir les objectifs, il est cependant dans
l’obligation d’effectuer une analyse de risques, en situation normale mais également
en cas d’anomalie, avant toute autre action.
La méthodologie à appliquer est la suivante :
• Analyse des risques : possibilité de génération d’une zone Atex, sources d’inflammation, mauvaises manœuvres etc…
• Élimination des risques dès la conception
(sécurité intégrée) afin d’empêcher la
formation de zones Atex, ou d’éliminer
les sources d’inflammation dans les zones
résiduelles.
• Mise en place de barrières techniques pour
les risques que la conception ne permet pas
d’éliminer : détecteurs, vannes d’arrêt…
• Mise en place de barrières organisationnelles pour les risques résiduels : procédures, formation spécifique des opérateurs et de la maintenance.
Les cas de dysfonctionnement d’un composant sont traités en priorité par la
redondance de ce composant, dans la
mesure du possible.
LA GAZETTE DU VIDE N°15
En dehors des pannes de composants, la
première source d’anomalie est la possibilité de mauvaise manœuvre (instructions
peu claires, formation insuffisante des opérateurs), il est donc préférable de disposer
d’un système de contrôle/commandes permettant un fonctionnement automatique
de l’équipement et une présentation claire
de son état sur un synoptique animé.
APPLICATION AUX ÉQUIPEMENTS
DE TRAITEMENT SOUS VIDE
Nous traitons ici le cas des équipements
utilisant des gaz inflammables.
La formation d’une Atex résultant d’un
mélange de gaz inflammable et d’air, le principe de suppression des Atex est d’interdire les fuites de gaz vers l’atmosphère, les
fuites d’air vers l’intérieur de l’enceinte et
l’introduction simultanée de gaz et d’air
dans l’enceinte.
POSITION DE SÉCURITÉ
La première mesure est de prévoir une mise
en condition de sécurité de l’équipement en
cas de dysfonctionnement ou d’anomalie.
SOURCES DES ATEX
On distinguera trois parties de l’équipement pouvant potentiellement générer des
Atex :
1. distribution des gaz :
• fuites au niveau de la panoplie de gaz, des
canalisations et des raccords,
• dysfonctionnement d’une vanne,
• défaut de gaz neutre de purge.
2. enceinte de traitement :
• introduction de gaz inflammable en présence d’air ou d’air en présence de gaz
(purge insuffisante),
• perte d’étanchéité de l’enceinte.
3. évacuation des gaz :
• fuites des canalisations de pompage,
ÉLIMINATION DES RISQUES
L’élimination des risques consiste à reprendre la liste des sources possibles d’Atex et
à appliquer les solutions pour empêcher
leur formation.
Dans l’élimination des sources d’inflammation dans les zones Atex résiduelles, il
ne faut pas oublier de prendre en compte
les problèmes de décharge électrostatiques. Il faut éviter, dans la mesure du
possible, les matériaux isolants et relier
toutes les parties métalliques à la terre.
8
européennes
ent sous vide
1. Distribution des gaz
Les canalisations de gaz seront réalisées en
rigide (inox), les raccords seront de type
double bague à joint métallique (taux de
fuite < 1.10-8 mb.l/s).
La panoplie de gaz sera placée dans un coffret grillagé de façon à profiter de la ventilation de la salle, ce coffret sera verrouillé
afin d’interdire la manœuvre des vannes
manuelles par du personnel non autorisé.
Toutes les parties métalliques seront
reliées à la terre pour éviter les décharges
électrostatiques.
La coupure de gaz inflammable sera effectuée par deux vannes électropneumatiques
normalement fermées placées en série de
façon à rendre le système tolérant au dysfonctionnement d’une des vannes.
Le réseau de gaz neutre (argon ou azote)
sera doublé par un réseau de secours ou
par une bouteille de contenance suffisante
pour assurer un renouvellement de cinq
fois le volume de l’enceinte. Cette mesure
est nécessaire pour garantir la disponibilité
de gaz neutre en cas d’anomalie de fonctionnement, le système est tolérant au dysfonctionnement d’un des réseaux (dysfonctionnement d’une des vannes ou défaut de
pression d’un des réseaux).
Des capteurs de pression seront placés sur
les différentes alimentations en gaz afin de
détecter un défaut de pression avant de
démarrer un cycle de traitement.
Des clapets anti-retour seront placés juste
en amont de la jonction des différentes
lignes afin d’éviter l’introduction de gaz
inflammable dans les lignes de gaz neutres.
Le réseau de gaz neutre de secours sera
réglé à une pression inférieure au réseau
principal, cette mesure, jointe à la présence
des clapets anti-retour permet de ne faire
débiter le réseau de secours qu’en cas de
défaut du réseau principal.
LA GAZETTE DU VIDE N°15
SÉCURITÉ DU SYSTÈME
DE CONTRÔLE/COMMANDES
Pour toutes les fonctions de sécurité on
utilisera de préférence des systèmes pouvant remplir leur fonction de sécurité en
cas de perte d’alimentation électrique ou
pneumatique.
Dans le cas où cette mesure n’est pas possible, on utilisera soit une logique câblée à
base de relais de sécurité, soit un automate
de sécurité.
Dans tous les cas, les fonctions de sécurité
primeront sur les fonctions de process ou
les commandes manuelles.
Il est souhaitable que l’automatisme soit
complété par une supervision permettant
d’afficher l’état de tous les éléments de
l’équipement de façon claire et de signaler
les différentes alarmes par un message
compréhensible.
Dans ce dernier cas on adoptera le schéma
suivant : opérateur ↔ supervision ↔ automate ↔ machine, en interdisant les communications directes opérateur ↔ machine
ou supervision ↔ machine. L’automate, et
en particulier sa partie sécurité, doit continuer à gérer l’équipement.
Les précautions particulière liées à l’Atex ne
doivent pas faire oublier les contraintes générales de la directive pour apposer le marquage CE sur un équipement, entre autres :
• tous les composants et sous systèmes
doivent être marqués CE,
• le câblage doit être réalisé de façon à
assurer la CEM (compatibilité électromagnétique),
• les éléments mobiles doivent être sécurisés
(double commande, barrières optiques…).
Pour garantir la CEM, le câblage des terres
sera réalisé en étoile à partir d’un point
unique relié au piquet de terre par un
ruban de cuivre (terre < 1⍀), on veillera
à ne pas créer de boucles de masse. Un
filtre secteur sera installé en amont de
l’alimentation générale. Des ferrites
doivent être placées sur les liaisons informatiques (type RS232) et sur les câbles
de thermocouples, toutes les liaisons analogiques doivent être blindées.
Une attention particulière sera apportée
au blindage dans le cas d’utilisation de RF
(équipement de gravure ou de dépôt).
CONCLUSION
L’application des mesures citées ne permet
d’éliminer les risques que sous réserve que
la documentation, en particulier les procédures d’utilisation et de maintenance, soit
correctement rédigée et que la signalisation (Ex) soit apposée.
Tout cela doit bien sûr être complété par
la formation des opérateurs et des agents
de maintenance
TEXTES RÉGLEMENTAIRES
La réglementation française est la transcription des directives européennes suivantes :
• Pour l’exploitant : la directive Atex
99/92/CE concernant la protection des
travailleurs,
• Pour le fabricant :
- La directive Atex 94/9/CE concernant
le matériel utilisable en zone explosible,
- La directive 98/37/CE concernant les
machines.
■
Patrice Arsène-Henry - Carine Vignolles
Aëxor - Orsay
▲▲▲▲▲
9
3. Evacuation des gaz
Les canalisations de pompage doivent être
réalisées en inox, les joints doivent être
métalliques et les systèmes de serrage des
joints ne doivent pas pouvoir être démontés sans outillage.
La sortie de la pompe primaire doit être
raccordée à l’extraction, un gaz neutre sera
introduit au niveau du lest de la pompe
pendant les phases de pompage de gaz
inflammable, afin de maintenir la concentration de gaz au dessous de la LIE (Limite
Inférieure d’Explosivité) dans les canalisations d’extraction.
MARQUAGE CE
▲▲
2. Enceinte de traitement
Pour éviter la formation d’une Atex, il faut
passer par une phase de mise sous vide,
avant l’introduction de gaz inflammable en
début de cycle, et avant la remise à pression atmosphérique en fin de cycle.
Le cycle suivant permet de ne pas générer
d’Atex :
❶ vérification de pression des réseaux de
gaz neutre, de débit d’eau de refroidissement, de fermeture de l’enceinte avant
lancement du cycle.
❷ dans le cas d’un process à pression atmosphérique, mise sous pression de gaz
neutre de l’enceinte (quelques dizaines de
mb au dessus de la pression atmosphérique) et test de fuite en pression (⌬P/⌬t
doit être inférieur à un seuil déterminé).
❸ pompage de l’enceinte jusqu’à un seuil
de pression déterminé (≈ 10-1 mb) et
test de fuite sous vide (⌬P/⌬t doit être
inférieur à un seuil déterminé).
❹ introduction de gaz inflammable.
➎ cycle de traitement.
➏ pompage de l’enceinte jusqu’au seuil de
vide.
❼ ventilation de l’enceinte jusqu’à pression
atmosphérique.
Processus de sécurité des machines (norme EN1050)
ACTUALITÉS
Section Française
de l’Adhésion
Le mot du Président de SFA
Graines d’Adhésion, Alain s’est beaucoup
La dernière édition des Journées d’Etude
investi dans SFA pour le plus grand bien
de l’Adhésion, organisée par SFA, s’est
de notre Société. Marie-Geneviève, amie
déroulée du 24 au 28 septembre dernier à
et collaboratrice d’Alain, a retracé sa
Biarritz.
carrière, son cheminement scientifique,
La réussite d’un congrès se mesure avec
ses activités académiques qui se sont
deux indicateurs principaux qui sont la
orientées au cours des dernières années
qualité scientifique et la convivialité. Le prevers l’exploration des mécanismes implimier a été atteint grâce à un programme
qués dans les interfaces polymère-métal.
de très grande qualité élaboré par Gérard
Ont été également évoqués la grande
MARIN et son comité ; les présentations,
humanité d’Alain et également sa capaqu’elles fussent orales ou par affiche,
cité à animer avec des collègues des
ont couvert un très large périmètre sciendébats contradictoitifique qui reflète
res et constructifs.
le dynamisme de
LA RÉUSSITE D’UN CONGRÈS SE
Des présentations
notre communauté
MESURE AVEC DEUX INDICATEURS
de chercheurs en
plurielle. Le second
PRINCIPAUX QUI SONT LA QUALITÉ
relation avec les traindicateur est assoSCIENTIFIQUE ET LA CONVIVIALITÉ.
vaux d’Alain sur les
cié à de nombreux
interfaces polymèreautres critères plus
métal ont permis de
subjectifs comme la
mieux comprendre, ou de découvrir pour
qualité de l’hébergement ou de la restauracertains, l’impact scientifique de notre
tion, les animations, les discussions inforancien Président.
melles… Là encore, les choix de
Christophe DERAIL et de son équipe ont
Déjà, nous nous tournons vers JADH 2009,
été à la hauteur de l’évènement. Qu’ils
qui se déroulera en région PACA sous la
soient félicités ! Tout a été vraiment réussi
Présidence de Jean Claude GIANNOTTA.
et nous n’oublierons pas l’image du béret
Mais le rythme infernal des années qui
sur la tête de chaque congressiste pour
passent ne doit pas faire oublier toutes
écouter la chorale basque à l’occasion du
celles et tous ceux qui ont contribué à
dîner de gala. La découverte du jeu basque
rendre la Science de l’Adhésion et de
de cesta punta a été fortement apprécié
l’Adhérence mature.
par la totalité du groupe, invité à parier
sur la victoire d’une des deux équipes avec,
à la clé, le gain d’une chistera pour une
doctorante.
D’autre part, nous avions décidé de rendre
hommage à deux chercheurs qui nous ont
quitté. C’est Liliane LEGER qui nous a fait
partager, en ouverture du colloque, le souvenir de Pierre-Gilles de GENNES, avec
l’évocation de quelques étapes de sa carrière et la mise en perspective de son activité dans le domaine de l’adhésion. Les formidables modèles qu’il a proposé, la trompette, la jonction faible, les connecteurs, …
ont inspiré les expérimentateurs et trouvé
écho dans de nombreuses applications qui
impliquent les interfaces polymères. Liliane
LEGER a également insisté sur la passion
de Pierre-Gilles de GENNES à transmettre
ses connaissances, surtout aux plus jeunes.
Marie-Geneviève BARTHES-LABROUSSE
a rendu hommage à Alain ROCHE, disparu
il y a tout juste deux ans. Fondateur, avec
d’autres, des Journées sur l’Adhérence
dans les années 80, Président de SFA de
2001 à 2005, promoteur des colloques
LA GAZETTE DU VIDE N°15
Le renouvellement
du Comité SFA
(période 2007-2009)
Le nouveau comité SFA a été renouvelé le
26 septembre dernier. Cinq personnalités
du monde industriel ont été nommées,
apportant chacune leur propre compétence
et complétant celles des membres restant.
Le collège des industriels est ainsi formé de
Jean-Louis BRAVET (Saint Gobain Glass
France),
Jean-Claude
GIANNOTTA
(CARMA), Gilbert LEGEAY (CTTM), Luc
MACHEREL (PSA), Léon MENTINK
(ROQUETTE), Jacques REY (SNECMA
PROPULSION SOLIDE), Odile TADJOA
(MICHELIN) et Josselin VAZQUEZ
(L’OREAL). Quatre personnalités du monde
académique, qui apportent également des
compétences complémentaires à celles des
membres restants, ont été nommées. Le
collège des Universitaires est ainsi formé
de : Marie-France VALLAT, Liliane LEGER,
Sophie BISTAC-BROGLY, Valérie NASSIET,
Jacques SCHULTZ, Costantino CRETON,
Yves LETERRIER, Jacques-Alain PETIT et
Eric PAPON. La liste des adresses des membres du comité SFA 2007-2009 est consultable sur le site de SFA (www.vide.org). ■
Eric PAPON - Président de SFA
10
ACTUALITÉS
[email protected]
11
LA GAZETTE DU VIDE N°15
Info+ : Mélanie Gaillet
[email protected]
http://www.jobinyvon.com/usadivisions/
TFilms/uviselvuv.htm
▲▲▲▲▲
Vous avez une actualité
à communiquer ?
Faites-nous parvenir
vos brèves
ELLIPSOMÈTRE SPECTROSCOPIQUE
VUV POUR LA MESURE DES COUCHES
MINCES.
L’UVISEL VUV étend la gamme spectrale des
ellipsomètres spectroscopiques à modulation de phase UVISEL, jusqu’à 140 nm. Afin
de couvrir cette large gamme 140 - 850 nm
(1.46 - 8.8 eV), l’UVISEL VUV est composé
de trois compartiments et fonctionne sous
atmosphère purgée de
l’oxygène. Avec un
accès séparé, la chambre échantillon est
équipée de son propre
système de purge
garantissant productivité et flexibilité pour
l’intégration d’accessoires. Basée sur la
technologie à modulation de phase, une mesure standard est
effectuée en moins de 8 minutes, avec un
rapport signal sur bruit sans égal. Dédié à la
mesure des épaisseurs et propriétés optiques des matériaux et composants en cou-
ches minces, l’UVISEL VUV convient parfaitement aux besoins de la recherche et du
contrôle industriel. Plus particulièrement,
les applications concernent la photolithographie, les composants optiques UV, les
matériaux high k, organiques et ferroélectriques. Il est également important de souligner que l’UV lointain apporte une précision supérieure pour la mesure des couches
et interfaces, à l’échelle du nanomètre et de
l’angstrom.
■
▲▲
MACHINES DE CONTRÔLE
D’ÉTANCHÉITÉ STANDARDISÉES
MODUL’HE
Fort de 15 ans d’expérience dans le domaine
du contrôle d’étanchéité, ALLIANCE
CONCEPT innove en proposant des machines standardisées. Ces bancs de test complets comportent une base commune intégrant un châssis, les composants nécessaires
à la détection (pressurisation, spectromètre
de masse) ainsi qu’un système de gestion
(pupitre automate) pour assurer le déroulement entièrement automatisé des cycles.
Les systèmes Modul’He sont ensuite
personnalisés aux séries de pièces testées
en terme de pression, volume, taux de fuite
et cadence de production.
Cet équipement versatile, peut s’adapter
facilement au contrôle de toute pièce.
Les méthodes de test global et de localisation garantissent une très grande précision
ainsi qu’une sensibilité allant jusqu’à
10-10 atm.cm3/s.
Modul’He est proposé à la location
ou à l’achat pour un prix et un délai de
fabrication inégalés sur le marché.
■
Info+ : Gilles Veyrat
[email protected]
www.alliance-concept.com
Infos sociétés
ALPHA AUTOMATISMES propose une
sélection de composants pour la régulation
de dépression de fluides gazeux, neutres
ou agressifs. Différents systèmes sont proposés en fonction des paramètres de
l’utilisation : plage de dépression, niveau
de précision, fluide neutre ou agressif,
commande manuelle ou électrique proportionnelle, pression de décharge, encombrement, prix… Certains régulateurs sont disponibles avec une certification ATEX. Les
produits proposés vont des systèmes miniatures aux systèmes renforcés pour industries lourdes, avec des corps en plastique, laiton ou acier inoxydable. D’autres accessoires sont également disponibles : pressostats,
transmetteurs de pression, manomètres à
aiguille ou numériques, soupapes
de décharge, filtration… La
diversité des systèmes proposés
permet à ALPHA AUTOMATISMES de proposer dans les
meilleurs délais des solutions adaptées aux besoins
de nombreuses industries
très diversifiées.
■
Info+ : Graciane Chevallier
[email protected]
EVATEC PROCESS SYSTEMS
DE NOUVEAU PRESENT SUR
LES MARCHES FRANCOPHONES.
EVATEC PROCESS SYSTEMS, basé à Flums
en Suisse, est la société qui a repris les activités “Evaporation Technology” de la
société BALZERS (UNAXIS/OERLIKON)
en 2004. Depuis cette date, la société a
complété sa fameuse ligne de bâtis d’évaporation BAK avec des systèmes plus
petits, dédiés aux applications R&D et production pilote (BAK501 et BAK641).
Ces nouveaux systèmes rencontrent un
gros succès dans les applications III-Vs,
MEMS, SAW et optiques alors que le reste
de la gamme est toujours très appréciée
pour les applications Power Devices et
Advanced Packaging.
EVATEC a le plaisir de vous annoncer que
Monsieur Philippe Jacot est maintenant en
charge des marchés francophones.
■
Info+ : Philippe Jacot
[email protected]
www.evatecnet.com
NOUVEAU GÉNÉRATEUR MOYENNE
FRÉQUENCE D’HUETTINGER
ELECTRONIC : LE BIG SUPER
COMPACT (BIG SC).
Présenté lors du salon Thermprocess de
Düsseldorf, ce nouveau produit dans la
famille des générateurs moyenne fréquence (MF) pour le chauffage par induction offre un large champ d’application à
son utilisateur. Sa plage de puissance varie
de 10 à 40 kW et sa plage de fréquence de
5 à 100 kHz. Les procédés classiques
tels que la trempe, la soudure, ainsi que la
technique du recuit sont alors possibles.
De plus, le BIG SC génère l´énergie nécessaire aux applications High Tech comme
l´épitaxie ou encore le procédé
Czochralski. Un grand nombre d´interfaces
de communication sont également disponibles telles que RS 232, RS 485, Profibus
et Analogue/Digital. Le BIG SC s´intègre
facilement dans des installations et des
systèmes déjà présents ainsi que dans
des environnements industriels où les
emplacements et les montages sont limités. Le BIG SC est disponible en trois
modèles.
■
Info+ : Ansgar Meermann
[email protected]
www.huettinger.com
INFICON A FAIT L’ACQUISITION
DE LA SOCIÉTÉ CALIFORNIENNE
MAXTEK INC.
Connue pour ses mesureurs de couches
minces et ses micros balances à quartz,
Maxtek Inc. va très naturellement compléter
le catalogue déjà très riche des balances à
quartz INFICON.
Cette acquisition, en plus de celle de Electro
Dynamics Crystal (EDC) l’année dernière,
renforce considérablement INFICON sur le
marché des couches minces, tant en recherches qu’en applications industrielles.
■
INFICON INNOVE ENCORE en détection de fuites Hélium en mode reniflage
avec la version XL du PROTEC P 3000. En
effet, une faible fuite mal située sur un
tuyau et où le renifleur n’a pas accès directement, est vue sans problème par le PROTEC P 3000 XL, grâce à son débit d’aspiration de 3000 cm3/minute.
La brochure est disponible sur www.inficon.com avec exemple de taux de fuite. ■
Info+ : Pascal Mougeot
[email protected]
www.inficon.com
LA GAZETTE DU VIDE N°15
OMICRON TECHNOLOGIES a récemment développé une gamme de matériel
dénommée PSM pour Pump Safety Modules.
Les PSM sont destinés à la mise en sécurité
des groupes de pompage utilisant des gaz
dangereux (explosifs, toxiques, pyrophoriques...) Ils prennent en charge le réglage
précis ainsi que la surveillance des différents débits de purge. Ils assurent également la surveillance des éventuelles surpressions dans les évents qui peuvent être
provoquées par le colmatage des canalisations. Les défauts sont signalés par des
témoins lumineux et des contacts de sortie sont disponibles pour couper les gaz
dangereux et alarmer l’équipement. De
conception modulaire, ils peuvent s’adapter aux différents types d’application.
■
Info+ : André Rousset
[email protected]
www.omicron-technologies.com
CONTRÔLEUR DE DÉPÔT PAR
MICROBALANCE À QUARTZ : Q-POD.
Le contrôleur de dépôt par microbalance à
quartz de la société SIGMA Instruments, et
distribué par SCHAEFER TECHNIQUES,
est la solution idéale pour vos mesures de
vitesse de dépôt et d’épaisseur de couche
mince. Petit et précis, l’installation et l’utilisation ne pourraient être plus simples. Il
suffit de connecter le Q-pod à votre
capteur QCM (prise BNC)
d’une part et à votre ordinateur (prise USB) d’autre
part. Aucun oscillateur ni
alimentation ne sont
requis. Un logiciel vous
permet ensuite de suivre l’évolution dans le
temps de la vitesse,
épaisseur, fréquence et durée
de vie du cristal.
Spécifications techniques :
Gamme de fréquence : 1 à 10 MHz
Résolution en fréquence : 0.05 Hz à 6 MHz
Précision en fréquence : 0.002 %
Stabilité en fréquence : +/- 2 ppm total,
over 0° to 50 °C
Entrée : BNC
Interface & Alimentation : USB, v2.0 ou plus
Taille : 25x50x64 mm
Poids : 32 g
■
Info+ : Carole Baron
[email protected]
www.schaefer-tech.com
12
NOUVEAU DIRECTEUR GÉNÉRAL
POUR STERLING SIHI.
Olivier Loeser, 42 ans, a été nommé le
1er avril 2007 au poste de Directeur Général
de la filiale française de Sterling SIHI (170
personnes). Ingénieur INPG, il a tenu successivement depuis 1991, année de son arrivée
dans la société, les postes de directeur logistique chez Peerless Pump aux Etats-Unis
(groupe Sterling), directeur de business unit
puis de directeur commercial. Le groupe
allemand Sterling SIHI (1800 personnes),
constructeur de pompes à technologies
multiples, possède 14 filiales européennes et
9 unités de fabrication mondiales.
■
ENSEMBLE DE VIDE SIHISANIVAC :
Un nouveau produit prêt à l’emploi conçu
par STERLING SIHI. De nombreuses applications à base de liquide moussant requièrent un haut niveau de stérilisation et simultanément un traitement approprié des
mousses générées pendant le transfert.
SIHISANIVAC se présente sous la forme d’un
ensemble (skid) prêt à l’emploi comprenant
une pompe à vide à anneau liquide, un préséparateur avec purge automatique de la
mousse, un séparateur pour l’anneau liquide
de la pompe à vide, des vannes pneumatiques automatiques, un échangeur de chaleur
à plaques en inox ou en titane (refroidi par
eau glycolée ou eau industrielle) et une
sonde de niveau avec transmetteur. Conçu
en matériaux nobles, -inox1.4404, 14408,
AISI 316L, titane-, il ne craint ni la corrosion,
ni le contact avec les différents produits de
lavage. Sa conception et les éléments qui le
composent ont été pensés pour maintenir
un haut degré d’hygiène.
■
Info+ : Annie Jacquette
[email protected]
www.sterlingfluidsystems.fr
LA GAZETTE DU VIDE N°15
NOUVEAU DIRECTEUR DES VENTES
CHEZ VARIAN VACUUM TECHNOLOGIES FRANCE.
Monsieur Claude-André LAFITTE a quitté
la société fin juin 2007 pour des raisons
familiales. Monsieur Vincent HACHET,
Responsable des Grands Comptes au sein
de la division France depuis 2 ans s’est vu
confier le poste de Directeur des Ventes
France.Vincent HACHET, fort d’une solide
expérience dans le domaine du vide contribuera, avec son équipe, à faire de VARIAN
VACUUM TECHNOLOGIES un fournisseur de premier choix.
■
Info+ : Vincent Hachet
[email protected]
www.varianinc.com
▲▲▲▲▲
13
IDP-3, NOUVELLE
POMPE SÈCHE
À SPIRALES DE CHEZ
VARIAN VACUUM TECHNOLOGIES.
La nouvelle pompe IDP-3 allie toutes les qualités d’une pompe de nouvelle génération :
sèche, économique, compacte, hermétique
(roulements et compartiment moteur isolés
de la partie vide et des gaz pompés) performante (3,6 m3/h – 3,3 10-1mbar) et silencieuse
(55db). La nouvelle pompe IDP-3, forte de la
technologie Scroll conviendra à la majorité
des applications sous vide (Recherche,
Instrumentation Analytique, Industrie).
■
Info+ : Rosemary Deromedi
[email protected]
www.varianinc.com
▲▲
UNE NOUVELLE CIBLE
POUR TRINOS…
En complément de nos activités dans le
domaine du vide et de l’ultravide (brides,
joints, soufflets, hublots, vannes, passages et
enceintes de toutes dimensions…), nous
vous proposons également des matériaux
de déposition (Cibles de pulvérisation et
Matériaux d’évaporation…). TRINOS propose maintenant des cibles de pulvérisation et des matériaux d’évaporation de
toutes formes et tailles, et tous les services
accompagnant ces prestations (fourniture
de creusets, supports cuivre, brasure…). La
pureté des matériaux constituant nos
cibles et matériaux d’évaporation est disponible dans une gamme allant de 99,9 %
et 99,9999 % (% Atomique) selon votre
demande. Contactez-nous pour toutes vos
demandes.
■
Info+ : Cédric Sourcis
[email protected]
www.trinos.com
RÉGULATEUR DE VIDE
DE CHEZ VACUUBRAND.
Une régulation du vide fine et précise est
nécessaire à de multiples opérations d’évaporation et de séchage dans les laboratoires de chimie.
Le nouveau régulateur de
vide CVC 3000 répond à
ces exigences : suivi du
process (avec courbe de
vide), pilotage d’électrovanne de vide et de
fluide de refroidissement ou de pompe
VARIO, programmation.
Le VACUU-BUS de VACUUBRAND, inédit
dans le domaine, permet de raccorder plusieurs composants (capteur, électrovannes…) avec un seul câble relié au régulateur CVC 3000 ! Les composants sont
reconnus automatiquement…
L’affichage graphique à navigation intuitive
“tourner-cliquer” propose toutes les fonctions de régulation, de la plus simple jusqu’au
pilotage entièrement automatique d’une
pompe VARIO. Dix plages de programmation
sont disponibles pour le travail reproductible
et sûr des applications complexes. L’appareil
est doté d’un tout nouveau capteur de pression intégré, en céramique d’alumine chimiquement résistant, pour des mesures d’une
précision et d’une stabilité inégalée.
■
Info+ : Sébastien Faivre
[email protected]
www.vacuubrand.de
REPÈRES
Pour les plasmas et leurs
le CIP, devenu la référence incontour
Deuxième partie :
apport aux technologies actuelles
Nous nous sommes arrêtés en 1991 de façon arbitraire et
réalisons qu’en 1993 le CIP était dans sa vingtième année
d’existence, une vrai majorité, dans un monde scientifique et
technique qui se développait à pas de géants, telle la réduction
des dimensions en microélectronique. Rappelons nous notre
ordinateur, pour ceux qui en avaient, en 1991 comparé à
aujourd’hui, à notre ventrue télévision à tube cathodique
comparée à notre écran plasma ou LCD. Un autre monde…
Le CIP pérennisé était fidèle à Antibes
jusqu’en 2003 et à la présidence de André
Ricard, Gilbert Legeay assumant jusqu’à la
dernière édition cette responsabilité, mais
toujours sous la présidence d’honneur de
Pierre Pileur, père fondateur de l’événement.
La SFV consciente que la relation entre les
chercheurs scientifiques et les industriels
fournisseurs de matériel était évidente et
nécessaire, avait organisé dès 1985 une
exposition, fait qui ne s’est jamais stoppé
depuis et qui a été imité bien des fois. Par
la suite des forums réunissant les deux
communautés feront partie intégrante des
CIP, les thèmes abordés étant toujours liés
à l’actualité.
Comme indiqué précédemment, les CIP
allaient continuer d’être au cœur de l’évolution des domaines de pointe, proposant
lors de conférences plénières un état de
l’art pour l’un d’entre eux, et sélectionnant
le meilleur tant en thématique qu’en présentations posters.
Dans la première partie il est clair que la
recherche et le développement des sources plasma ainsi que les applications les
plus directes avaient mobilisé les esprits.
Fort de cet acquis ceux-ci se sont intéressés à l’amélioration des performances, à
l’analyse, à la modélisation, aux diagnostics
et aux interactions plasma-surface des
matériaux. Dès lors, à chaque nouveau CIP,
des thèmes ont été prépondérants. En
1993, on notera l’intérêt porté aux films
minces diamant (plus de 10 présentations) parmi lesquelles : “Films diamant
amorphes produits par évaporation par
arc” (B.F. Coll),“Application de films minces
diamant à la lithographie” (M.F. Ravet) ou
encore “Déposition de diamant amorphe
LA GAZETTE DU VIDE N°15
sur substrats en acier inoxydable de
grande surface” (A. Gicquel). On notera
également l’intérêt pour les procédés
assistés par plasma en métallurgie
tels que les traitements thermochimiques
assistés par plasma (H. Michel) et les nouveaux revêtements multicouches obtenus
par PVD résistants à la corrosion et à
l’usure. Cette même année, les biomatériaux étaient introduits par G. Legeay et F.
Poncin-Epaillard via la modification de leur
chimie de surface par les plasmas froids.
En 1995 on notera une recrudescence des
sujets sur la gravure plasma liés aux développements ultra rapide de la microélectronique
(20 présentations) avec en exergue la
PECVD. Mais le fait le plus remarquable sera
le besoin manifesté de mieux comprendre les
mécanismes de la production des plasmas ainsi que ceux de la diffusion sous
champs magnétiques à structure multipolaire. Cela a permis le développement
de nouveaux concepts pour la production de
plasmas uniformes ainsi que l’évolution à de
plus grandes tailles des réacteurs plasmas.
En 1997, Le Mans accueille le CIP avec A.
Ricard comme nouveau Président.
Pour la première fois les polymères et
les biomatériaux tiennent une place
prépondérante, R. d’Agostino traitant des
dépôts plasmas et de la gravure sur
polymères, l’équipe du Mans menée par
G. Legeay étant plus en pointe sur les biomatériaux. Deux autres thèmes occuperont les participants : la gravure avec
près de 20 exposés et les traitements
de surfaces métalliques, en particulier
la nitruration. On ne pourra pas passer
sous silence la très complète présentation
de Gojolides-Vauvert-Turban sur un simulateur utilisé pour le dépôt et la gravure de
films minces basé sur la connaissance de la
physicochimie des plasmas et de la chimie
des surfaces. Anecdotique mais significatif,
au cours de ce CIP on ne note qu’une
seule apparition du terme nanotechnologie
mais celle-ci en prépare bien d’autres…
En 1999, le CIP retourne sur “ses terres” à
Antibes. Dans la foulée du précédent CIP, les
traitements plasmas des polymères (A.
Belcourt) et des biomatériaux (F. ArefiKonsari), gardent une place importante mais
des sujets sont alors abordés de manière
plus approfondie, sujets souvent liés aux
besoins industriels. Il en est ainsi de la technologie des dépôts et de la gravure
plasma en microélectronique avec une
première approche vers les nanotechnologies, le tout occupant un tiers du temps des
présentations. On notera la présence des
représentants des Universités de Eindhoven,
Zurich, Nancy et de l’ENSCP entre autres.
Les revêtements destinés à des applications métallurgiques sont également bien
traités et si les contributions des participants
étrangers sont remarquables, il est incontestable que l’Ecole Française dans le domaine
est très en pointe avec une conférence d’ouverture sur les revêtements durs et
ultra durs menée
par H. Michel et
J.P. Terrat (HEF). S’en
suivra d’autres plus
spécifiques
telles
celles relatives à la
microstructure et
aux
propriétés
mécaniques des
14
applications nouvelles :
nable pour tous…
dépôts de (Ti,Al)N ou encore des films
minces de SiC mono et multicouches.
Enfin trois forums auront un vif succès : les
micro technologies et leurs développements en vue de la réduction de la taille
des composants électroniques, les applications biomédicales des traitements de surface et l’amélioration de l’adhésion des
couches minces dans l’industrie.
Le CIP 2001, toujours à Antibes, reste
fidèle aux grandes figures des précédentes
éditions : M. Moisan, R. d’Agostino,
J. Pelletier, M. Meier, A. Billard apportent
tous leur contribution au succès de l’événement, mais incontestablement, 2001 est
l’année de la stérilisation par plasma
(M. Moisan) et du développement des procédés de diagnostic (spectroscopie
CRD par l’Université d’Eindhoven, spectrométrie d’émission absorption par
l’Université de Mons ; nouvelle sonde analytique et microscopie thermo réflective).
Paradoxalement, les nanotechnologies,
qui faisaient déjà fureur dans la presse
scientifique et qui étaient objet de travaux
sur les matériaux composants, restent à
peine approchées même si les contributions du GREMI d’Orléans et surtout celle
de O. Joubert (qui introduit pour la première fois la gravure plasma en micro nanotechnologie 50 nm), sont remarquables. Par
contre, plus en adéquation avec le CIP, les
sources plasmas sont bien traitées et principalement celles qui autorisent des dépôts
sur grandes surfaces avec solution du problème majeur qu’est l’uniformité (pour
mémoire nous retiendrons le système original PECVD présenté par le LPICM de
l’Ecole polytechnique de Palaiseau).
L’exemple des plasmas pulsés pour le dépôt
de films organosiliciés (K. Gleason du MIT)
est aussi à souligner. Enfin on notera le succès reçu par K. Kendell pour son apport à
la connaissance des mécanismes fondamentaux de croissance des films
minces carbone par PECVD.
LA GAZETTE DU VIDE N°15
Enfin nous nous devons de rappeler que
lors de ces 16 derniers CIP, les sessions
d’affiches ont permis aux chercheurs de
présenter des travaux toujours de qualité
car sélectionnés par des comités scientifiques attentifs et de se faire connaître pour
la suite de leur carrière.
■
Daniel Vernière
SFV Paris
▲▲▲▲▲
15
En 2005 le Palais des Congrès d’Antibes
étant techniquement fermé le CIP se délocalise à Autrans près de Grenoble, ville s’il
en est où les techniques plasma sont omniprésentes tant dans la recherche que dans
l’industrie microélectronique environnante.
Avec les développements en nanotechnologies appliquées à la microélectronique –
transistor à structure de 12 nanomètres
(< 48 atomes), la gravure a été amenée à évoluer et surtout les sources. M.A. Lieberman
de l’Université de Californie présentera les
derniers réacteurs capacitifs à double
fréquence à densité modérée. Le terme
nano reviendra alors de nombreuses fois
comme pour les revêtements nano composites préparés par évaporation magnétron
(J. Musil -Prague) ou pour les applications sur
les matériaux II-V en ajustant les plasmas
(trous de 20 nm) par Kauli (Université de
Delft) ainsi que par C. Lee (LAM Research)
avec challenge en gravure plasma micro nano.
Bien que largement utilisé par le passé, le mot
“laser” revient plus spécifiquement comme
En 2007 c’est Toulouse qui accueille le CIP,
ville choisie suite à la création de l’Institut
Laplace (Laboratoire Plasma et Conversion
d’énergie) né de la fusion de trois Unités
Mixtes de Recherche et qui devient le plus
grand laboratoire en France dans le
domaine des plasmas de décharge et celui
du génie électrique. Les travaux de recherches présentés sont souvent en prolongement avec les thèmes repris lors des précédents CIP et la lecture des procédés de
cette 16e édition ne feront que le confirmer. Sources d’ions pour la propulsion
spatiale, plasmas micro-ondes à pression atmosphérique, magnétrons
impulsionnels haute énergie et micro
plasmas sont des sujets qui appellent le
futur et donc CIP 2009.
▲▲
Evidement CIP 2003 s’ouvre sur l’état des
connaissances en nanotechnologies (E.D.
Fabrizio-Trieste), mais d’autres sujets seront
abordés de façon très spécifique en particulier les nouvelles tendances en ingénierie plasma telles que la connaissance des
mécanismes de surface par la chimie des
plasmas (E. Fisher, Université du Colorado),
l’étude de l’interaction plasma solide sous
plasma électronégatif (Université de Prague)
et les applications du nettoyage par
plasma à but environnemental (S. Pasquiers,
LPGP Orsay). Trois
forums feront date,
le premier traitant
la nano miniaturisation dirigé par
O. Joubert avec en
pointe la lithographie EUV et la
gravure avec plasma haute densité ,
le second avec
G. Legeay et M. Moisan comme animateurs,
tourné vers les applications médicales
et hospitalières de la stérilisation et de
ses procédés ; le troisième ayant pour
sujet les nouveautés en revêtements durs
avec C. Donnet de l’Université de Saint
Etienne incluant les structures nano composites et les super réseaux produits par
procédés hybrides et duplex.
dans la déposition par laser pulsé et dans
des présentations par affiches. Bien entendu
stérilisation, adhésion, dépôts de tous types,
sources, sont et restent des standards dans
les nombreuses approches proposées et ce
sont surtout les matériaux sur lesquels il y a
application que les nouveautés se manifestent. Dans ces conditions, l’étude de la
chimie de surface (A. Höllander, Fraunhofer
Institut de Postdam) apporte son écho pour
les diagnostics biologiques et médicaux,
et A Gun-Erlert le sien sur les revêtements
PECVD pour composants optoélectroniques flexibles.
agenda
MARS 2008
• Pittcon 2008, 59th Pittsburgh Conference on Analytical
Chemistry and Applied Spectroscopy
1-7 mars 2008 – New Orleans (USA)
http://www.pittcon.org/
• CFIA, Carrefour des Fournisseurs de l’Industrie Agroalimentaire
11-13 mars 2008 – Rennes
http://www.cfiaexpo.com
NOVEMBRE 2007
• IVS 2007, International Symposium on Vacuum Science and
Technology
28-30 novembre 2007 – Mumbai (IND)
http://www.ivsnet.org/ivs-web/index.htm
DÉCEMBRE 2007
• SEMICON Japan 2007
5-7 décembre 2007 – Chiba (J)
http://www.semiconjapan.org/SCJAPAN.var
• VacuumTechExpo, International Specialized Exhibition
of Vacuum Equipment and Technologies
19-21 mars 2008 – Moscou (RUS)
http://www.vacuumexpo.ru/defaulteng.stm
• Industrie 2008
31 mars-4 avril 2008 – Paris
http://www.industrie-expo.com/
MAI 2008
• ELSPEC 2008, 3e Journées sur les spectroscopies d'électrons
26-28 mai 2008 – INSTN Cadarache
www.vide.org/elspec2008/
FÉVRIER 2008
• Practical Vacuum
14-15 février 2008 – Birmingham (UK)
http://www.devicelink.com/expo/pracvac08/
• E-MRS 2008 Spring Meeting
26-30 mai 2008 – Strasbourg
http://www.emrs-strasbourg.com/
Albert Fert, Prix Nobel
de Physique 2007
Journées Traitements
Plasma et Automobile
Près de 6 mois après avoir reçu le Japan
Prize avec l’allemand Peter Grünberg (cf.
Gazette 14), c'est bien Albert Fert et le physicien allemand qui reçoivent le Nobel pour
leur découverte indépendante et simultanée
de la magnétorésistance géante (GMR)
et leur contribution au développement de
l’électronique de spin, la “spintronique”. Cette application des
nanotechnologies est à l'origine de nombreuses innovations que l’on
rencontre dans la vie de tous les jours notamment les têtes de lectures ultrasensibles qui équipent aujourd’hui tous les disques durs et
qui ont permis de multiplier par cent la densité d’informations
stockées sur les disques ; ou encore les lecteurs mp3, dont la miniaturisation a été possible grâce aux travaux d'Albert Fert.
6 décembre 2007, Espace Fauriel / Ecole des Mines de Saint Etienne
Dans le cadre du Réseau Plasmas Froids Rhône-Alpes et avec le
soutien du Groupe Innovation Technologique du Rhône-Alpes
Automotive Cluster, l’ARAMM, l’ARATEM et le CEM vous proposent
une journée pour faire le point sur les technologies plasmas froids, en
prenant pour exemple le secteur automobile. En effet, les contraintes
de cette industrie, bas coût, grande série, produit grand public, haute
exigence de qualité et respect environnemental, en font un cas d’école.
Les conférences sélectionnées sont toutes relatives à des applications industrielles. Une table ronde et des posters élargiront le
champ de la journée.
■
Directeur Scientifique de l’Unité Mixte CNRS-Thalès de l’Université
Paris-Sud à Orsay, il est le 12e français à recevoir cette distinction et
rejoint les grands noms français déjà récompensés. Les trois derniers
avaient été remis à Pierre-Gilles de Gennes (1991), Georges
Charpak (1992) et Claude Cohen-Tannoudji (1997).
Programme et inscriptions : http://plasmas.agmat.asso.fr/actualite/manifestations.htm
Contact : Cercle d'Etude des Métaux, Saint-Etienne
Tél : 04 77 42 02 36 - Fax : 04 77 49 36 10 - [email protected]
Secrétariat Permanent de SFV
L’équipe du Secrétariat Permanent est à votre service pour répondre
à toutes vos questions.
■
Déjà récompensé en 2003 en recevant la médaille d’Or du CNRS,
Albert Fert a reçu le Prix de l’UISTAV (Union Internationale pour la
Science, la Technique et les Applications du Vide) pour lequel la
Société Française du Vide avait proposé sa candidature.
■
Gweltaz Hirel - SFV
LA GAZETTE DU VIDE N°15
Gweltaz HIREL
Attaché de Direction,
responsable du Secrétariat Permanent
[email protected]
Hervé LEMOINE
Responsable logistique, web master
Christine LEMOINE Caroline VUONG
Assistante formation Secrétaire polyvalente
[email protected]
[email protected]
[email protected]
Réalisation
Selon lui, “cette récompense montre que la recherche française est
de qualité, non seulement la recherche fondamentale, mais la recherche
qui peut avoir des applications. C’est important pour l’économie du pays
de pousser la recherche”.