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SUJET DU STAGE: Impression de couches minces d’oxyde métallique semiconducteur pour l’électronique flexible et transparente
Laboratoire : Département Packaging et Supports Souples (PS2) / Centre de Microélectronique de
Provence – Georges Charpak – Gardanne (13)
Contexte du projet : La naissance de l’électronique imprimée est une véritable révolution. Cette
technologie donne de nouvelles perspectives à la microélectronique, par exemple l’utilisation de
substrats souples, une production à température ambiante et à bas coût.
De nouveaux matériaux voient le jour pour aborder ces thématiques. De nombreux oxydes
métalliques sont actuellement développés pour être utilisés comme canal semi-conducteur dans les
transistors en couche mince (TFT). Les matériaux organiques ayant du mal à dépasser les mobilités
du silicium amorphe (<1 cm²/(V.s)), les oxydes métalliques semi-conducteurs (>10 cm²/(V.s))
semblent de bien meilleurs candidats pour cette application.
Le challenge est d’obtenir d’aussi bonnes performances en imprimant cet oxyde semi-conducteur
qu’en le déposant sous vide. Equipé de trois appareils d’impression implantés au cœur d’une salle
blanche de 700 m², le département PS2 est un des laboratoires de pointe dans l’électronique
imprimée français.
Sujet du stage : Après une première étude bibliographique permettant de recenser les différents
oxydes semi-conducteurs, l’étudiant apprendra à maitriser les technologies d’impression pour
optimiser le procédé de dépôt de ces oxydes. Il testera différents types de substrats (rigides et
flexibles), ainsi que différents types de recuit (photonique, micro-onde, RTA, Etuve). Il réalisera
également les caractérisations physiques (épaisseur, rugosité, énergie de surface), optiques
(ellipsométrie spectroscopique) et électrique (résistivité) de ces couches minces. Pour finir, il mettra à
profit ces informations pour réaliser des transistors et des diodes imprimées.
Profil recherché : Stage de fin d’étude de formation ingénieur ou d'un master 2 Recherche
spécialisé en sciences des matériaux et/ou nanotechnologies, le candidat présentera un goût pour
l’expérimentation.
Conditions :
 Stage indemnisé d’une durée de 6 mois
 Statut de stagiaire Ecole des Mines
 Lieu : Centre de Microélectronique de Provence- Gardanne (13)
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[email protected]
Tel : 04 42 61 67 62