Le vérin VMP-10-100-60-R est utilisé pour assurer des

Tables linéaires de
nanopositionnement
Série NLSx
ISP 09R025FPI0022 G
Résolution de positionnement sub-nanométrique
Amplitude de déplacement jusqu’à 5mm
Conception pour des déplacements linéaires précis
Breveté par ISP System®
Photo non contractuelle
Photo non contractuelle
La série NLS X est une gamme de produit basée sur une technologie fiable permettant d’effectuer des
déplacements horizontaux (XY) avec une résolution nanométrique. Ces tables ont été créées pour
répondre aux nouveaux besoins en matière de nanotechnologies (ex. Microscope Electronique à
Balayage, Lithographie laser, Microscopie à Force Atomique, fabricants de circuits intégrés (gravure
wafer),…)
Caractéristiques
Spécifications
Moteur
Voice-coil (VC)
Pression
Atmosphérique (ATM), Vide primaire (LV), Vide secondaire
(HV) ou Ultravide (UHV)
Contrôleur
Boucle ouverte (OL) ou fermée (CL)
Capteurs de déplacement
*Capacitif (C) ou Optique (O)
Course
De 0.5 à 5 mm
Résolution statique
Course de 0.5 mm : 0.375nm à 2Hz
Résolution dynamique
Course de 0.5mm : 10nm à 8KHz
Rectitude dans les trois directions
±25 nm (course de 2mm)
Charge admissible
250 g (NLSx...5)
Mode de scanning
A la volée (Fly scan)
Vitesse maximale
10 mm/s
Sens de travail
Horizontal
Fonctionnement 0 to 30°C
Etuvage 150°C
Aluminium, Titane, Acier inoxydable
Voir croquis ci-dessous
Températures
Matériaux
Dimensions (pour table 5mm de course)
* Informations complémentaires disponibles sur demande.
ISP SYSTEM SA Siège social : ZI de la Herray - B.P. 10047 65501 VIC-en-BIGORRE - FRANCE
Tél : +33 (5) 62 33 44 44 Fax : +33 (5) 62 33 44 45 e-m@ail : [email protected]
RCS Tarbes B 410 675 078 SIRET 410 675 078 00027 APE 742 C
Ce document est la propriété d’IS System, il ne peut être utilisé, reproduit ou divulgué sans notre accord préalable.
ISP 09R025FPI0022 G
Breveté par ISP System®
Tables linéaires de
nanopositionnement
Série NLSx
Résolution de positionnement sub-nanométrique
Amplitude de déplacement jusqu’à 5mm
Conception pour des déplacements linéaires précis
Référence
Course (mm)
NLS x ...0.5
0.5
NLS x ...1 and 2
1 and 2
NLS x ...5
5
*Dimensions approximatives
Dimensions (mm)
*40x40x30
*60x60x30
125x100x41.5
Vue de côté
Outils de bridage (optionnels)
Mouvement de l’axe
Vue de dessus
Taille et dimensions : pour la référence NLSx Al VC UHV CL C 5
Nous pouvons discuter de vos besoins et travailler ensemble
sur une version spécifique. Nous serons heureux d’adapter nos
produits et leurs spécifications à vos exigences.
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ISP 09R025FPI0022 G
Breveté par ISP System®
Nos solutions de contrôleurs de
mouvement NLS
Tables linéaires de
nanopositionnement
Série NLSx
Résolution de positionnement sub-nanométrique
Amplitude de déplacement jusqu’à 5mm
Conception pour des déplacements linéaires précis
Application client
Pilotes
Contrôleur NLS
ISP SYSTEM
Contrôleur OEM
OEM
Carte d’acquisition
Système PXI
Système déporté
National Instrument
National Instrument
National Instrument
BOÎTIER ELECTRONIQUE DE PILOTAGE – ISP SYSTEM
A
+
Etage de puissance
Table de positionnement NLS
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Conditionneur
ISP 09R025FPI0022 G
Breveté par ISP System®
Tables linéaires de
nanopositionnement
Série NLSx
Résolution de positionnement sub-nanométrique
Amplitude de déplacement jusqu’à 5mm
Conception pour des déplacements linéaires précis
Contrôleur NLS
Contrôleur OEM
Système PXI
Carte d’acquisition
Système déporté
24 bits
24 bits
Contrôleur autonome
Contrôleur autonome
USB
FireWire®
24 bits
Système d’acquisition
temps réel déporté
Ethernet
16 bits
Carte placée à
l’intérieur du PC
Interne au PC
16 bits
Système d’acquisition
temps réel déporté
Ethernet
85-240VAC/50-60Hz
85-240VAC/50-60Hz
85-240VAC/50-60Hz
Interne au PC
24VDC/1A (*)
±15VDC/2A (*)
±40VDC/3A (*)
+24V/3A faible bruit (*)
Capteur capacitif
Oui
Non
Oui
Capteur optique
Oui
Oui
Non
Entrées numériques
8 TTL
8 TTL
2 réservées (**) ; TTL
Sorties numériques
8 TTL
2 TTL
3 réservées (**) ; TTL
Entrées analogiques
4 ±10V 24 bits
4 entrées ±10V 16 bits
1 réservée (**) ; ±10V 24 bits
1 réservée (**) ; ±10V 16 bits
Sorties analogiques
4 ±10V 24 bits
3 sorties ±10V 16 bits
1 réservée (**) ; ±10V 24 bits
1 réservée (**) ; ±10V 16 bits
Résolution
Architecture système
Communication
Alimentation contrôleur
Alimentation moteur
Asservissement
Position et vitesse
Entrée de synchronisation
Manuel, à la volée,
pas à pas
Oui
Sortie de synchronisation
Oui
Non
Non
Non
Non
Température d’utilisation
0 à 50°C
0 à 50°C
0 à 55°C
0 à 40°C
-20°C à +55°C
-20°C à +70°C
-20°C à +70°C
-20°C à +70°C
Profils d’asservissement
Manuel
Manuel
Manuel
Manuel
Non
Non
Non
Non
Température de stockage
-20°C à +70°C
-30°C à +85°C
(*)
: les alimentations ne sont pas fournies
(**)
: nous consulter pour un mapping différent des entrées/sorties
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Tables linéaires de
nanopositionnement
Série NLSx
Résolution de positionnement sub-nanométrique
Amplitude de déplacement jusqu’à 5mm
Conception pour des déplacements linéaires précis
Logiciel de contrôle de mouvement
Les tables linéaires de nanopositionnement d’ISP System peuvent être pilotées par différents
types de contrôleur comme le montre le tableau précédent. Chaque solution dispose de son
propre logiciel et donc de sa propre architecture. Pour permettre la meilleure intégration
possible de chaque contrôleur, les pilotes et/ou les applications de démonstration sont fournies
à l’utilisateur. Ainsi, le développement d’une application de pilotage est simplifié permettant un
démarrage rapide et une mise en œuvre aisée.
Le contrôleur NLS et le contrôleur OEM sont des interfaces fonctionnant sur plateforme
Windows qui fournissent des outils puissants pour le diagnostic, le développement et l’analyse
(tâches d’automatisation simples, observation du comportement du système, optimisation du
système,…), le tout sur une plateforme facile à utiliser. Le mode jog permet à l’utilisateur de
programmer des profils de déplacement et de les exécuter manuellement ou en
fonctionnement.
Le contrôleur NLS dispose d’un mode spécial qui permet d’exécuter immédiatement des
commandes en les envoyant depuis un PC via USB. Le mode jog est complété par les modes
fly-scan et pas-à-pas qui permettent de synchroniser les acquisitions et les déplacements de la
table sur la même horloge. Le transfert de données synchrone peut être effectué par l’utilisateur
et les acquisitions peuvent être synchronisées sur une entrée de type « Master clock ». Les
données sont stockées sur une mémoire interne et peuvent être lues (téléchargées) plus tard.
Les contrôleurs basés sur des produits National Instruments® peuvent être pilotés par une
interface LabVIEW®. Les profils de mouvement sont conçus et développés pour optimiser le
déplacement de la table et obtenir le meilleur comportement.
Contrôleur NLS
Contrôleur OEM
Contrôleurs basés sur des
produits NI
Logiciel NLS
Logiciel OEM
LabVIEW 2009 et 2012
C, C++, LabVIEW (VIs
fournis), …
C#, VB.NET, C, C++,
LabVIEW (VIs fournis), …
C, Matlab, …
Windows
Windows
Windows et Linux
Manuel, jog, flyscan et
pas-à-pas
Manuel et jog
Manuel
Synchrone
Synchrone
Selon la version du
contrôleur (*)
Synchronisation
Oui
Non
Non
Gestion par PLC
Oui
Oui
Selon la version du
contrôleur (*)
Plateforme
Langages supportés
Système d’exploitation
Profils de fonctionnement
Acquisition de données
(*)
: Pour obtenir de plus amples informations, nous contacter
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Tables linéaires de
nanopositionnement
Série NLSx
Résolution de positionnement sub-nanométrique
Amplitude de déplacement jusqu’à 5mm
Conception pour des déplacements linéaires précis
Code commande des tables
NLSx Al
VC
UHV
CL
C
5
Série
NLS:
Table de nano positionnement
Axis:
x
Matériau: Aluminium, Titane,
Acier Inoxydable
Moteur
VC:
Voice-coil
Pression
ATM:
LV:
HV:
UHV:
Atmosphérique
Vide primaire
Vide secondaire
Ultravide
Contrôleur
OL:
CL:
Boucle ouverte
Boucle fermée
Capteur de déplacement
C:
O:
X:
Capacitif
Optique
Aucun (boucle ouverte)
Course
0.5:
1:
2:
5:
0.5 mm
1 mm
2 mm
5 mm
Exemple de code article
Pour une table en aluminium compatible ultravide avec un contrôleur en boucle fermée, un
capteur capacitif et une course de 5mm le code commande est : NLSxA_VC_UHV_CL_C_5.
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nanopositionnement
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Amplitude de déplacement jusqu’à 5mm
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Breveté par ISP System®
Code commande des contrôleurs
CT
NLS
24
CL
Série
NLS:
OEM:
PXI:
ACQ:
REM:
Contrôleur NLS
Contrôleur OEM
Contrôleur PXI
Carte d’acquisition
Système déporté
Résolution
24:
20:
16:
24 bits
20 bits
16 bits
Asservissement
OL:
CL:
Boucle ouverte
Boucle fermée
Exemple de code article
Pour un contrôleur NLS 24 bits fonctionnant en boucle fermée le code est : CT NLS 24 CL
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