PRÉSENTATION FLASH LABO : CEA-LETI

PRÉSENTATION FLASH LABO : CEA-LETI
Journées du GdR META | A. Reinhardt | 07/06/16
POSITIONNEMENT
• Mission :
Créer de l’innovation et la transférer vers l’industrie
• Cœur de métier :
•Micro et nano-technologies, avec une masse critique sur leur intégration sur
silicium
•Composants avancés pour applications émergentes
Production
Produits
• Positionnement
Ligne pilote
Prototypes
Recherche académique
Publications
Recherche appliquée
Brevets
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PLATEFORMES TECHNOLOGIQUES
Nanotec 300
Advanced CMOS 200
MEMS 200
Nanoscale
Characterization
Smart Systems Integration
Design
Chemistry & Biology
Photonics
•
Salles blanches:
•
•
•
•
100 mm : photonique et Plateforme Technologique Amont (PTA)
200 mm : CMOS et MEMS
300 mm : CMOS avancé
7000 m² en classe 10, fonctionnant 24h/24, 7j/7
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ACTIVITÉS ACOUSTIQUES AU CEA-LETI
Intégration de matériaux
piézoélectriques :
Dépôts de
matériaux
piézoélectriques
(AlN, PZT…)
Report de couches
minces
monocristallines
(LiNbO3, LiTaO3,
Quartz, …)
Caractérisations
associées (XRD,
MEB, TEM, …)
Applications RF
Filtres RF
Composants à
ondes de Lamb
Procédés spécifiques MEMS :
Libération de
membranes (DRIE,
KOH, TMAH, HF,
XeF2, …)
Capteurs
cMUT
géophone
Correction de
fréquence
(trimming)
Encapsulation
Actionneurs
Actionneur haptique
Haut-parleur digital
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Leti, technology research institute
Commissariat à l’énergie atomique et aux énergies alternatives
Minatec Campus | 17 rue des Martyrs | 38054 Grenoble Cedex | France
www.leti.fr
Planche de pictos
DISPOSITIFS
MÉDICAUX
INTERNET
DES OBJETS
CAPTEURS
IMAGING
SENSOR
SERVEURS ET
CALCUL INTENSIF
NANO
ELECTRONIQUE
COMPOSANTS
PHOTONIQUE
ÉNERGIE
ÉLECTRONIQUE
DE PUISSANCE
SÉCURITÉ
RF
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