Fiche équipement

E V AP O R AT E U R
P O U R M AT E R I AU X
O R G AN I Q U E S
Electronique polymère
Caractérisation
Responsable : Sébastien SANAUR
au
BOC EDWARDS – AUTO 500
Installations
- Hébergement : CMP G Charpak
- Formation nécessaire :
- 1 journée de formation
Description / Caractéristiques
Il s’agit d’un équipement permettant de faire de l’évaporation thermique sous vide de matériaux
métalliques et organiques.
Description
Caractéristiques
- Porte-échantillons sur plateau tournant
- Groupe de pompage : primaire + turbo-moléculaire
- Enceinte avec 4 sources :
2 régulées en température et 2 à effet Joule
- Microbalance à quartz
- Système de programmation et contrôle du dépôt
Substrats : Diamètre 30cm, Wafers 4’’ (ou plus)
Type : Silicium, Verre …
Dépôts :
Moléculaires : pentacène …
Métaux : Faible travail de sortie (Ca, Mg)
Fort travail de sortie (Or, Ti)
Précision de vitesse d’évaporation : qqs Å/s
Options :
- Système de chauffage du substrat
Vide : 10-6 mbar
Principaux avantages
⇒ Précision et uniformité des dépôts
Grâce à système de contrôle de la vitesse (Å/s) + Plateau tournant
⇒ Simplicité d’utilisation et sécurité du pompage
Grâce à système automatique de mise en pompage et d’arrivée d’air
⇒ Equipement versatile, idéale pour des activités de R&D
Grâce à une liberté de configuration et maintien de plusieurs échantillons sur le même plateau
⇒ Amélioration de la croissance des grains pendant le dépôt
Grâce au chauffage du substrat
⇒ Possibilité de co-évaporation de matériaux
Grâce aux deux sources régulées en température (idéal pour OLED par exemple)
⇒ Process unique de dépôt de matériaux différents, sans oxydation de l’échantillon et/ou des
couches évaporées
Process générique d’utilisation
(Images en cours)
Autres secteurs possibles
Display (OLED), Cellules photovoltaïques …
Equipement « Micro-PackS »