DRT : Sujet de thèse SL-DRT-17-0739 - instn

DRT : Sujet de thèse SL-DRT-17-0739
DOMAINE DE RECHERCHE
Matériaux et applications / Sciences pour l'ingénieur
INTITULÉ DU SUJET
Gravure plasma des copolymères à bloc dit « High Chi »
RÉSUMÉ DU SUJET
Pour les nœuds technologiques sub-10nm, de nouvelles techniques de lithographies sont à l’étude pour réaliser des motifs de plus en plus
denses et petits. Le Leti a déjà démontré la faisabilité de la lithographie à base de copolymère à bloc avec du PS-b-PMMA (pitch 40nm).
Cependant pour atteindre des résolutions encore plus poussées, de nouveaux matériaux dits « high chi » sont à l’étude. Grâce au
laboratoire commun Arkema-Leti, nous avons accès à ce type de matériaux (pitch<20nm), mais tout reste à démontrer pour l’intégration
de ces matériaux en micro-électronique, notamment leur transfert par gravure plasma. Du fait des très petites dimensions visées, le
candidat sera confronté à plusieurs défis techniques qui l’obligeront à :
- Proposer des solutions de gravures innovantes en s’appuyant notamment sur les nouvelles fonctionnalités des équipements de gravure
dernière génération disponibles au Leti
- Mettre en place une méthodologie rigoureuse de caractérisation chimique et morphologique
- Comprendre les mécanismes de gravure mis en jeu en s’appuyant sur des analyses XPS, FTIR, STEM, EDX…
- Comparer les différentes approches d’auto-assemblage des copolymères à blocs (intégrabilité, impact de la nature des masques utilisés
et des défauts d’assemblage sur la gravure…)
- Identifier le meilleur schéma d’intégration pour viser une application avec objectif final test électrique
FORMATION NIVEAU MASTER RECOMMANDÉ
diplôme d'ingénieur/ Master 2 - spécialité matériaux, nanotechnologie
INFORMATIONS PRATIQUES
Département Technologies Silicium (LETI)
Service des procédés de Patterning
Laboratoire Gravure
Centre : Grenoble
Date souhaitée pour le début de la thèse : 01/09/2017
PERSONNE À CONTACTER PAR LE CANDIDAT
Patricia PIMENTA BARROS
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Institut national des sciences et techniques nucléaires
www­instn.cea.fr
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CEA
DRT/DTSI/SPAT/LGRA
CEA Grenoble
17 rue des Martyrs
38054 Grenoble Cedex 9
Téléphone : +33 4 38 78 16 19
Email : [email protected]
UNIVERSITÉ / ÉCOLE DOCTORALE
Université Grenoble Alpes
Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS)
DIRECTEUR DE THÈSE
Nicolas POSSEME
CEA
DRT/DTSI/SPAT/LGRA
CEA Grenoble
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Institut national des sciences et techniques nucléaires
www­instn.cea.fr
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