Mask Alignment

Alignement d'un masque
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Situation de départ
Points à contrôler sur la machine
Recherche des géométries d’alignement sur le masque
1. Situation de départ
La machine est sous tension, l’opération de LOGIN est effectuée, un masque est chargé.
L’ordinateur affiche l’écran suivant (les noms de programmes et les valeurs sont des exemples):
Operator: -Volume: STANDARD
Type: HARD CONTACT
Access : -Program: HARDC
FIX
Max: Exposure: 500
Exposure: 0
Exposure Time: 10.0s
Alignment Gap: 40um
Max Contacts: 500
Contact: 0
Hard Contact Delay: 10s
Prealigner Type: 0
Resist: POSITIVE
Mode: MANUAL ALIGN
WEC: CONTACT
Align. Check: OFF
Split Exposure: OFF
BSA Alignment: OFF
FIX
MIC
Mask Teach Data: Default
SYSTEM
Mask Vacuum : OFF
Mask Clamping: OFF
Check Mask Vacuum and Mask Clamping
LOGOUT
CHANGE
PROGRAM
Aucune image n’est visible sur l’écran du moniteur TV.
Activer la case "MIC". La fenêtre suivante s’ouvre:
MICROSCOPE
UP
NOTE:
Use the splitfield
switch on the
Microscope
Control box to
change the field
DOWN
RETURN
Activer la case "DOWN". Les microscopes supérieurs descendent et se positionnent à leur origine. Une
image est alors visible sur l’écran du moniteur TV.
Activer la case "RETURN". On retrouve l’écran de la page 1.
2. Points à contrôler sur la machine
2.1 Microscopes supérieurs.
Mettre en place les objectifs 5X (bague rouge)
2.2 Focus Control Box.
2.2.1 Positionner l’interrupteur 3 en position médiane. L’écran TV se partage en 2 parties, celle de gauche
correspond au microscope de gauche, celle de droite au microscope de droite.
2.2.2 Commuter l’interrupteur 6 en position haute. Les microscopes supérieurs focalisent sur le plan du
masque, côté chrome.
2.2.3 Si nécessaire, corriger la netteté de chacune des 2 images au moyen des potentiomètres 1 et 2.
2.2.4 Ajuster la luminosité grâce aux boutons 9 et 10 et/ou au moyen des diaphragmes manuels placés sur
les microscopes.
2.2.5 Une portion quelconque du masque est maintenant nettement visible à l’écran TV. Les microscopes
travaillant en lumière réfléchie, les structures claires correspondent au chrome alors que les géométries
foncées correspondent au verre transparent .
3. Recherche des géométries d’alignement sur le masque
3.1 Sur le micromanipulateur gauche, presser la touche "MICROSC.". La LED associée s’allume. Celle
de la touche "MASK" reste éteinte. Cela indique que tous les mouvements X, Y et Q commandés par les
micromanipulateurs n’affecteront que les microscopes. Au-bas de l’écran du PC apparaît l’information
"MICROSCOPE STAGE ENABLED".
3.2 A l’aide du micromanipulateur de droite, déplacer les microscopes selon les axes X et Y. Les
microscopes forment un tout. Ils se déplacent ensemble dans la même direction. L’écartement entre eux
reste donc inchangé.
3.3 Repérer grosso modo le couple de géométries d’alignement auquel on s’intéresse. Il est fort probable
que l’écartement entre les microscopes ne soit pas juste et que le masque soit légèrement désaxé. L’image
observée à l’écran TV est de cette forme:
3.4 Dans cet exemple, ramener la croix de droite à proximité de la ligne séparant les 2 images. Pour ce
faire, utiliser la vis micrométrique localisée sur le côté du microscope de droite, et la tourner dans le sens
voulu. On s’arrange pour, qu’à l’oeil, les 2 croix soient équidistantes de la ligne médiane.
3.5 Reste à compenser le mésalignement angulaire du masque, de façon à amener les 2 croix à la même
hauteur. Cela se fait à l’aide du micromanipulateur de gauche. L’actionner fait se désaxer les 2
microscopes selon Y. Choisir le sens qui convient à la correction de notre exemple. Ce sont donc les
microscopes qui s’adaptent à l’erreur angulaire du masque. Avant de procéder à cette correction, s’assurer
que l’information "MICROSCOPE STAGE ENABLED" est toujours affichée au-bas de l’écran du PC. Si
ce n’est pas le cas, la faire réapparaître.
3.6 Le micromanipulateur de droite permet ensuite de positionner l’image globale au centre de l’écran
TV. Le masque est aligné.