Filtre COMBI-FLOW - Hoskin Scientifique
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Filtre COMBI-FLOW - Hoskin Scientifique
Filtre COMBI-FLOW Généralités De part leur construction, les débitmètres et régulateurs massiques pour gaz sont sensibles aux contaminations de poussières, huile, humidité, copeaux métalliques. Afin d'augmenter la MTBF (Moyenne des temps de bon fonctionnement), il est important de s'assurer que le gaz traversant l'appareil soit propre. Les filtres Combi-Flow assurent ce rôle. Le filtre peut être changé sans démonter le module de base de la tuyauterie. Types de filtres Il y a deux types de filtre : Filtre PVDF Pour les applications semi-conducteurs avec un taux de rétention certifié à 0.003 mm pour les plus petites particules mesurées, et plus de 99.9999999% de suppression de toutes particules. Filtre métal 316L pour les applications de filtration courantes. Model MO-AA-88 Sélection Pour les gaz semicon utiliser du PVDF: la cartouche ne peut pas être nettoyée. Pour les ultra-filtrations utiliser du PVDF. Pour les autres applications utiliser les filtres métal 316L. Si le gaz contient des particules relativement importantes, utiliser un préfiltre. Les cartouches métal 316L peuvent être nettoyées avec un solvant approprié. En principe, il faut choisir la porosité la plus fine avec une faible ∆P; de préférence éviter une ∆P supérieure à 250 à 500 mbars, et une porosité plus grande que 5 µm. Modèles disponibles Style Modèle Porosité moyenne (mm) Type / Surface (cm²) Constante de filtre mbar/ln min-1 Air Ultra-propre 1M-NM-M05 0.05 PVDF/10 72 Petit débit 1M-NM-M01 0.5 316L/2.5 72 1M-NM-M02 2.0 316L/2.5 24 1M-NM-M03 7.0 316L/2.5 16 1M-NM-M04 15.0 316L/2.5 8