VANNE À MEMBRANE ULTRA RAPIDE

Transcription

VANNES À MEMBRANE HAUTE PURETÉ
VANNE À MEMBRANE ULTRA RAPIDE
Brevet US 61/910,079
en attente
VANNES À MEMBRANE ULTRA HAUTE PURETÉ POUR DES APPLICATIONS DE DÉPÔT PAR COUCHES ATOMIQUES ET DES APPLICATIONS DE
MANŒUVRES ULTRA RAPIDES
HAM-LET ADVANCED CONTROL TECHNOLOGY
437
VANNES ULTRA RAPIDES À COMMANDE
PNEUMATIQUE AVEC MEMBRANE
MÉTALLIQUE EN LIGNE
La série ultra rapide a été conçue pour des applications de dépôt par couche atomique, des
cadences élevées, assurant une tenue à des cadences élevées, des hautes températures
en processus d’ultra haute pureté. Les contraintes de répétabilité sont assurés grâce à un
mécanisme unique de réglage du débit (brevet No. US910,079/61 en attente) L’option coiffe
rallongée et ailettes de refroidissement apporte une solution parfaite pour les applications à haute
température.
SPÉCIFICATIONS DES VANNES EN LIGNE
Structure
Pression
MATÉRIAUX
Article
Vanne à étanchéité métallique par
membrane, sans joint d’étanchéité
Vacuum à 150 psi (10 bar)
Température: Chapeau standard
Chapeau allongé
Fuite: Fuite intérieure
A travers le siège
14 à °248F (10- à °120C)
14 à °392F (10- à °200C)
≤ 3x11-10 atm cc He/sec
≤ 1x9-10 atm cc He/sec (1)
Particule
Aucune particule détectée supérieure à 0.1μm.
Fonctionnement
Pneumatique à grande vitesse, NC*
Valeur Cv
0.6 / 0.25, Ajustable
Configuration des ports
-2port droit, -2port L, -3port, -4port
Finition de surface Ra (Ave)-Standard 5μin, surface électropolie
Approvisionnement d’air
90-60 psig (6-4 bar)
Temps de réponse de la vanne
Moins de 5ms
No de la pièce
1*
Corps
2*
Siège (calfeutré)
3*
Membrane
4
Bouton d’actionnement
5
Porte-bouton d’actionnement
6
Manchon
Matériau
Acier inoxydable, 316L VAR ou VIM/VAR**
PFA
Alliage Co-Cr-Ni
Acier inoxydable, 316L
Acier inoxydable, ASTM 630 H900
Acier au carbone + PTFE
7A
Chapeau de régulation
7B
Chapeau de régulation allongé
8
Tige de raccord
Acier inoxydable 304
9
Ecrou de verrouillage
10
Assemblage de l’actionneur
11
Ailette de refroidissement
(1)
*Pièces en contact avec des liquides
Aluminium 6061
** Par SEMI F20
(1) Pour les corps de taille 4/1", pour vanne uniquement
*NC- Normalement fermé
10
Actionneur
pneumatique
spécialement conçu
pour les cadences
élevées et les
vitesses ultra rapides
(mois de 5ms) (1)
8
7A
9
7B
11
6
Chapeau de régulation pour
le réglage du débit et la
réduction des effets
thermiques – brevet US
61/910,079 en attente
(chapeau allongé en option
pour les températures élevées)
5
4
3
2
1
Sièges PFA pour les hautes
températures, jusqu’à
200°C & cycle de longue durée
438
Orifices des radiateurs
de cartouche et des
thermocouples en option
ULTRA-CLEAN VALVES
*Le siège est calfeutré
à l’intérieur du corps
VANNES ULTRA RAPIDES À COMMANDE
PNEUMATIQUE AVEC MEMBRANE MÉTALLIQUE
ET MONTAGE EN SURFACE
Le design de montage en surface correspond à la norme SEMI PR 3.1 pour 1.112'' Joint-C.
Cette série est fabriquée selon les spécifications UHP du SEMI F20- avec des mécanismes
de commande pneumatique
Structure
Pression
Chapeau allongé
Fuite: Fuite intérieure
A travers le siège
14 à °120,00C (10- à °120C)
2*
3*
Membrane
4
5
Acier inoxydable, ASTM 630 H900
6
Manchon
14 à °392F (10- à °200C)
≤ 3x11-10 atm cc He/sec
≤ 1x9-10 atm cc He/sec (1)
Particule
Aucune particule détectée supérieure à 0.1μm.
Fonctionnement
Pneumatique à grande vitesse, NC*
Valeur Cv
0.6 / 0.25, Ajustable
Configuration des ports
-2port , -3port
Finition de surface Ra (Ave)-Standard
5μin, surface électropolie
Approvisionnement d’air
90-60 psig (6-4 bar)
Temps de réponse de la vanne
Moins de 5ms (1)
Matériau
No de la pièce
Corps
Siège (calfeutré)
1*
Vacuum à 150 psi (10 bar)
Température: Chapeau standard
Vanne à étanchéité métallique par
membrane, sans joint d’étanchéité
MATÉRIAUX
Article
Acier inoxydable, 316L VAR ou VIM/VAR**
PFA
Alliage Co-Cr-Ni
Acier au carbone + PTFE
7A
Chapeau de régulation allongé
7B
Extended Regulating Bonnet
8
Tige de raccord
9
Ecrou de verrouillage
10
Assemblage de l’actionneur
11
Ailette de refroidissement
Aluminium 6061
*Pièces en contact avec des liquides
** Par SEMI F20
(1) Pour les corps de taille 4/1", pour vanne uniquement
*NC-Normalement fermé
10
8
7A
9
7B
11
6
5
4
3
2
1
439
SPÉCIFICATIONS DES VANNES MONTÉES EN SURFACE
DIMENSIONS DES MODÈLES STANDARDS
DIMENSIONS DE LA VANNE - INCH (MM)
Taille
du SÉRIES
corps
UF
1/4”
UFS
UF
1/2”
UFS
A
Raccordement
in
B
mm
in
C
mm
in
D
mm
in
E
mm
in
F
mm
in
mm
HTC Mâle
2.30 58.4
1.15 29.2
HTC Mâle à pivot
2.78 70.6
1.39 35.3
HTC Femelle à pivot
2.78 70.6
Soudure
1.75 44.4
Montage en surface
0.30
HTC Mâle
2.99 76.0
HTC Mâle à pivot
3.93 100.0
3.93 100.0
7.7
0.43 11.0 1.16 29.4 1.16 29.4 1.00 25.4
H
G
1.39 35.3
in
mm
in
6.6
1.12 28.4 0.17
4.4
0.85 21.7 0.30
0.69 17.5 1.46 37.0 1.46 37.0 1.10 28.0
Soudure
2.16 55.0
0.46 11.6 0.31
7.7
3.33 84.6 4.26 108.1 1.10 28.0
1.97 50.0
1.97 50.0
4.93 125.3 5.86 148.8 1.34 34.0
1.08 27.5
8.0
1.50 38.1 0.20
5.2
1.19 30.2 0.46 11.6 4.45 113.2 5.38 136.8 1.34 34.0
ØJ
ØJ
Entrée d’air M5
ØJ
Entrée d’air M5
ØJ
Entrée d’air M5
H
H
G
G
B
B
C
A
(4x)*
Trou de
repérage
de fuite
Option
à 3 ports
Vue du dessous
* Les trous M5 sont compatibles avec 10-32 vis de montage
ULTRA-CLEAN VALVES
mm
1.50 38.0
Entrée d’air M5
440
in
3.69 93.8 4.62 117.3 1.10 28.0
Les dimensions sont à titre de référence uniquement et peuvent faire l’objet de changements.
Trou de
repérage
de fuite
mm
0.88 22.2
0.26
Montage en surface
A
J
B
C
RÉFÉRENCE DE COMMANDE
EN OPTION
UF
2
1
-
4
V
F
Séries
de vanne
Indicateur
de port
Matériau
Body
du
corps
Material
UF En ligne
UFS Montage en surface
0,1,2,3,4,5
SS316L Per
V SS316L
VAR
SEMI-F20
V ou
VIM/VAR (1)
Type de
vanne
2 Vanne 2-Port
3 Vanne 3-Port
4 Vanne 4-Port (2)
(1)
Indicateur
du corps
4 1/4” Corps
8 1/2” Corps
BW
4
LC N.C. activé
4
6*
8
par air
Raccordement (2)
BW
GF
GM
M
PFA
Par SEMI F2( | 0305-20) Pour vannes en ligne uniquement | (8/1
)3
GF
4
Taille de
l’embout
Appareil d’activation
Matériau
du siège
F
-
LC
1/4"
3/8"
1/2"
* For BW Only
-
-
Option de
chauffage (3)
Haute temp.
Options
X Extendeur
F Extendeur avec ailette
H
Trous de
cartouche pour
le thermocouple
et le radiateur
H1
Trous de
cartouche avec
thermocouple
H2
Trous de
cartouche avec
radiateur
H3
Trous de
cartouche pour
thermocouple
et radiateur
Options de
contrôle
D Électrovanne, DC
LS Commutateur de limite
Soudure
-
HTC Mâle à pivot
HTC Mâle
in. par les trous pour uniquement les vannes UF20
INDICATEUR DU PORT - (VUE SUPÉRIEURE)
Configuration
de la vanne
Indicateur
de port
Trou renifleur
Configuration
de la vanne
Indicateur
de port
Diagramme
de flux
Vanne 3 ports
Vanne 2-Port
UF2_
Diagramme
de flux
0
1
L-Port
UF3_
Trou renifleur
Configuration
de la vanne
Indicateur
de port
Diagramme
de flux
Vanne 4 ports
0
UF4_
1
0
1
Trou renifleur
2
L-Port
2
2
3
3
4
5
Attention!
Le concepteur du système et l’utilisateur sont seul responsables du choix des produits adaptés
aux besoins de leur application spécifique et ils doivent s’assurer de l’installation correcte et de la
maintenance du produit. Lors de votre sélection, veuillez tenir compte des détails d’application,
de la compatibilité des matériaux et des caractéristiques techniques du produit. Le choix,
l’installation ou l’emploi incorrect des produits peut entraîner des dommages matériels ou des
blessures corporelles.
UCV UF, Rev.00, Janvier 2014
441
Exemple de description de vanne:
442
ULTRA-CLEAN VALVES

VANNE À MEMBRANE ULTRA RAPIDE

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