Microscope Electronique à Balayage Environnemental (ESEM)
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Microscope Electronique à Balayage Environnemental (ESEM)
Microscope Electronique à Balayage Environnemental (ESEM) Microscope Electronique à Balayage Environnementale FEI Quanta 200 Principe : Le Microscope Electronique à balayage est une technique de microscopie basée sur le principe des interactions électronsmatières. Un faisceau d’électron balaie la surface de l’échantillon à analyser, le faisceau en touchant la surface de l’échantillon produit des interactions. Ces interactions sont : -Les électrons secondaires ES : Topographies Géométriques. -Les électrons rétrodiffusés ER : Topographies chimiques . -Les Rayons X RX : Analyse qualitative et quantitative . Selon la nature de l’échantillon (conducteur, non conducteur), sous un environnement donné il fonctionne dans trois modes de vides différents : High vacuum, Low vacuum, et Environnemental. Chacun de ces modes dispose de deux types de détecteurs : électrons secondaires (SE) et électrons rétrodiffusés (BSE) qui fournissent le contraste topographique et chimique de l’échantillon respectivement. Cet équipement est couplé à un système de microanalyse-X (détecteur EDX-EDAX) qui fournit la composition chimique de l’échantillon avec une limite de détection allant jusqu’au Bore. Résolution : o 3.5 nm à 30 KV en mode HV o 15 nm à 30 KV en mode LV Agrandissement : jusqu’à 300.000 X wehnelts