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COMPOSITION DU SERVICE Responsable • Bruno Mercier Assistante Gestionnaire • Sylvie Paradowski Ingénieurs Procédés • Frédéric Marty • Bruno Mercier • Vincent Perrais • Lionel Rousseau Techniciens Procédés, Maintenance et Logistique • Serge Didelon • Pascal Jouannard (Responsable Sécurité) • Bruno Cappellazi (Responsable de l’Atelier Mécanique) • Patrick Vinatier (Responsable des Circuits Imprimés) 171 172 Système d’étalement de résine photosensible Machine de gravure profonde du silicium ALCATEL 601E Microscope électronique à balayage JEOL JSM 840 173 174 LE SERVICE POUR LA MICROELECTRONIQUE ET LES MICROSYSTEMES Le Service pour la Microélectronique et les Microsystèmes (S.M.M.) est constitué de 9 personnes dont 4 ingénieurs spécialisés dans les procédés de micro-technologie, une assistante gestionnaire, 4 techniciens en charge de la maintenance des équipements, des infrastructures et d’une partie de l’activité d’appui aux entreprises. Le S.M.M. est un service dont les objectifs sont les suivants : - - Mise à disposition des moyens techniques des salles blanches du Groupe ESIEE pour les missions de formation première (ESIEE, ESTE, CEMIP, CFA Ingénieurs 2000 de la filière ESCPI) et continue (Stages Intra ou Inter Entreprises). Mise à disposition des moyens techniques des salles blanches du Groupe ESIEE pour les missions de recherche du Groupe ESIEE et de l’ESYCOM (Enseignants Chercheurs et Thésards). Appui aux entreprises et aux laboratoires publics (CNRS, CEA, ONERA) par la réalisation de projets de recherche ou d’étapes de procédés technologiques. Accueil d’entreprises extérieures du domaine des MEMS (Micro Electrical Mechanical Systems) dans le cadre de partenariats. Formation des utilisateurs sur les moyens techniques des salles blanches et sur les procédés standards. Le S.M.M. possède plus de 25 ans d’expérience dans les procédés dédiés à la microélectronique et aux microsystèmes. Ces micro-composants fonctionnels comportant un ou plusieurs capteurs et/ou des actionneurs sont de plus en plus utilisés non seulement pour des applications très spécialisées (prospection pétrolière, aéronautique) mais également dans des applications « grand public » (téléphonie, automobile, …). Les travaux du S.M.M. portent essentiellement sur des réalisations de prototypes à base de silicium ou sur la production de petites séries. 175 ABSTRACT Created in 1976, ESIEE Group microelectronics laboratory operates under the Service for Microelectronics and Microsystems (S.M.M.) including a team of 9 specialists fully dedicated to the cleanrooms. The research and development activities are mainly based on silicon integrated microsystems. ESIEE has developed an expertise on micro technology development through an R&D activity focused on the design and fabrication of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). The group took part in major R&D national and international programs which led to several industrial applications and high technology startup companies. ESIEE group has its own cleanroom facility (350 m2) which is fully equipped and entirely dedicated to MEMS. Research in this field is organized in the Equipe d’accueil, Equipe Systèmes de Communication et Microsystèmes (ESYCOM EA 2552) with CNRS and other 2 other partners in the campus of Marne-la-Vallée, namely UMLV and CNAM. Deep Reactive Ion Etching (DRIE) has taken place on MEMS development. The main advantage of the DRIE is that it can offer the possibility to make vertical sidewalls on all wafer thickness (about 500 microns). The ESIEE Group developed state-of-the-art know-how in DRIE technology, with applications in many fields, including mechanical sensors, actuators, resonators, mirrors, lenses, photonic crystals, super hydrophobic surfaces and micro-needles. In this project the ESIEE group will develop a process than can be allow possible the coating of diamond on the silicon micro-needle or 3D shape needle for realized a MEA. The design of the MEA will be defined with the CNIC and INSERM partners, and the process will be discussed with CEA to make the process fully compatible with diamond growth. ESIEE Group advanced microelectronics laboratory is used within the framework of the teaching activities (projects for technicians and engineers students), of research (research and development contracts) and of the support to companies (continuous training, subcontractings, research and development). As a member of CEMIP (Centre de Microélectronique de Paris Ile de France), ESIEE Group cleanrooms also receive students from PARIS VI, PARIS VII Universities and from ENSEA (Ecole Nationale Supérieure d’Electronique Appliquée) in order to discover the world of MEMS and microelectronics technologies. 176 RECHERCHE ET APPUI AUX ENTREPRISES 1. Recherche et développement capteurs et microtechnologies • Microsystèmes et capteurs pour la prospection pétrolière (SCHLUMBERGER) • Capteurs de pression pour des applications pétrolières (SCHLUMBERGER) et aéronautiques (AUXITROL) • Microélectrodes pour la stimulation et l’enregistrement neuronal (projet NEUROCOM du RMNT - Réseau Micro Nano Technologie) • Microréacteur pour amplification ADN (NANYANG POLYTECHNIC - Singapour) • Développement de Microsystèmes (CEA) • Microtechnologies pour des applications fluidiques (CNAM) • Autres capteurs (ex : SAW) • Technologie DRIE HARMS • Microstructures spécifiques 2. Appui aux entreprises • Réalisations d’étapes technologiques standards ou spécifiques • Fabrication de prototypes • Réalisation de petites séries • Développement de procédés • Support technique pour étapes technologiques • Back End pour prototypes 177 178 EQUIPEMENTS / PROCÉDÉS TECHNOLOGIQUES Procédés Nettoyage SPM/RCA Gravure humide (SiO2, PSG, BSG,Al, Si, Cr, Au) Oxydation thermique sèche et humide Prédépôt de Bore ou de Phosphore et redistribution Implantation ionique Déposition par LPCVD : PolySi, SiO2, Si3N4 Déposition par PECVD : Si3N4 Déposition PVD (Al, Cr, Au, Ti, Pt, TiW, Mo, AlN, TaN) Lithographie 365 nm en simple et double face Alignement tranche à tranche pour scellement de tranche Dispenseur de résine (détourage, développement, recuit) Dispenseur de résine (détourage, recuit) Scellement de tranches : - Soudure anodique Verre-Si, Si-Verre-Si, Verre-Si-Verre - Soudure Si-Si - Soudure adhésive (polymères) - Soudure eutectique Au-Si Gravure sèche : - Gravure profonde anisotrope du Si (procédé BOSCH et procédé très basse température) - Gravure fluorée pour PolySi, SiO2, Si3N4 - Gravure chlorée pour Al, Cr - Gravure O2 pour photorésine et polymères Séchage CO2 supercritique Dépôt électrolytique (Cu) Caractérisation de procédés : - Mesures mécaniques d’épaisseur - Mesures optiques de vibration - Mesures optiques d’épaisseur - Mesures d’épaisseurs et d’indices de réfraction - Mesures de résistivité de couches - SEM - AFM / STM - Testeur sous pointes automatisé avec chuck chauffant Back End : - Découpe des tranches - Mise en boîtier et connexions fil Al et Au Polissage des tranches (capacité : 4 tranches de 100 mm) Equipements ESIEE Equipements SAPI Fours SEMCO Engineering (6 tubes) RTP JIPELEC En sous-traitance SEMCO Engineering LPCVD (2 tubes) ASM AMERICA PECVD (2 tubes) Bâti de pulvérisation PLASSYS MP500S Evaporateur à canon d’électrons TEMESCAL BJD1800 1 aligneur automatique TSA/BSA Süss Microtec MA150 2 aligneurs TSA/BSA K&W MA1006 1 aligneur TSA Karl Süss MA6 FALCON Süss Microtec Equipement de scellement de tranches EV501S Electronic Visions 2 machines ALCATEL A601E Deep RIE NEXTRAL NE110 RIE PLASSYS MG200S RIE Graveurs MATRIX modèle 105 CO2 supercritical SC FLUIDS RCP Profilomètre DEKTAK 3ST Auto 1 Vibromètre laser POLYTEC Vibromètre interférentiel WYKO NT1100 Ellipsomètre spectroscopique El-2000 MIKROPACK Equipement SCHLUMBERGER Mesure 4 pointes FPP5000 VEECO JSM 840 JEOL SPM Lab VEECO K&W ANAPC8 Equipement SCHLUMBERGER Scie KULICKE & SOFFA modèle 775 KULICKE & SOFFA wedge bonder & ball bonder CMP type PLANERA Equipement SCHLUMBERGER 179 180 CONTRATS • NEUROCOM Projet RMNT subventionné par le Ministère de la Recherche (Durée : 2004-2006). Réalisation d'un système de microélectrodes pour coupler de manière bidirectionnelle (enregistrement/stimulation) des réseaux de neurones biologiques avec des systèmes électroniques. L’objectif est de développer un dispositif composé de plusieurs milliers de microélectrodes venant au contact d’un tissu nerveux vivant, afin de pouvoir : 1) enregistrer au long terme l’activité électrique globale (distributions de potentiels extracellulaires dans la bande 0.1Hz–3kHz) de ce réseau avec une très bonne résolution spatiale (50– 100 microns), et 2) appliquer au tissu des motifs de stimulations bien contrôlés spatialement et temporellement et enregistrer la réponse du réseau à ces stimulations. Ce dispositif sera constitué d’une microstructure d’électrodes stérilisable hybridée sur un circuit intégré d’acquisition (préamplification, multiplexage, stimulation) interfacé via une carte de commande spécifique à un PC. Il sera piloté par le biologiste grâce à une interface homme/machine conviviale Responsable et participants : B. Mercier, L. Rousseau, V. Perrais • SCHLUMBERGER - Services Pétroliers SCHLUMBERGER France (MEMS TC) Contrat financé par SCHLUMBERGER Développement de dispositifs MEMS pour applications pétrolières. Responsable : F. Marty • SCHLUMBERGER USA (SDR) Contrat financé par SCHLUMBERGER Développement de dispositifs MEMS pour applications pétrolières. Responsable : B. Mercier • ALCATEL Vacuum Technology (Annecy) Développements et realisations de procédés de masquage pour les opérations de gravure par procédé DRIE (Deep Reactive Ion Etching) Responsable et participants : B. Mercier, B. Cappellazi, P. Vinatier • MADHI (Jeune Equipe MAHDI (Microtechnologies d’Analyse à Haute Densité d’Information) Dans le cadre de la jeune équipe CNAM/ESIEE ( JE2405 ), nous développons un capteur biologique gravimétrique haute sensibilité ( SAW : Surface Accoustic Wave). Ce capteur permettra après d’adressage d’une couche chimio-sélective de détecter et quantifier des ARN, ADN , peptides et protéines sans amplification. Nous développons également sur ce projet la partie micro-fluidique qui comprendra l’ensemble des préparations des échantillons avant la mesure sur les capteurs. Responsable et participant : L. Rousseau, B. Mercier • NANYANG POLYTECHNIC SINGAPOUR Développement d’un réacteur pour l’amplification de l’ADN. Responsable : B. Mercier • AUXITROL Esterline Développement de capteurs de pression pour applications aéronautiques Responsable : B. Mercier • Collaboration ESIEE / Laboratoire de Photonique et de Nanostructures CNRS-UPR20 / ENS / Collège de France Etude de surfaces Super-Hydrophobiques de Silicium texturé. Contrôle de la mouillabilité par la texture du silicium. Responsable : F. Marty 181 • Collaboration ESIEE / LIMMS / Université de Tokyo (Japon) Projet SAKURA (Missions financées par le Ministère des Affaires Etrangères) Réalisations de structures sub-microniques. Etude de Nems Photoniques. Responsable : F. Marty • SILTRONIX Réalisations technologiques Responsable : P. Jouannard • NEYCO Réalisations technologiques Responsable : P. Jouannard • CEA - DAM Réalisation de structures MEMS pour applications militaires Responsable : L. Rousseau • MEMSCAP Accueil de l’équipe R&D MEMSCAP (2 techniciens procédés). Responsable : B. Mercier 182 PRODUCTION SCIENTIFIQUE Articles de Revues [ 1 ] F. Marty, L. Rousseau, B. Saadany, B. Mercier, O. Francais, Y. Mita, T. Bourouina, "Advanced Etching of Silicon Based On Deep Reactive Ion Etching For Silicon High Aspect Ratio Micro Structures And Three-Dimensional MicroAnd Nano-Structures", Microelectronics Journal, Vol. 36, pp. 673-677, 2005. [ 2 ] O. Arcizetn, P-F. Cohadon, T. Briant, M. Pinard, A. Heidmann, J-M. Mackowski, C. Michel, L. Pinard, O. Francais, L. Rousseau, "High-Sensitivity Optical Monitoring of a Micromechanical Resonator with a Quantum-Limites Optomechanicla Sensor", Physical Review Letters 97, N° P1333601(4), 2006. [ 3 ] B. Saadany, M. Malak, M. Kubota, F. Marty, Y. Mita, K. Diaa, T. Bourouina, "Free-Space Tunable and Drop Optical Filters Using Vertical Bragg Mirrors on Silicon", IEEE Journal on Selected Topics in Quantum Electronics, N° 6, Vol. 12, pp. 1480-1488, IEEE, du 1 Novembre au 31 Décembre 2006. Publications dans les Congrès, Colloques, Conférences [ 4 ] O. Francais, L. Rousseau, T. Bourouina, J. Haussy, A. Tissot, "MEMS Memory Based On Bi-Stable Mechanical Structures", DTIP' 05 ; Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, pp. 347-350, du 1 au 3 Juin 2005, Montreux, Switzerland. [ 5 ] K. Ito, Y. Mita, M. Kubota, F. Marty, T. Bourouina, T. Shibata, "Electrical Critical Dimension Measurement Method by Integration of Test Structure into MEMS Devices", TRANSDUCERS'05 - The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Vol. 2, pp. 2031-2034, du 5 au 9 Juin 2005, Séoul, Koréa. [ 6 ] M. Kubota, Y. Mita, K. Ito, F. Marty, T. Bourouina, T. Shibata, "A Contour-Lithography Method for Rapid and Precise Deep-Etched Nano-MEMS Structure Fabrication", TRANSDUCERS'05 - The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Vol. 1, pp. 364-387, du 5 au 9 Juin 2005, Séoul, Korée. [ 7 ] F. Marty, B. Saadany, T. Bourouina, Y. Mita, T. Shibata, "High Aspect Ratio Nano-Structures (HARNS) For Photonic Mems Based On Vertical Dbr Architecture", TRANSDUCERS'05 - The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Vol. 2, pp. 1449-1452, du 5 au 9 Juin 2005, Séoul, Koréa. [ 8 ] T. Bourouina, F. Marty, B. Mercier, Y. Mita, T. Shibata, M. Callies, Y. Chen, A. Pepin, D. Quere, "Single Crystal Silicon, High Aspect Ratio, Micro- and Nano-Structures: Technology and Applications", MRS 3rd International Conference on Materials for Advanced Technology ICMAT'05, pp. 67-70, du 3 au 8 Juillet 2005, Singapore. [ 9 ] M. Kubota, Y. Mita, F. Marty, T. Bourouina, T. Shibata, "An improved locos-contour-lithography method for fabricating nanometer-and-millimeter-scale coexisting structures", MME'2005, MicroMechanics Europe Workshop, pp. 107-110, du 4 au 6 Septembre 2005, Goteborg, Sweden. [10] B. Le Foulgoc, T. Bourouina, O. Le Traon, A. Bosseboeuf, F. Marty, C. Breluzeau, JP. Grandchamp, S. Masson, "Highly Insulated Single-Crystal Silicon Resonators: An Approach for theintrinsic quality factor", MME'2005, MicroMechanics Europe Workshop, pp. 168-171, du 4 au 6 Septembre 2005, Goteborg, Sweden. [11] C. Moulin, D. Barbier, G. Charvet, R. Guillemaud, R. Guillemaud, H. Fanet, B. Yvert, S. Joucla, P. Meyrand, L. Rousseau, V. Perrais, B. Mercier, F. Goy, S. Benoit, S. Spirkovitch, "Analyse des signaux pour un dispositif de mesure et de stimulation du système nerveux central", GRETSI'05 - 20ème colloque sur le Traitement du Signal et des Images, du 6 au 9 Septembre 2005, Louvain-la-Neuve, Belgique. [12] V. Perrais, "New generation of hight density multielectrode arrays with integrated electronics", Conference Neuroscience'2005, du 10 au 18 Novembre 2005, Washington, DC, USA. [13] C. Moulin, S. Joucla, D. Cattaert, G. Charvet, F. Goy, R. Guillemaud, B. Mercier, P. Meyrand, V. Perrais, L. Rousseau, S. Spirkovitch, B. Yvert, "New generation of high density multielectrode arrays with integrated electronics", Neuroscience Américaine, du 12 Novembre 2005 au 16 Novembre 2006, Washington, DC, USA. [14] Y. Mita, M. Sugiyama, M. Kubota, F. Marty, T. Bourouina, T. Shibata, "Aspect Ratio Dependent Scalloping Attenuation in DRI and an Application to Low Fiber-Optical Switches", Conference MEMS'2006, du 21 au 26 Janvier 2006, Istambul. 183 [15] Y. Mita, M. Kubota, M. Sugiyama, F. Marty, T. Bourouina, T. Shibata, "Aspect ratio dependent scalloping attenuation in drie and an application to low-loss fiber-optical switch", IEEE MEMS Conference, du 22 au 26 Janvier 2006, Istanbul, Turkey. [16] O. Francais, MC. Jullien, L. Rousseau, P. Poulichet, S. Desportes, A. Chouai, J. Lefevre, J. Delaire, "A thermallydriven micromixer based on fluid variation", ESDA, Conference On Engineering Systems Designs and Analysis, du 4 au 7 Avril 2006, Torino, Italy. [17] O. Francais, MC. Jullien, L. Rousseau, P. Poulichet, S. Desportes, A. Chouai, JP. Lefevre, J. Delaire, "An active chaotic micromixer integrating thermal actuation associating PDMS and silicon microtechnology", DTIP' 06 : Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, du 26 au 28 Avril 2006, Stresa, Italy. [18] A. Phommahaxay, G. Bazin-Lissorgues, L. Rousseau, T. Bourouina, P. Nicole, "Surface Conditioning Effect on Vacuum Microelectronics Components Fabricated by Deep Reactive Ion Etching", DTIP' 06 : Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS, pp. 58-62, du 26 au 28 Avril 2006, Stresa, Italy. [19] B. Saadany, A. Malki, M. Kubota, F. Marty, Y. Mita, D. Khalil, T. Bourouina, "A MEMS-tuned Optical Filter using Silicon Bragg Mirrors", OCOPE'2006, le 14 Juin 2006, Cairo, Egypt. [20] PCL. Lim, P. Basset, A. Mahmood Paracha, F. Marty, P. Poulichet, T. Bourouina, "Design of a novel highly capacitive MEMS-based vibration to electricity energy converter with suspended in-plane overlap technology", APCOT'2006, du 25 au 28 Juin 2006, Singapore. [21] A. Phommahaxay, G. Bazin-Lissorgues, C. Vasseure, L. Rousseau, T. Bourouina, P. Nicole, "Simulation, Fabrication and Early Characterization of a Fully Passive Ku-Band Power Limiter using RF-MEMS Technologies and Vacuum Microelectronics", MEMSWAVE Conference, pp. 55-58, du 27 au 30 Juin 2006, Orvieto, Italy. [22] N. Fourati, JM. Fougnion, L. Rousseau, P. Lepeut, O. Francais, P. Boutin, C. Vedrine, JJ. Bonnet, B. Mercier, C. Pernelle, "Surface acoustic love waves sensor for chemical and electrochemical detection", ASME, Conference on engineering systems designs and Analysis, du 4 au 7 Juillet 2006, Torino, Italy. [23] B. Saadany, D. Khalil, M. Malak, M. Kubota, F. Marty, Y. Mita, T. Bourouina, "An all Silicon Micro-machined Add-Drop Optical Filter", Optical MEMS'2006, du 21 au 24 Août 2006, Big Sky, Montana, USA. [24] B. Saadany, M. Malak, F. Marty, Y. Mita, D. Khalil, T. Bourouina, "Electrostatically-tuned Optical Filter Based on Silicon Bragg Reflectors", Optical MEMS'2006, du 21 au 24 Août 2006, Big Sky, Montana, USA. [25] CM. Tassetti, J. Haussy, A. Tissot, JL. Leray, O. Francais, L. Rousseau, "Design and Fabrication of Non-Powered MEMS Trajectory Sensors", ASME: CANEUS Micro et Nano Technology for Aerospace and Applications, du 27 Août au 1 Septembre 2006, Toulouse, France. [26] A. Phommahaxay, G. Bazin-Lissorgues, C. Vasseure, L. Rousseau, T. Bourouina, P. Nicole, "Towards a Fully Passive Ku-Band Power Limiter using RF-MEMS Technologies and Vacuum Microelectronics", European Microwave Week 2006, Proc. of the 36th European Mcrowave Conference, pp. 1288-1291, du 10 au 15 Septembre 2006, Manchester, UK. [27] G. Charvet, L. Rousseau, O. Billoint, JP. Rostaing, V. Perrais, S. Joucla, C. Moulin, D. Cattaert, F. Goy, B. Mercier, S. Spirkovitch, H. Fanet, P. Meyrand, R. Guillemaud, B. Yvert, "BIOMEA: A 256-channel MEA system with integrated electronics", Neuroscience Américaine, du 14 au 18 Octobre 2006, Atlanta, USA. [28] S. Joucla, L. Rousseau, V. Perrais, P. Branchereau, D. Cattaert, P. Meyrand, B. Yvert, "Estimation of the spatial extent of extracellular electrical stimulation using in vitro MEAs", Neuroscience Américaine, du 14 au 18 Octobre 2006, Atlanta, USA. [29] A. Mahmood Paracha, P. Basset, PCL. Lim, F. Marty, P. Poulichet, G. Amendola, T. Bourouina, "Design and Fabrication Issues of a Silicon-Based Vibration Powered Electric Energy Generator Using Parallel Plate and In-Plane Mechanism", IECON'06, the 32nd Annual International Conference of IEEE Industrial Electronics Society, du 7 au 10 Novembre 2006, Paris, France. [30] A. Mahmood Paracha, P. Basset, PCL. Lim, F. Marty, T. Bourouina, "A bulk silicon-based vibration-to-electric energy converter using an In-Plane Overlap Plate (IPOP) Mechanism", PowerMEMS' 2006, du 29 Novembre au 1 Décembre 2006, Berkeley, California, USA. [31] O. Francais, MC. Jullien, L. Rousseau, P. Poulichet, S. Desportes, JP. Lefevre, J. Delaire, "Characterisation of an active chaotic micromixer integrating thermal actuation", SHF - Microfluidique, du 12 au 14 Décembre 2006, Toulouse, France. 184 185